【課題】 組み立て工程を簡略化して生産性を向上させることができる圧電振動子を提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧電振動子は、支持基板の上面とカバー部材とを、封止部材で両者間に封止空間を形成するように接合し、前記封止空間内に圧電振動素子を収容してなる圧電振動子において、前記支持基板をシリコン基板によって形成するとともに、前記シリコン基板には、貫通配線が設けられ、シリコン基板の外周領域には、封止する為の導体パターンが形成されていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 圧電磁器の焼成温度を十分に且つ確実に低下させ、圧電磁器の焼結性を安定化させることができる圧電磁器の製造方法及び圧電素子を提供する。
【解決手段】 単板型圧電素子は、ＰＺＴを主成分とした圧電材料で形成された圧電体と、この圧電体の両面に形成された電極とを備えている。このような単板型圧電素子を製造する場合には、まず出発原料としてＰｂＯ、ＴｉＯ_２、ＺｒＯ_２、ＺｎＯ、Ｎｂ_２Ｏ_５の粉体を用意する。このとき、ＺｒＯ_２としては、水溶媒中でのゼータ電位が１０ｍＶ以上であるものを使用する。続いて、複数種類の出発原料を湿式混合して乾燥させた後、混合原料の仮焼成を行うことにより、Ｐｂ、Ｚｒ、Ｔｉ元素を含有した圧電磁器組成物を得る。続いて、その圧電磁器組成物を湿式粉砕して乾燥させることにより、圧電磁器粉体を得る。 （もっと読む）

【課題】はんだ非付着膜の付着した領域と付着していない領域との境界における端子電極膜に亀裂が発生しても、端子電極膜の上下間の電気的導通を確保し得る圧電部品を提供する。
【解決手段】圧電基板１２は、支持基板１１及び天板１３と一体に組み立てられる。端子電極膜２１〜２３は、振動電極膜１４１、１４２に導通しており、部品本体の側面に形成される。はんだ非付着膜３は、部品本体側面５に形成された端子電極膜２１〜２３の表面において、電極露出領域７を除き、端子電極膜に付着される。部品本体側面５の電極露出領域７は、端子電極膜２１〜２３の下部において、端子電極膜２１〜２３の横幅より小さい横幅を有し、はんだ非付着膜３が付着した領域と横方向に隣接して設けられる。 （もっと読む）

【課題】 生産効率を低下させることなく、高品質な膜構造を有する小型の圧電振動片とその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体ウエハにフォトリソグラフィー技術を用いて圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法であって、圧電振動片の外形を形成する外形形成工程と、外形形成された前記圧電振動片の表面にＣｒ、Ｎｉ、Ａｌ、Ｔｉのうちいずれか1つの金属により第１の金属膜を成膜する第１金属膜成膜工程と、前記第１の金属膜に電極パタ−ンを形成する電極パタ−ン形成工程と、を行った後の次工程で、前記圧電振動片の周波数調整部に重り用の第２の金属膜を成膜する第２金属膜成膜工程か、または、保護膜を成膜する保護膜成膜工程のどちらかを行う圧電振動片の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 キャビティを必要とする振動子などを搭載した高周波部品モジュールの低背化を図る。
【解決手段】 キャビティを必要とする振動子などを多層セラミック基板の厚みの一部を利用して、その中に振動子を収容する。また、キャビティ底面に櫛型電極を形成し、キャビティ自身が有する圧電効果を利用してＳＡＷフィルタとして動作させる。これにより高周波部品モジュールの低背化が達成出来る。 （もっと読む）

【課題】−３０℃〜８０℃の全温度範囲で、確実に温度補償ができる水晶デバイスを供給する。
【解決手段】略矩形状の水晶基板と、前記水晶基板の両主面に形成される励振電極３１、３３と、励振電極３１、３３から水晶基板の一方の短辺側に延出される引出し電極３２、３４と、を備えた水晶振動子において、励振電極３１、３３は略矩形状をなすとともに、引出し電極３２、３４は励振電極３１、３３の一方短辺から延出されており、励振電極３１、３３の角部のうち、励振電極３１、３３の一方短辺と引出し電極３２、３４との接続部に形成される角部以外の全ての角部を、円弧状に切り欠く。 （もっと読む）

水晶片の外形形状を所定の形状に加工することによって、確実に、かつ再現性よくＢモードの共振を抑圧することができるＳＣカットの水晶振動子を提供する。このＳＣカットの水晶振動子では、水晶の結晶のＹ軸に直交する面をＸ軸を中心にして３３°〜３５°回転し、この回転した位置からＺ軸を中心にして２２°〜２４°回転した面から切り出してＸ’軸方向に細長い短冊形の水晶片を形成し、該水晶片のＺ’軸に直交する端面をＸ’軸を中心にして＋７°〜＋１３°または−７°〜−１３°回転した方向へ傾ける。
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【課題】 ＣＩ値を抑え、かつ振動特性を悪化させることなく小型化が可能な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、前記基部の一端側から互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６と、前記各振動腕の長手方向に沿って形成された長溝と、前記長溝に形成した駆動用の電極とを備えており、前記各振動腕の幅寸法Ｗ１が、前記振動腕の前記基部５１に対する付け根付近から先端側に向かって、徐々に縮幅する縮幅部７１と、該縮幅部７１の終端からさらに先端側に向かって腕幅に変化なく延びるストレート部７２と、該ストレート部の終端であり、前記幅寸法が先端側に向かって徐々に増加する拡幅部７３につながる幅変化の変更点Ｐとを有する圧電振動片である。 （もっと読む）

【課題】 表面実装型圧電振動子において、実装時や特性測定時などで外部より力が加わって場合でも特性が安定し、また、経時変化の少ない圧電振動子を提供する。
【解決手段】 励振電極が形成されている圧電振動片と、前記圧電振動片を囲むように前記圧電振動片の基端部を介して一体に形成されている枠体とからなる圧電振動板と、前記圧電振動板の上下両面に接合され、前記圧電振動片を気密封止する一対の蓋体と、を有する圧電振動子であって、前記励振電極に外部からの電気を通電させるための引出電極を前記基端部に形成し、前記引出電極を前記基端部の中心部に配置した圧電振動子とした。これにより、一対の蓋体と圧電振動片の接合により発生する応力に起因する圧電振動子の特性変化を抑制する。
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【課題】 複数方向に関してセンシングする際にも容易に対応でき、また装置の大型化を抑制する。
【解決手段】 圧電素子を収容するパッケージ３を有する圧電デバイスＤＶ１〜ＤＶ３と、圧電デバイスＤＶ１〜ＤＶ３が実装される基板Ｐとを備える。基板Ｐは、コネクタ接続により圧電素子と接続されるコネクタ部４０、５０を有する。 （もっと読む）

【課題】汎用の検波ＩＣを用いて、小型でイメージ選択度特性の優れた微弱無線／小電力設備局によるＡＳＫ/ＦＳＫ受信装置を構成する。
【解決手段】アンテナ１と、ＲＦバンドパスフィルタとしてのＨＦＦ-ＭＣＦ２ａを含む高周波入力回路２と、局部発振器４ｃと、ＩＦバンドパスフィルタとしてのアクティブフィルタ５のＣＲ定数回路５ａ２と、検波用の移相回路６ｂと、検波用ローパスフィルタ回路６ｃのＣＲ定数回路６ｃ２と、ＲＦアンプ３とミキサ４ａと周波数逓倍部４ｂとＩＦバンドパスフィルタとしてのアクティブフィルタ５ａのフィルタアンプ５ａ１とＩＦリミッタアンプ５ｂと検波部６ａと検波用ローパスフィルタ回路６ｃのフィルタアンプ６Ｃ１とコンパレータ６ｄとを内蔵したＡＳＫ/ＦＳＫ対応の検波ＩＣ７と、で、ＲＦ周波数が３００ＭＨｚ〜４００ＭＨｚ、中間周波数が百数十ｋＨｚ〜数百ｋＨｚのＡＳＫ/ＦＳＫ受信装置１００を構成する。 （もっと読む）

【課題】 重り材料のＡｇと下地金属のＡｕとの金属間拡散の影響を受けにくい重りの構造を有する圧電振動子を提供すること。
【解決手段】 励振電極が形成された一対の振動部分を有する音叉型の圧電振動片と、
前記振動部分の表面に形成され、表面が金で構成された下地金属と、前記振動部分の両側の面の下地金属上に同一の膜構造を有するように形成された周波数調整用重り部と、前記圧電振動片を封入する密閉容器と、前記励振電極と接続し前記密閉容器の外部に形成された外部電極と、を具備した圧電振動子とし、重り材料と下地金属との間に金属間拡散が生じても、振動部分の表裏面で重心移動がキャンセルされる。 （もっと読む）

【課題】 小型の圧電振動子の品質を向上させるための圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】 気密端子を構成するリードに圧電振動子片を接合して、有底円筒状のケースを用いて前記圧電振動子片を覆うように前記気密端子のステムに圧入する圧電振動子の製造方法であって、気密端子を構成するステムを挟み込んで圧電振動子組立工程を流動させて製造する。これにより、保持体の材質が導電性か絶縁性であるかの区別が不要となり、材料として金属やセラミックスのような低放出ガス特性を有し、耐熱性に優れた材料が選択できるため、気密性の高い圧電振動子が製造できる。 （もっと読む）

【課題】小型の温度補償型水晶発振器を提供すること。
【解決手段】容器体の主面にキャビティー部を配置するとともに、該主面の四隅部に端子電極を配置し、水晶振動子に電気的に接続され、前記キャビティー部に収容されるICチップの一部が隣り合う端子電極間に配置され、前記ICチップの動作制御を行うための動作制御電極を前記隣り合う端子電極間の領域を介して前記キャビティー部の内部から外部にかけて導出させたことを特徴とする温度補償型水晶発振器。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の小型化に対応でき、組立精度や品質を向上させることができる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】 環状のステムと、前記ステム内を貫通するように配置された導電性材料からなるリードと、前記リードを前記ステム内に固定するための充填材からなる気密端子と、前記リードに接続された振動子片と、前記振動子片を覆うように前記気密端子に接合されたケースとを有する圧電振動子の製造方法であって、前記気密端子を製造する気密端子製造工程と、前記気密端子を用いて前記圧電振動子を組み立てる圧電振動子組立工程とに、同一のリードフレームに気密端子を整列・保持させて一貫して流動させることを特徴とする圧電振動子の製造方法とした。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】 厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板２０と、該圧電基板面に形成した金属膜２１とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜３０によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 機械的強度に優れ、さらに電気特性Ｑ_maxが優れた圧電磁器組成物を得る。
【解決手段】 Ｐｂα[（Ｍｎ_1/3Ｎｂ_2/3）_xＴｉ_yＺｒ_z]Ｏ₃ …式（１）
（式（１）中、０．９５＜α＜１．０１、
０．０４≦ｘ≦０．１６、
０．４８≦ｙ≦０．５８、
０．３２≦ｚ≦０．４２、
ｘ＋ｙ＋ｚ＝１である。
なお、式（１）中、α、ｘ、ｙ及びｚはそれぞれモル比を表す。）で示される主成分を有する焼結体からなり、この焼結体における破断面の５０％以上の領域の破断形態が、粒内破断であることを特徴とする圧電磁器組成物。 （もっと読む）

【課題】小型の水晶発振器を提供すること。
【解決手段】容器体の主面にキャビティー部を配置するとともに、該主面の四隅部に端子電極を配置し、水晶振動子に電気的に接続され、前記キャビティー部に収容されるICチップの一部が隣り合う端子電極間に配置されていることを特徴とする水晶発振器。 （もっと読む）

【課題】 水晶ウェハーのエッチングにおけるマスクの表裏の合わせ精度による加工ばらつきを低減することが可能な、小型水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 水晶ウェハーを表裏からのエッチングにより加工する水晶振動片の製造方法であって、エッチングの際に使用するマスクの寸法を水晶ウェハーの表裏で変え、寸法の小さいマスクを基準マスクとし、寸法の大きいマスクを相対マスクとしてエッチングを行う水晶振動片の製造方法とした。オーバーエッチングにより基準マスクから加工される寸法に統一され、均一な加工精度を得ることができ、小型振動片の製造を可能とし、安価に安定して供給する事ができる。 （もっと読む）

【課題】 小型・薄型化の要請に応えつつ、圧電素子の位置決めを容易に実施する。
【解決手段】 所定の検出方向を有する圧電素子２がパッケージ３内に収容されてなる。複数のパッケージ３が圧電素子２の検出方向を互いに交差させて一体化されて設けられる。 （もっと読む）