【課題】本発明は、振動部の大きさを適切な値にすることで不要振動の発生を抑え、特性の劣化が防がれたメサ型のＡＴカット水晶振動片を提供する。
【解決手段】 矩形の励振部（３１）と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部（３２）とを有し、３８.４００ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片（３０）は、励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘ（ｍｍ）、励振外周部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＧｘ（ｍｍ）とするとき、式（１）
Ｍｘ／Ｇｘ＝０．０９×ｎ−０．０６ （ｎ：自然数）・・・（１）
を満たす。 （もっと読む）

【課題】マウントに起因する応力（歪）を低減した小型の表面実装型厚み滑り圧電振動子を得る。
【解決手段】圧電振動素子４は、振動領域を備えた四角形の圧電基板５と、圧電基板５の前記振動領域の表裏両面に夫々成膜された励振電極１５ａ、１５ｂと、圧電基板５の一つの角隅部に中間部７を連接一体化されてこの中間部から圧電基板５の２つの端縁と離間しつつ並行に延びる２本の支持腕９ａ、９ｂを備えたＬ字状の支持部９と、各励振電極１５ａ、１５ｂから支持腕９ａ、９ｂに沿って夫々延びるリード電極１７ａ、１７ｂと、を備えている。 （もっと読む）

【課題】落下などにより水晶振動片の垂直方向に過度の衝撃力が加わることによって生じる、周波数シフトなどの振動特性の劣化を防止した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスとしての水晶振動子１０は、基部１６と、基部１６から並行するように延出された振動腕１５と、基部１６から延出され、振動腕１５を挟むように振動腕１５のそれぞれの側面に並行して形成された支持腕１７と、複数の振動腕１５のそれぞれの開放端２７近傍の主面に形成された錘層２１と、開放端２７と間隙を有し錘層２１が溶融された周波数調整部２２とを有する圧電振動片としての水晶振動片１４と、収容部１３に水晶振動片１４を収容して、蓋体２４によって気密に封止されるパッケージ１１と、を有し、水晶振動片１４は、支持腕１７の一部が接合部２５によって収容部１３の底面１２および蓋体２４との間に狭隙を持って接続されている。 （もっと読む）

【課題】プロセスを簡素化し低コスト化を実現するとともに、さらに、システムを簡素化しノイズ対策を可能にするＭＥＭＳレゾネータ及びＭＥＭＳレゾネータの製造方法を提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳレゾネータの製造方法は、基板１０上に形成された半導体デバイスとＭＥＭＳ構造体部４とを有するＭＥＭＳレゾネータ２の製造方法であって、半導体デバイスは、上部電極３０と下部電極２６とを有するＯＮＯキャパシタ部６と、ＣＭＯＳ回路部８と、を含み、ＯＮＯキャパシタ部６の下部電極２６を、第１シリコン層２６を用いて、形成する。ＭＥＭＳ構造体部４の下部構造体１６とＯＮＯキャパシタ部６の上部電極３０とを、第２シリコン層５２を用いて、形成する。及び、ＭＥＭＳ構造体部４の上部構造体１８とＣＭＯＳ回路部８のゲート電極３４とを、第３シリコン層５４を用いて、形成する。 （もっと読む）

【課題】枠体の幅も狭いながらも圧電振動片のリークが少なく且つ外部からの衝撃などにも強い圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（１０１）と圧電振動片から貫通開口（１０８）を隔てて配置され枠体（１０５）と支持部（１０４）とが形成され第１面（Ｍｅ）と第２面（Ｍｉ）とを有する圧電フレーム（１０）と、第１接合面（Ｍ１）が形成されたリッド部（１１）と、外部電極（１２５）が形成される実装面（Ｍ４）と第２接合面（Ｍ２）が形成された底面とを有するベース部（１２）と、第１接合面と枠体の第１面との間に環状に形成された第１封止材（ＬＧ１）と、第２接合面と枠体の第２面との間に環状に形成された第２封止材（ＬＧ２）と、を備える。また、第１封止材及び第２封止材の少なくともいずれか一方が、枠体の貫通開口側の側面（Ｍ３）に形成されている。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値の低下を効果的に防止または抑制することができ、優れた性能を発揮することのできる振動片、振動子および電子機器を提供すること。
【解決手段】振動片２は、基部２１と、検出用振動腕２２、２３と、連結腕２４、２５と、駆動用振動腕２６、２７、２８、２９とを有している。連結腕２４は、Ｙ軸方向への屈曲振動により圧縮または伸長する第１面２４３と、第１面２４３が圧縮したときに伸長し、第１面２４３が伸長したときに圧縮する第２面２４４と、第１面２４３と第２面２４４との間に設けられた溝４３１、４３２とを有している。連結腕２４の屈曲振動周波数をｆとし、円周率をπとし、連結腕２４に用いた材料の振動方向の熱伝導率をｋとし、連結腕２４に用いた材料の質量密度をρとし、連結腕２４に用いた材料の熱容量をＣｐとし、連結腕２４の振動方向の幅をａとし、ｆｍ＝πｋ／（２ρＣｐａ^２）としたとき、１＜ｆ／ｆｍである。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても、落下による破損又は変形を十分に防止することができる圧電デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイスは、リッド側凹部を有するリッド基板（１０）と、音叉型圧電振動片と外枠フレームとを有するチップ基板（２０）と、ベース用凹部を有するベース基板（３０）とを接合してなり、圧電振動片は、基部（４１）と振動腕（４２）とを備え、支持腕（４４）を介して外枠フレームと接続され、リッド基板のリッド側凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、リッド用基部緩衝部（１２）が形成され、ベース基板のベース用凹部には、音叉型圧電振動片の短手方向において、基部と対応する位置に、ベース用基部緩衝部（３２）が形成され、リッド用基部緩衝部とベース用基部緩衝部との高さは、これらから音叉型圧電振動片と外枠フレームとの接続点までの距離に比例している。 （もっと読む）

【課題】スプレーコート法において溝部の側面に膜形成材料を塗布でき、溝部の側面に膜をムラなく形成できる圧電振動片の製造方法と、この方法により製造された圧電振動片を備えた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程（膜形成工程）は、ウエハ６０にフォトレジスト材（膜形成材料）を噴霧する噴霧器７７を備えたフォトレジスト膜形成装置（膜形成装置）を用いて行い、ウエハ６０の法線Ｋに対し長手方向の一方側に傾斜した第１方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を塗布する第１塗布工程と、ウエハ６０の法線に対し長手方向の他方側に傾斜した第２方向から、噴霧器７７によりウエハ６０にフォトレジスト材を再度塗布する第２塗布工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】励振部の厚さ及び励振外周部の厚さを適切な値にすることで不要振動の発生が抑えられ、特性の劣化が防がれたメサ型のＡＴカット水晶振動片を提供する。
【解決手段】 メサ型のＡＴカット水晶振動片（３０）は、矩形の励振部（３１）と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部（３２）とを有するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、励振部の厚さをｔ、励振部の結晶軸のｘ軸方向の長さをＭｘとするとき、Ｍｘ／ｔが１５．７以上１８．０以下となる範囲でクリスタルインピーダンスが極小値をとり、極小値のときの励振部の寸法がＭｘ／ｔを満たす。 （もっと読む）

【課題】 水晶側面電極とベース側面電極とが断線せず確実に電気的に接続されるように圧電デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、圧電振動片（２１）と外枠（２２）とを有し第１キャスタレーション（２０４）が形成される圧電フレーム（２０）と、接着剤（１３）により外枠に接合され第２キャスタレーション（１２４）が形成されるベース部（１２）と、リッド部（１１）とを備える。圧電フレームは、励振電極と第２引出電極と、第１キャスタレーションに形成された第１側面電極とを有する。ベース部は、第２キャスタレーションに形成された第２側面電極と、外部電極とを有する。第１及び第２キャスタレーションには、第１側面電極又は第１引出電極と第２側面電極とを電気的に接続するように一対の接続電極（１４）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】振動子を安定的に作製することができる振動子の作製方法、振動子および発振器を提供する。
【解決手段】振動子を作製するとき、基板と振動板を接合し、前記基板に接合された前記振動板の表面を研摩し、研摩された前記振動板の表面に電極を形成し、前記振動板が接合した面と反対側の面のうち、形成された前記電極に対応する前記基板の領域を選択的にエッチングする処理を含む。作製された振動子は、一方の面内に凹部が設けられた基板と、前記基板の前記凹部の設けられた面と反対側の面上に、前記凹部に対応する領域に接合された振動板と、前記振動板上に設けられた電極とを備える。前記基板の前記凹部の底の領域は導体化されることにより、前記電極に対向する対向電極として機能する。 （もっと読む）

【課題】振動部の厚さ及び振動外周部の厚さを適切な値にすることで不要振動の発生が抑えられ、特性の劣化が防がれ、不良品発生率が低減されたメサ型のＡＴカット水晶振動片を提供する。
【解決手段】 メサ型のＡＴカット水晶振動片（３０）は、矩形の励振部（３１）と、励振部の外周に形成され励振部よりも厚さが薄い励振外周部（３２）とを有し、３８.４ＭＨｚで振動するメサ型のＡＴカット水晶振動片において、振動部の厚さをＴｍ、励振外周部の厚さをＴｓとするとき、式（Ｔｍ−Ｔｓ）／Ｔｍ が０．０４８以上であり０．２より小さい。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値で且つ配線抵抗の小さい音叉型水晶振動片を提供する。
【解決手段】音叉型水晶振動片３０Ａは、励振電極３３，３４を有し所定方向に伸びた一対の振動腕２１と、一対の振動腕が連結された基部２３と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びる一対の支持腕２５と、導電性接着剤と接する一対の支持腕の先端領域から励振電極まで引き出された引出電極３１，３２と、を備える。さらに励振電極は、Ｃｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第１の金属膜と第１の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第２の金属膜との２層からなり、引出電極は、第２の金属膜上に形成されたＣｒ、Ｎｉ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｗのうち少なくとも１つの第３の金属膜と第３の金属膜上に形成されたＡｕ又はＡｇのうち少なくとも１つの第４の金属膜との４層からなる。 （もっと読む）

【課題】高周波数において減衰極を形成しかつ小型化可能なフィルタ及びデュープレクサを提供すること。
【解決手段】本発明は、直列共振器Ｓ１〜Ｓ４と、圧電基板１０上に形成され、直列共振器Ｓ１〜Ｓ４と並列接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐ４と、並列共振器Ｐ４に直列接続されたインダクタＬ３と、圧電基板１０上に形成され、インダクタＬ３に並列接続されたキャパシタＣ１と、圧電基板１０上に形成され、並列共振器Ｐ４とキャパシタＣ１とを接続する配線１８と、を具備するフィルタ及びデュープレクサである。 （もっと読む）

【課題】十分、気密封止・電気的導通が維持され、かつ小型化・薄型化された水晶発振器を極めて高い生産性で得るようにする。
【解決手段】方形状の水晶からなる水晶振動子２０と、該水晶振動子２０の上側主面に金属膜２６，３４を介在して積層接合され、かつ、水晶振動子２０の上側主面に対向する面にＬＳＩを搭載したＳｉまたは水晶からなる前記水晶振動子と同一外形寸法のＬＳＩ搭載カバー３０と、前記水晶振動子２０の下側主面に金属膜２７，４４を介在して積層接合され、かつ、前記水晶振動子２０の下側主面に対向して形成された凹所４１を有するＳｉまたは水晶からなる前記水晶振動子２０と同一外形寸法のベース４０と、からなり、前記水晶振動子２０、前記ＬＳＩ搭載カバー３０及び前記ベース４０とが、それぞれに設けた電極により電気的に接続されている水晶発振器及び前記水晶発振器をウェハレベルで製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイス内に残留ガスや水分が含まれない圧電デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイスの製造方法は、第１面と第２面とを有するベースを複数含み、隣り合うベース間に一対の第１貫通孔が形成されたベースウエハを用意する工程（Ｓ１２）と、圧電振動片を複数のベースにそれぞれ配置する工程（Ｓ１３）と、リッドを複数含むリッドウエハを用意する工程（Ｓ１１）と、環状の内周側から第１貫通孔に連通する連通溝を有する封止材をベースウエハ又はリッドウエハに形成する封止材形成工程（Ｓ１１２）と、封止材形成工程後にベースウエハとリッドウエハとを加熱及び加圧して接合する接合工程（Ｓ１４）と、を備える。また、接合工程の際に連通溝から第１貫通孔を介してベースウエハとリッドウエハが形成するキャビティとから通気する。 （もっと読む）

【課題】周波数調整を簡単かつ高精度に行うことができる振動片、周波数調整方法を提供すること、また、この振動片を備える信頼性に優れた振動子、振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動片は、基部２７と、基部２７からＹ軸方向に延出する振動腕２８、２９とを有している。各振動腕２８、２９は、Ｚ軸方向に対向する上面２８１、２９１および下面２８２、２９２を有している。第１の面２８１、２９１に第１の質量部５１、５２が設けられると共に、第２の面２８２、２９２に第２の質量部５４、５５が設けられている。第１の質量部５１、５２および第２の質量部５４、５５の少なくとも一方は、Ｚ軸方向からの平面視で、他方に対し非対向な部分を有する。 （もっと読む）

【課題】振動腕の破損を生じ難くし、周波数変化を起こり難くすることができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、基部１１と、振動腕１２と、支持部１３と、を有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容するパッケージ２０と、を備え、振動腕１２は、基部１１側に位置する腕部１５と、腕部１５より先端側に位置する第１錘部１６と、腕部１５と第１錘部１６との間に位置する第２錘部１７と、を有し、第１錘部１６の幅Ｗ３は腕部１５の幅Ｗ１より広く、第２錘部１７の幅Ｗ２は腕部１５の幅Ｗ１より広く且つ第１錘部１６の幅Ｗ３より狭く、パッケージ２０は、水晶振動片１０の支持部１３を支持するマウント電極２４ａ，２４ｂが設けられた内底面２４に凹部２４ｃを有し、凹部２４ｃは、平面視において、第１錘部１６が収まる大きさであると共に、縁２４ｄの一部が第２錘部１７と対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ディスク下面に犠牲層の残渣が発生せず、きれいに除去されるようにする。
【解決手段】ディスク型の振動子構造体１と、該振動子構造体１の両側に前記ディスク型振動子構造体の外周部に対して所定の空隙ｇを有して、それぞれ対向して配置される一対の駆動電極２，２と、該駆動電極２，２に同相の交流バイアス電圧を印加する手段と、前記ディスク型振動子構造体１と前記駆動電極２，２との間の静電容量に対応した出力を得る検出手段とを備えた静電駆動型のディスク型振動子において、前記ディスク型振動子構造体１がディスクの中心に貫通孔１ａを有し、ワイン・グラス・モードで振動される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、音叉型の圧電振動片を使った圧電デバイスが高温試験された後も周波数変動が小さい音叉型の圧電振動片および圧電デバイスを提供する
【解決手段】 音叉型の圧電振動片（３０）は、圧電材料により形成された基部（３１）と、基部の一端側から所定方向に伸びる一対の振動腕（３２）と、底面を有する溝部又は貫通する貫通孔（３４）を有し、振動腕の外側で基部より所定方向に伸びる一対の支持腕（３３）と、を備え、溝部又は貫通孔は、支持腕と振動腕との間で基部に形成される支持腕付け根位置（３８）から伸びている。 （もっと読む）