【課題】消費電力が小さく周波数温度変化量が小さい小型の水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子１０は、基部２１と、基部２１から平行に延在される少なくとも
一対の振動腕３０，４０とを有し、振動腕３０，４０それぞれが、先端部に設けられる付
加質量部３６，４６と付加質量部３６，４６よりも厚さが薄いアーム部３５，４５と、電
極５１〜６０とを有している。また、水晶振動子１０は、水晶振動片２０と直列接続され
るとともにアーム部３５，４５それぞれの表面３１，４１に設けられる圧電体薄膜７１，
７２と、圧電体薄膜７１，７２の表面に形成される電極５５，６０とを含む圧電体薄膜素
子１００，１０１とを備えている。 （もっと読む）

【課題】小型化と低消費電力化と、周波数温度変化が小さい高精度の水晶振動子を提供す
る。
【解決手段】水晶振動子１０は、基部２１と、基部２１から平行に延在される少なくとも
一対の振動腕３０，４０と、振動腕３０，４０それぞれの表面３１，４１または裏面３２
，４２または外側側面３３と内側側面４４とに電極５１〜５４，５６〜５９と、を有する
水晶振動片２０と、水晶振動片２０と直列接続され、振動腕３０，４０それぞれの表面３
１，４１に設けられる圧電体薄膜７１，７２と、圧電体薄膜７１，７２の表面に形成され
る電極５５，６０とを含む圧電体薄膜素子１００，１０１と、圧電体薄膜７１，７２それ
ぞれの表面に設けられ、圧電体薄膜７１，７２の一次温度係数とは逆の一次温度係数を有
する温度補償膜１１０，１１１と、が備えられている。 （もっと読む）

【課題】周波数温度特性の異なる複数の積層構造を組み合わせることにより、従来よりも安定した周波数特性を得ることのできるバルク音響振動子を実現する。
【解決手段】本発明のバルク音響振動子１０は、圧電体膜１２Ａ，１２Ｂ、該圧電体膜を挟む一対の電極１１Ａ，１１Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ、及び、温度補償膜１４Ａ，１４Ｂを含む積層構造を有するバルク音響振動子において、前記圧電体膜、前記一対の電極を備えると同時に、負の周波数温度特性を備えた第１構造部１０Ａと、前記温度補償膜１４Ｂにより正の周波数温度特性を備えた第２構造部１０Ｂとが形成され、前記第１構造部と前記第２構造部とが電気的に並列に結合されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度補償膜の形成位置とその影響を勘案することで、温度補償膜による温度補償の精度を高めることができ、従来よりも安定した周波数特性を得ることのできるバルク音響振動子を実現する。
【解決手段】本発明のバルク音響振動子の製造方法は、圧電体膜１２、該圧電体膜を挟む一対の電極１１，１３、及び、温度補償膜１４Ａ，１４Ｂを含む積層構造１０Ｘを具備するバルク音響振動子の製造方法において、前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第１の前記温度補償膜１４Ａを含む積層部分１０Ｙを形成する第１積層工程と、前記一対の電極の外側に配置される第２の前記温度補償膜１４Ｂを形成する第３の工程と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】弾性波の伝播速度が速いというＡｌＮ薄膜の特長を活かしつつ、電気機械結合係数および音響的品質係数を損なうことなく、共振周波数の温度安定性を向上させた圧電薄膜共振子を提供する。
【解決手段】基板１１２の上に形成された圧電積層構造体１４の一部を含んで振動部１２１が構成されている。圧電積層構造体１４は下部電極１５、圧電体膜１６および上部電極１７を積層してなる。基板１１２は振動部１２１に対応する領域にて振動部の振動を許容する空隙１２０を形成している。圧電体膜１６は窒化アルミニウムを主成分とするものであり、下部電極１５および上部電極１７がモリブデンを主成分とするものであり、振動部１２１は圧電積層構造体１４に接合された窒化シリコンを主成分とする絶縁層１３の少なくとも一部を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】 小型化に適し、金属バンプと圧電振動片の接合強度ばらつきが生じにくい圧電振動デバイスの製造方法及び圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 ベース３と蓋４とが接合されてパッケージが構成され、前記パッケージの内部の前記ベース上に圧電振動片２が保持されるとともに、前記パッケージの内部が気密封止された圧電振動デバイスの製造方法において、圧電振動片の両主面に励振電極と引き出し電極とが形成され、かつ引き出し電極と圧電振動片の両主面を貫通する貫通孔が形成された圧電振動片を用い、ベース上部に形成され、幅広の底部と幅狭の胴部を具備した一体型の金属バンプに対して前記圧電振動片の貫通孔を挿入し、圧電振動片の貫通孔から突出した前記金属バンプの胴部をボンディングツールにより超音波印加しながら電気的機械的に接合する。 （もっと読む）

【課題】鉛を含まず、常圧にて焼成が可能であり、圧電ｄ₃₁定数等の圧電磁器組成物特有の特性のうち少なくとも１つが従来より優れた圧電磁器組成物及びその製造方法、並びに該圧電磁器組成物を利用した圧電素子及び誘電素子を提供すること。
【解決手段】一般式｛Ｌｉ_x（Ｋ_1-yＮａ_y）_1-x｝_a（Ｎｂ_1-z-wＴａ_zＳｂ_w）_bＯ₃で表され、かつｘ，ｙ，ｚ，ｗ，ａ，ｂがそれぞれ０＜ｘ≦０．２，０＜ｙ≦１，０＜ｚ≦０．４，０＜ｗ＜０．０６，０．９５≦ａ，ｂ≦１．０５の組成範囲にあることを特徴とする圧電磁器組成物。 （もっと読む）

【課題】熱処理における温度変化に対して周波数変動の少ない圧電振動片および圧電デバイスを提供する。
【解決手段】矩形形状の圧電振動片２０は、第１面と、その第１面の反対面の第２面とを有し、所定の熱膨張係数を有する圧電片２０と、所定の熱膨張係数よりも大きな熱膨張係数を有し、下地の第３電極パターン２７の上に形成され、第１面に形成される第１電極膜２３と、所定の熱膨張係数よりも小さな熱膨張係数を有し、第２面に形成される第２電極膜２５と、を有する。第１電極パターン２３および第２電極パターン２５はともに、圧電振動片２０の中央領域に形成され、中央領域から端部へ延びる第１引き出し電極２３−ａおよび第２引き出し電極２５−ａを有している。 （もっと読む）

【課題】環境温度の変化に対する所定周期における発振周波数の変化量を少なくした圧電デバイス。
【解決手段】外面に外部端子１４を有する水晶振動子１０と、水晶振動子１０の外部端子１４と電気的に接続されたＩＣ３０と、ＩＣ３０と電気的に接続された接続端子２２と、
少なくとも接続端子２２が外部に露出するように、ＩＣ３０を覆う樹脂で形成された内モールド部５０と、を備えた内部圧電部品８０と、内部圧電部品８０の外側の少なくとも一部を覆うように形成された外モールド部６０と、を有し、外モールド部６０の熱伝導率が、内モールド部５０の熱伝導率以下である。 （もっと読む）

【課題】 小型化を進める上で、周波数の経時変化の影響を少なくした圧電振動片または圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電振動片（２０）は、圧電材料（１０）により形成され、実装のための第１接着領域（３３）および第２接着領域（３３）を有する基部（２９）と、基部の一端側から所定方向に延びる第１および第２の振動腕（２１）と、第１接着領域と第２接着領域との間に設けられ所定方向に延びる第１応力緩和領域（２９１−２）と、第１接着領域または第２接着領域と第１の振動腕または第２の振動腕との間に設けられ所定方向と直交する方向に延びる第２応力緩和領域（２９１−１）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】等価直列抵抗が小さく、等価インダクタンスが小さく、Ｑ値が高く、広い温度範囲に亘って周波数変化が少なく、周波数温度特性の設計範囲が広い、超小型のｘ板系縦モード水晶振動子を提案すること。
【解決手段】水晶結晶の薄板として切り出され、上記薄板の上面と下面に電極が設けられて振動部が形成され、上記電極間に交番電圧を印加することにより上記振動部が縦モード振動をするｘ板系縦モード水晶振動子であって、上記振動部にｎ本（ｎは自然数１，２，３・・・）のスリットが長手方向に設けられ、上記スリットによって上記振動部が、長手方向の両端部を除いて、幅方向で分割されて帯状の振動腕が形成されていることと、ｊ（ｊ＝１，・・・，ｎ＋１）番目の上記振動腕の幅方向の寸法をｗ_j とし、上記振動部の長手方向の寸法をｙ₀ とするとき、その寸法比Ｒ（＝ｗ_{j /} ｙ₀ ）が０＜Ｒ≦０．４であるｘ板系縦モード水晶振動子とした。 （もっと読む）

【課題】周波数の温度依存特性を高精度に補正できる小型で安価なMEMS振動子を用いた発振器を提供する。
【解決手段】機械的に振動する出力用振動子と、機械的に振動する温度検出用振動子と、前記温度検出用振動子の共振周波数で発振して温度検出用発振信号を出力する温度検出用発振回路と、前記温度検出用発振信号の周波数に基づく補正信号を出力する温度補償回路と、前記補正信号に応じて前記出力用振動子の共振周波数を変動させる周波数変動手段と、前記出力用振動子の共振周波数で発振して発振信号を出力する出力用発振回路とを備える。 （もっと読む）

【課題】幅すべりモードの影響を抑制しつつ、エネルギ閉じ込め効果を改善したＡＴカット水晶振動片を製造する。
【解決手段】ＡＴカット水晶振動片３０は、水晶の結晶のＸ軸方向に長辺を有する矩形をなしかつその長辺方向の側面３２が水晶の自然面のｍ面である第１の結晶面３３とｍ面以外の自然面である第３の結晶面３４との２面で形成されたＡＴカット水晶板からなる水晶素子片３１と、その表裏主面に設けられた１対の励振電極３５ａ，３５ｂとを備える。水晶素子片の外形加工は、その外形に対応するマスク２２ａ，２２ｂをＡＴカット水晶板２１の表裏各面に互いに水晶の結晶のＺ´軸方向に位置をずらして形成し、表裏両面からウエットエッチングすることにより行う。水晶素子片は、励振部である厚肉中央部６３と薄肉周辺部６４とからなるメサ形状にすることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部に対して連結部７３を介して一体に接合されており、前記基部の前記一端側より所定距離だけ離れた他端側において幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、前記連結部７３の幅ｒと前記基部５１の幅ｅの比率であるｒ／ｅが、ほぼ４０％以下とされている。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、温度特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６とを備えており、前記振動腕には、駆動電圧が印加される駆動電極としての励振電極３７，３８が形成されていて、前記励振電極が下地層であるクロム層と、電極層としての金層を含んでおり、前記クロム層の膜厚が３００Å以下であり、前記金層の膜厚が５００Å以下とされている
圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】周波数インピーダンス特性がスプリアスの影響を受けにくい圧電薄膜デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１の上に、接着層１２、下面電極１３、圧電体薄膜１４及び上面電極１５をこの順序で積層した構造を有している。上面電極１５の駆動部１５１と下面電極１３の駆動部１３１とは、圧電体薄膜１４を挟んで対向している。駆動部１５１及び１３１は、細長の２次元形状を有しており、その長手方向の大きさが短手方向の大きさの２倍以上、より望ましくは４倍以上、さらに望ましくは１０倍以上となっている。 （もっと読む）

【課題】電極および圧電結晶発振器を提供する。
【解決手段】金銀合金をクロム金属、或いは、ニッケル金属上方に覆蓋する構造の電極であり、金原子は、金銀合金中の重量比１〜４０ｗｔ．％を占める。よって、第一ニッケル、或いは、クロム金属と圧電結晶の高覆着性と第二層金属合金薄膜自身の良好な熱安定性と化学安定性により、形成される電極は１５０〜３５０℃の高温下で更に安定し、好ましい導電性も同時に有して、圧電結晶発振器のパフォーマンスを向上させると共に、長時間の信頼度を保持し、製造コスト全体を減少させる目的を達成する。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の変動がなく、取り扱いが簡便で、かつ、生産性にも優れた小型及び低背の温度補償型水晶発振器を得ることができる温度補償型水晶発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】前記書込端子または、読込端子を用いた後に、前記積層集合基板と前記ウエハを基板領域並びにＩＣ素子の外周に沿って切断し、各基板領域を分離することによって、前記書込端子または、読込端子と前記水晶振動素子との配線導体を断線することによって複数個の温度補償型水晶発振器を得る。 （もっと読む）

【課題】特定物質の検出や物理量の測定をするセンサ用の音叉型圧電振動片および圧電振動子を提供する。また被検出物質を高精度に検出するセンサ検出回路を提供する。
【解決手段】音叉型圧電振動片１０は基部１２と、この基部１２から突出した複数の振動腕１４とを備えている。この基部１２と振動腕１４は圧電材料で形成されている。そして励振電極１６を振動腕１４に設けるとともに、励振電極１６と導通したマウント電極１８を基部１２に設けている。また励振電極１６の少なくとも一部に触媒材２０が設けてある。音叉型圧電振動片１０は屈曲振動をするので、振動腕１４に応力が加わる箇所、すなわち振動腕１４の側面１４ｆに触媒材２０を設ければよい。そして触媒材２０を白金またはパラジウムにすると、可燃性ガスを検出できる。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、周囲温度の変化に対する特性が良好な圧電振動片と、圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電材料により形成された所定長さの基部５１と、前記基部の一端側から延びる複数の振動腕３５，３６と、前記基部の前記一端側より前記所定距離だけ離れた他端側から幅方向に延長され、かつ前記振動腕の外側において、該振動腕と同じ方向に延びる支持用アーム６１，６２とを備え、前記振動腕の長さをＬ１とし、前記基部の長さをＬ２とした場合に、Ｌ２／Ｌ１が１０．７％よりも大きくなるようにした、圧電振動片である。 （もっと読む）