【課題】接合時の温度を軽減するとともに、気密性を確保し、圧電振動片と上下基板との電気的な接続が確実にとれる構造を実現することにより、周波数特性に優れた圧電振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】水晶振動子１０は、両主面に励振電極１４ａ，１４ｂが設けられた水晶振動片１２と枠体１３とを一体に形成した中間水晶板１１と、上側及び下側基板２，３とが互いに直接接合されている。各励振電極１４ａ，１４ｂは、引き出し電極１５ａ，１５ｂ及び枠体スルーホール５０ａ，５０ｂを介して反対側の主面の枠体１３に設けた接続部１８ａ，１８ｂにそれぞれ接続されている。上側及び下側基板２，３のそれぞれに、外部接続端子８ａ，８ｂと電気的に接続されて設けられた基板スルーホール６０ａ，６０ｂに半田９０が埋設されることにより、各励振電極１４ａ，１４ｂと外部接続端子８ａ，８ｂとが導通している。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、基部１０を、振動腕１１の延びる方向に対して交差する方向に切り欠いた切り欠き部１２と、を備え、平面視において、基部１０と振動腕１１との結合部１７が、振動腕１１の腕部１４の幅が基部１０に近づくに連れて広がるように曲線で形成されていると共に、切り欠き部１２の先端部１２ａが、曲線で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃特性を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１０と、基部１０から延びる一対の振動腕１１と、を備え、振動腕１１が、基部１０側に位置する腕部１３と、腕部１３より先端側に位置し腕部１３より幅が広い錘部１４と、互いに対向する両方の主面１５，１６に振動腕１１の長手方向に沿って形成された溝部１７と、を有し、平面視において、錘部１４と腕部１３との結合部１８が、腕部１３の幅が錘部１４に近づくに連れて広がるように曲線で形成されていると共に、平面視において、溝部１７における錘部１４側の端部１７ａの、長手方向に延びる長辺１７ｂと、長辺１７ｂに対して交差する方向に延びる短辺１７ｃとの接続部１７ｄが、曲線で形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】音響トランスデューサを含む合成器を提供する。
【解決手段】第１の入力ポートＰ_１と第２の入力ポートＰ_２にそれぞれ接続された少なくとも１つの第１と第２の素子と、出力ポートＰｓに接続された第３の素子を含み、電気信号は入出力ポート間で伝播される。合成器は媒体を含み、第１、第２、第３の素子は音響波トランスデューサである。第１と第３のトランスデューサは、一方では出力ポートにおける建設的干渉を生成し、他方ではポートにおける音響波の相殺的干渉により第１と第２の入力ポートを絶縁し（２ｋ＋１）λ／４の音響距離だけ離され（ｋは０以上の整数、λは音響伝播波長）、第２と第３のトランスデューサは（２ｋ’＋１）λ／４の音響距離だけ離され（ｋ’は０以上の整数）、第１と第２のトランスデューサは（２ｋ’’＋２）λ／４の音響距離だけ分離される（ｋ’’は０以上の整数）。 （もっと読む）

【課題】 電極パッドに塗布した導電性接着剤が流れて短絡するおそれのない対策を施した圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電デバイス（５０）は、基部（２３）と基部から所定方向に伸びた一対の振動腕（２１）と一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に伸びて形成される一対の支持腕（２２）と一対の支持腕に配置された一対の接合部（３５）とを有する圧電振動片（１００）と、圧電振動片を収容する底面（ＢＴ）とその底面を囲む側面（５７）とを有し接合部に対応する一対の電極パッド（５５）が底面に形成されたパッケージ（ＰＫＧ）と、一対の電極パッドと一対の接合部とをそれぞれ接着する接着剤（２５）と、を備える。そして、圧電デバイスは、接着剤が接着された一方の電極パッドの位置と他方の電極パッドの位置とが所定方向にずれている。 （もっと読む）

【課題】硬質の導電性接着剤により圧電振動素子をセラミックパッケージ内底面に接続しても、熱応力の発生に起因する諸特性の劣化を解決する表面実装型圧電デバイス（振動子、フィルタ）を提供する。
【解決手段】圧電振動素子を表面実装型パッケージ内に片持ち保持で電気的機械的に接続する圧電デバイスであって、前記圧電振動素子の片面上のパッド電極と表面実装型パッケージ内底面上の導通パッドとの接続を硬質の導電性接着剤にて行ったものにおいて、パッド電極上の各導電性接着剤を結ぶ直線の延長上に圧電振動素子の主振動部が位置するように構成した。 （もっと読む）

【課題】外部部材の支持面との平行度を保った状態で支持されることが可能な圧電振動片及びこの圧電振動片を備えた圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動片１０は、基部１１と、基部１１から延びる一対の振動腕１２と、基部１１に接続された保持部１３と、を備え、保持部１３が、振動腕１２の一方の側に沿って延びる第１腕部１３ａと、振動腕１２の他方の側に沿って延び、且つ第１腕部１３ａより短い第２腕部１３ｂと、を有し、第１腕部１３ａの先端側及び根元側と第２腕部１３ｂとに、パッケージベース２２の内底面２１に支持される支持部１３ｃ，１３ｄ，１３ｅが設けられ、平面視において、各支持部１３ｃ，１３ｄ，１３ｅを結んだ領域内に、水晶振動片１０の重心Ｇが位置することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度特性が優れた振動片を実現する。
【解決手段】振動片１０は、基部１２と、基部１２から平行に延在され屈曲振動をする振動腕１４ａ，１４ｂと、を有する振動体１１と、振動体１１の表面に設けられ、ヤング率または熱膨張係数が変極点となる温度が振動体１１の動作温度範囲内にあるＣｒ層２４ａ，２４ｂと、を有し、温度特性曲線の頂点温度に起因する周波数偏差と、Ｃｒ層２４ａ，２４ｂの膜厚Ｈに起因する周波数偏差と、を足し合わせて周波数偏差の温度特性曲線を生成する。このことにより、動作温度範囲において周波数温度特性が優れる振動片１０を実現できる。 （もっと読む）

【課題】下部電極と圧電体層との密着性お呼び圧電体層の配向性を向上させ、なお且つ電気機械結合係数が優れた振動片を提供する。
【解決手段】基部と、前記基部から延出する腕部と、前記腕部の主面に配置される圧電素子と、を備え、前記圧電素子は、圧電体層と、前記圧電体層の前記主面側に設けた第１電極層と、前記圧電体層の前記主面の反対側に設けた第２電極層と、を備え、前記第１電極層は、前記主面側に配置される電極層と、前記圧電体層側に配置される窒化層と、が積層され、前記第１電極層の前記窒化層は、前記第１電極層の前記電極層を形成する電極材料の窒化物である振動片。 （もっと読む）

【課題】振動漏れの抑制によって、所望のＱ値を確保しつつ、小型化を図ることができる振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、基部１１と、基部１１から、互いに沿って延びる一対の振動腕１２と、基部１１から、一対の振動腕１２に対して反対側に延びる引き出し部１３と、引き出し部１３の先端部から、引き出し部１３の延びる方向に対して略直交する方向に沿って引き出し部１３の両側へ延びる吸収部１４と、吸収部１４の両端部から、引き出し部１３の延びる方向に沿って延びると共に、外部部材に保持される一対の保持部１５と、を備え、一対の振動腕１２の延びる方向に対して直交する方向における、基部１１及び一対の保持部１５を含めた吸収部１４の全幅Ｗ１が、一対の振動腕１２の全幅Ｗ２以下であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】厚み滑り振動以外の振動を抑えつつ、厚み滑り振動を効率的に励振することができる振動片、振動子および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】振動片２は、厚み滑り振動する板状の第１の圧電体基板２１と、第１の圧電体基板２１の一方の面に接合され、第１の圧電体基板２１と同方向に厚み滑り振動する板状の第２の圧電体基板２２とを含む積層体を備える。また、第１の圧電体基板２１および第２の圧電体基板２２は、互いの接合面が同極性となるような電圧が厚さ方向にそれぞれ印加されることにより、互いに同方向に厚み滑り振動する。 （もっと読む）

【課題】異形部に依存することなく、股部の側面における電極間の短絡を回避できる構成の振動片、この振動片を備えた振動子及びこの振動片を備えた発振器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、水晶の原石などから、水晶の結晶軸としての互いに直交するＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸に対して所定の角度で切り出されたＺ板を基材とし、外形形状がウエットエッチングによって形成された水晶振動片であって、基部１１と、基部１１からＹ軸に沿って延びる一対の振動腕１２，１３と、を備え、一対の振動腕１２，１３の根元部同士を繋ぐ股部１９を挟んで一対の振動腕１２，１３の側面１２ａ，１３ａに励振電極２０，２１が形成され、股部１９の、Ｘ軸のプラス側を向いた側面１９ａに突起部１９ｂが形成され、突起部１９ｂが鋭角部１９ｃを有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】センサー素子の感度を向上させる。また、センサー素子の小型化を促進する。
【解決手段】振動片９０は、第１基部１００ａと、第１基部１００ａから第１方向に延在される振動腕２００と、を含み、振動腕２００は、第１方向に第１基部１００ａ側から順に並ぶ第１領域ＺＡ、第２領域ＺＢおよび第３領域ＺＣを含み、第１領域ＺＡ〜第３領域ＺＣは、第１方向に平面視で垂直な第２方向に電界を生じさせ、且つ互いに電気的に独立している第１電極Ｎａ１〜Ｎａ３および第２電極Ｎｂ１〜Ｎｂ３と、を含み、第１領域ＺＡおよび第３領域ＺＣの電界方向Ｅ５，Ｅ７と第２領域の電界方向Ｅ６とは互いに反対方向であり、第２方向の電界によって、振動腕２００に第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２００を、第１方向および第２方向の各々に垂直な方向である第３方向に振動させる。 （もっと読む）

【課題】 製造コストを低減させ且つ正確な周波数で発振する水晶デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】水晶デバイスの製造方法は、電極と枠体とを含む水晶フレームを複数有する水晶ウエハを用意する工程と、ベースを複数有するベースウエハを用意する工程と、開口部を含む第１リッドを複数有する第１リッドウエハを用意する工程と、開口部を封止する第２リッドウエハを用意する工程と、水晶ウエハ、ベースウエハおよび第１リッドウエハを接合する第１接合工程と、第１接合工程後に水晶振動片の振動周波数を測定しこの測定結果に基づいて第１リッドの開口部を介して電極の厚みを調整する調整工程と、調整工程後に、第２リッドウエハを第１リッドウエハに接合する第２接合工程と、個々の水晶デバイスに分割する工程と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片を所望する姿勢で再現性よく安定的に保持することができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】水晶振動子１は、基部１１と基部１１から延びる一対の振動腕１２と基部１１に接続された支持部１３とを有する水晶振動片１０と、水晶振動片１０を収容するパッケージ２０と、水晶振動片１０とパッケージ２０とを接合する第１の接着剤３０及び第２の接着剤３１と、を備え、支持部１３が、パッケージ２０に接合される接合部１３ｂ，１３ｃ，１３ｄを有し、各接合部１３ｂ，１３ｃ，１３ｄが、互いに離れた位置に設けられると共に、振動腕１２の延びる方向において、接合部１３ｂ，１３ｃが、接合部１３ｄより振動腕１２寄りに設けられ、振動腕１２寄りの接合部１３ｂ，１３ｃを接合する第１の接着剤３０と、接合部１３ｄを接合する第２の接着剤３１とにおいて、第２の接着剤３１の方が硬化収縮率が大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型化されても電界成分が減少しなく、生産性及び振動の安定性に優れる圧電振動片または圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動片（１０Ａ）は、表裏面を有する矩形状の音叉基部（１１）と、表裏面とその表裏面と交差する両側面とを有し、音叉基部のＸ軸方向の幅よりも狭い位置からＹ軸方向に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の表裏面から音叉基部の表裏面まで伸びる二対の振動腕溝部（１３Ａ、１３Ｂ）と、二対の振動腕溝部に並行して配置され、音叉基部のＸ軸方向の両外側に形成される一対の段差側面部（１５Ａ、１５Ｂ）と、振動腕の一方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の一方の段差側面部に形成された第１電極と、振動腕の他方に設けられた振動腕溝部と音叉基部の他方の段差側面部に形成され、第１電極とは異なる極性の第２電極と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の圧電振動部が素子搭載部材の凹部空間内底面に接触することを防ぎ、安定した発振周波数を出力することができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】圧電デバイス１００は、凹部空間を有する素子搭載部材１１０と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子１２０と、凹部空間を気密封止する蓋部材１３０と、を備える圧電デバイス１００であって、圧電振動素子１２０は、励振用電極が設けられている圧電振動部１２１と、圧電振動部を囲い、圧電振動部よりも薄くなるように設けられている圧電振動枠部１２２と、圧電振動枠部の一部に素子搭載部材の凹部空間内底面に向かって設けられている突起部１２３と、圧電振動枠部に形成される素子搭載部材接続電極１２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、支持腕のスプリアスと振動腕の共振周波数とを遠ざけた圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片は、圧電材料により形成された基部（１１）と、第１厚さを有し基部から所定方向に一直線に伸びる一対の振動腕（１２）と、一対の振動腕の両外側で基部から所定方向に一直線に伸び、第１厚さと異なる第２厚さの第２厚さ領域（ＡＲ１）を有する一対の支持腕（１３）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
低背化が可能であり、非常に小型で、且つ、気密封止が可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】
第１の半導体基板と、第１の半導体基板上に形成される下部電極と、第１の半導体基板と下部電極との間に形成される空隙部または音響反射層と、下部電極上に形成される圧電薄膜と、圧電薄膜上に形成される上部電極とを有する薄膜圧電共振器が、梯子型または格子型に接続されてなる薄膜圧電フィルタを含む第１の基板と、第２の半導体基板上に電気要素が形成されている第２の基板とが接合され、接合部分は気密封止されている圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】 振動腕の表裏面から股部又は溝部の基部側の端面への角度が緩やかな音叉型水晶振動片の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 音叉型水晶振動片（１０Ａ）の製造方法は水晶材に成膜された耐食膜にレジストを塗布しレジストを露光して基部（１１）と振動腕（１２Ａ）と溝部（１３Ａ）とに対応する領域を露光するフォトリソグラフィ工程と、基部と振動腕と溝部とに対応する領域の以外の耐食膜をエッチングし且つ水晶材をエッチングして音叉型水晶振動片の外形を形成する第１エッチング工程と、水晶材に残っている耐食膜およびレジストを除去する除去工程と、除去工程後に水晶材をエッチング剤に浸漬して、一対の振動腕と基部との間に形成される第１股部（１４Ａ）又は溝部の基部側の端面の少なくとも一方をエッチングする第２エッチング工程と、を備える。 （もっと読む）