【課題】ＣＩ値の低減、不要モードの結合抑制に対して特に有意な効果を奏するためのメサ掘り量を有する圧電振動片を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片は、厚み滑り振動を主振動とする圧電基板１２の板面に、周辺部１６よりも厚み寸法の大きい振動部１４を形成したメサ型の圧電振動片１０であって、段差部の堀量ｙは、圧電基板１２の長辺の寸法をｘ、振動部１４における圧電基板１２の厚み寸法をｔとした時に、板厚ｔを基準として、


の関係を満足するように定められることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、振動部が広くなるように貫通溝が形成されたＡＴカットの水晶振動片、水晶デバイス及び水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 ＡＴカットの水晶振動片（１１０）は、長辺方向をＸ軸、厚さ方向をＹ’軸、短辺方向をＺ’軸として規定されたＡＴカットの水晶振動片であって、電圧の印加により振動する水晶振動部（１１１）と、水晶振動部を囲むように形成された枠部（１１２）と、水晶振動部と枠部との間に形成されＹ’軸方向に貫通した貫通溝（１１３）と、を備え、貫通溝はＸ軸方向に伸びる水晶振動部の＋Ｚ’軸方向に形成された第１貫通溝（１１３ａ）と−Ｚ’軸方向に形成された第２貫通溝（１１３ｂ）とを含み、第１貫通溝と第２貫通溝とのＺ’軸方向の幅が異なる。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを抑制し、良好なドライブレベル特性を確保しつつ、ＣＩ値を低く抑制できる圧電振動片と、この圧電振動片を用いた圧電振動子、発振器、電子機器および電波時計を提供する。
【解決手段】並んで配置された一対の振動腕部３ａ，３ｂと、振動腕部３ａ，３ｂの両主面上に形成され、振動腕部３ａ，３ｂのＹ方向（長手方向）に沿って伸びる外側溝部５１および内側溝部５２と、一対の振動腕部３ａ，３ｂが接続された基部４と、を備えた圧電振動片１であって、溝部４は、振動腕部３ａ，３ｂのＸ方向（幅方向）に並んで複数本形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】不要なリップルを抑えることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電薄膜３と、圧電薄膜３の一方の主面に設けられた上部電極１３、２３と、圧電薄膜３の他方の主面に設けられた下部電極１１、２１とを有し、基板２から音響的に分離されるように、上部電極１３、２３及び下部電極１１、２１が圧電薄膜３を介して重なり合う部分で圧電振動部１５、２５が構成されている第１及び第２の圧電共振子１０、２０とを備え、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは入力端子と出力端子に対して直列または並列に接続されており、入力端子からみた圧電薄膜３の分極方向は互いに逆であり、第１の圧電共振子１０と第２の圧電共振子２０とは、横振動モードの共振周波数が互いに異なるように形成されていることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 高発振周波数に対応して小型化する圧電振動板の主振動による振動エネルギーを効率よく得ることができると共に、前記圧電振動板を安定して支持することのできる支持構造を備えた幅縦・長さ縦結合モードの圧電振動子を提供することである。
【解決手段】 幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺２２ａ，２２ｂ及び長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺からなる四角形状の圧電振動板２２と、一対の主振動辺から外方向に延びる支持アーム２５，２３と、圧電振動板２２の外周に設けられ、支持アーム２５，２３の一端が接続されるフレーム２４とを備えた圧電振動子２１であって、一方の支持アーム２５は主振動辺２２ａから２つの屈曲部２５ａ，２５ｂを有し、他方の支持アーム２３は主振動辺２２ｂから２つの屈曲部２３ａ，２３ｂを有し、これら支持アーム２５，２３とフレーム２４との間が一つの経路によって結ばれるように構成した。 （もっと読む）

【課題】線形性能の高い分波器を提供すること。
【解決手段】受信端子Ｔｒｘとアンテナ端子Ｔａｎｔとの間に接続され、弾性波共振器である１または複数の直列共振器を含む、受信帯域を有する受信用フィルタ１０と、送信端子Ｔｔｘと前記アンテナ端子との間に接続され、弾性波共振器を含む、送信帯域を有する送信用フィルタ２０と、を具備し、前記受信用フィルタの前記１または複数の直列共振器のうち前記アンテナ端子に最も近い直列共振器Ｓ１１の共振周波数は、前記受信帯域の上端周波数より高い分波器。 （もっと読む）

【課題】耐衝撃性の高い小型の振動片、およびそれらを用いた圧電デバイス、電子機器を提供する。
【解決手段】水晶振動片２０は、基部２１と基部２１の一端側から二股に別れて互いに並行するように延出する一対の振動腕２２とを備え、基部２１には、その両主面に括れた形状が表れるように１つの直線に沿って対向方向に一対の切り込み４１Ａ，４１Ｂが形成されている。基部２１の一対の振動腕２２が延びている方向とは交差方向の二つの端部からは、それぞれ相互に反対方向に延出されてから、屈曲部３１で屈曲して一対の振動腕２２と並行して延びる一対の支持腕３０が設けられている。支持腕３０の先端側には、隣接する振動腕２２の通常の振動の振幅範囲外に配置されて、且つ隣接する振動腕２２に通常の振幅範囲を越えた変位が生じた場合にその振動腕２２が当接される位置に配置された受け部３５が設けられている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、枠部の貫通部側の側面に凸部を形成して不必要な部分に電極が形成されないようにする。
【解決手段】 水晶デバイスは、水晶振動部（１１１）と枠部（１１２）と連結部（１１７）とを有するＡＴカットの水晶フレーム（１１０）と、外部電極を第１辺（１１２ａ）の側と第２辺（１１２ｂ）の側とに有するベース部と、を備え、第３辺（１１２ｃ）には、第１平面（１１９ａ）と、第２平面（１１９ｂ）と、第１斜面又は第２斜面（１１８ｂ）と、第１斜面又は第２斜面を含み水晶振動部側に突き出した凸部（１１８）とが形成され、水晶フレームの枠部には、第１引出電極（１１５ａ）と、一対の励振電極の他方から連結部と枠部の第３辺の第１平面及び凸部の第１斜面、又は枠部の第３辺の第２平面及び凸部の第２斜面とを介してベース部の第２辺の側に形成された外部電極に接続される第２引出電極（１１５ｂ）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動腕部の振動が基部側に振動漏れすることを防ぎ、振動腕部の振動を安定させた圧電振動片を得る。
【解決手段】振動腕部３の腕幅Ｗより大きく、２本の振動腕部３の間隔Ｐより小さい腕幅Ｗ１を有した腕付根部４とを備えて、腕付根部４が振動腕部３の腕幅Ｗより広い部分を一定長さ有することで、振動腕部３に剛性を持たせるので、振動腕部３の振動が基部２側に漏れることを防ぎ、振動腕部３の振動、および水晶振動片１の振動周波数を安定させることができる。 （もっと読む）

【課題】 隣り合った圧電振動片からの影響がなく、ウエハ状態で各圧電振動片の周波数を別々に測定して調整できる圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、両主面に形成された一対の励振電極と一対の励振電極から引き出した一対の引出電極とを有する圧電振動片（１０）と、圧電振動片側の第１面に形成され一対の引出電極に接続される一対の接続電極と第１面の反対側の第２面に形成された二対の実装端子とを有し第１面から見て四辺を有する四角形状のベース部（１２）と、を備える。ベース部の互いに対向した二辺には、ベース部の中心側に窪んだ二対のベースキャスタレーション（１２２ａ〜１２２ｄ）と、二対のベースキャスタレーションに第１面と第２面とを結ぶ二対の側面電極とが形成される。また、二対の側面電極中の一対は、一対の接続電極及び二対の実装端子中の一対にそれぞれ接続される。 （もっと読む）

【課題】振動特性及び耐衝撃性能が向上した振動片、この振動片を備えた振動子、発振器及び電子機器の提供。
【解決手段】水晶振動片１は、環状の支持腕部１０と、平面視において、支持腕部１０の内周の一辺１１から、一辺１１と向かい合う他辺１２に向けて延出する振動部１３と、支持腕部１０の他辺１２側に設けられた固定部１４ａ，１４ｂと、振動部１３の両主面１５，１６に設けられた励振電極１７，１８と、励振電極１７，１８から固定部１４ａ，１４ｂに引き出された引き出し電極１７ａ，１８ａと、振動部１３の先端部１３ａと支持腕部１０とをつなぐ連結部１９ａ，１９ｂと、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動アームがふたに当たるのを回避できるパッケージされたピエゾ電子共振器を提供すること。
【解決手段】ふた及びケースと、前記ケース内に収納される共振器１１０とを有するパッケージされた前記共振器は、連結部分１１６により互いに結合した２本の平行な振動アーム１１２及び１１４を有する平面状同調フォーク形状部品と、前記連結部分から、前記平面状同調フォーク形状部品の面に沿って伸びる中央取り付けアーム１１８とを有する。前記中央取り付けアームは、ケースの底部に３本のスタッド１７８、１８０、１８２を介して固定され、前記中央取り付けアームの少なくともメイン部分は、前記振動アームと並んで平行に配置される。前記ふたの内側表面は、前記振動アームの先端部分上方で伸びる第１の厚さの第１部分と、前記中央取り付けアームの一部上方で伸びる第１の厚さよりも厚い第２の厚さの第２部分が形成されるように階段状になっている。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、励振電極をキャビティの外に形成することにより小型化された圧電デバイス及び圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（１００）は、一主面及び他主面を有し、電圧の印加により振動する圧電振動部（１１１）を有する第１板（１１０）と、第１板の一主面に接合される第２板（１２０）と、第１板の他主面に接合される第３板（１３０）と、圧電振動部を振動させる第１励振電極（１６０ａ）及び第２励振電極（１６０ｂ）と、を備え、第１励振電極は第２板の第１板とは反対側の面に形成され、第２励振電極は第３板の第１板とは反対側の面に形成される圧電デバイス。 （もっと読む）

【課題】振動片を備え、小型で、低周波数化および高Ｑ値化が図られた、電子機器を提供する。
【解決手段】電子機器に備えられる振動片２０は、一対の切り込み３１が形成された基部２１と、基部２１の第１の部分の一端側から互いに平行に延出された一対の振動腕２２と、を有している。各振動腕２２は、主要な振動部である一般部２３と、振動腕２２の基部２１との付け根とは反対側の先端側に、一般部２３よりも幅が広い錘部２９と、を有している。また、各振動腕２２の両主面のうち少なくとも一方の主面に沿って開口部を有する有底の長溝と、前記振動腕の前記基部との付け根とは反対側の先端側に、前記基部との前記付け根側よりも幅が広い錘部２９が形成されている。錘部２９は、振動腕２２の長手方向において、基部２１との付け根から先端側までの長さに占める錘部２９の長さ割合が３５％〜４１％の範囲となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】安定した振動特性を有するＭＥＭＳ振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るＭＥＭＳ振動子１００は、基板１０と、基板１０の上方に形成された第１電極２０と、基板１０の上方に形成された支持部３２、および支持部３２に支持されており第１電極２０の上方に配置された梁部３４を有する第２電極３０と、を含み、平面視において、梁部３４は、前記第１電極２０と重なる領域で支持部３２から梁部３４の先端３４ａに向かう方向において、幅Ｗが単調減少する形状である。 （もっと読む）

【課題】熱弾性効果に起因するＱ値の低下の防止と同時にＣＩ値を下げることを図る。
【解決手段】本発明の電子機器に用いる振動片１００は、基部１０と、基部１０より延伸して形成され、屈曲振動する振動部としての一対の振動腕２０、２１とを備えている。振動腕２０、２１には、主面１００ａ側に溝２０ａ、２０ｂ、２１ａ、２１ｂが形成され、他方の主面１００ｂ側に溝２０ｃ、２１ｃが形成されている。振動腕２０の外側面２０ｄと溝２０ａとによって外壁２０ｆが形成される。同様に、外側面２０ｅと溝２０ｂによって外壁２０ｇが形成される。また溝２０ａ、２０ｂ、２０ｃによって、内壁２０ｈ、２０ｉが形成される。振動腕２１も振動腕２０と同様に外壁２１ｆ、２１ｇと内壁２１ｈ、２１ｉが形成される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、圧電発振器の上面に検査電極を形成することによりキャビティの広さを確保することができる圧電発振器の製造方法及び圧電発振器を提供する。
【解決手段】 圧電発振器の製造方法は、圧電片と外枠とを有する複数の圧電振動素子が形成された圧電ウエハを用意する工程（Ｓ１０１）と、検査電極を有する複数の第１容器体が形成され隣り合う第１容器体の共通する辺に複数の貫通孔と貫通孔に接続電極とが形成される第１ウエハを用意する工程（Ｓ１０３）と、外部電極を有する複数の第２容器体が形成された第２ウエハを用意する工程（Ｓ１０４）と、複数の集積回路を用意する工程（Ｓ１０２）と、第１容器体又は第２容器体に集積回路を載置し圧電ウエハ、第１ウエハ及び第２ウエハを接合する接合工程（Ｓ１０５）と、検査電極を介して圧電片のＣＩ値又は振動周波数の少なくとも一方を測定する測定工程（Ｓ１０７）と、を含む。 （もっと読む）

【課題】簡単な工程で、異なる共振周波数を持つ３種類以上の共振子を含む圧電デバイスを提供することができる圧電デバイス及びその製造方法を提供する。
【解決手段】基板１２に共通層である下部被覆層１４ａ、圧電体層１４ｂ、下部電極層１６、上部電極層１８及び特定層である上部被覆層１４ｃが積層され、一対の電極の間に圧電体層１４ｂが挟まれ、積層方向に透視したときに圧電体層１４ｂを介して電極同士が重なり合う３つの第１乃至第３の振動領域１７ｐ，１７ｑ，１７ｒが形成される。上部被覆層１４ｃは、（ａ）第１の振動領域１７ｐ内では、第１の厚みで延在する部分のみを含み、（ｂ）第２の振動領域１７ｑ内では、第１の厚みで延在する第１部分１５ａと、第１の厚みよりも小さい第２の厚みで延在する第２部分１５ｂとを含み、（ｃ）第３の振動領域１７ｒ内では、第２の厚みで延在する第２部分１５ｃのみを含む。 （もっと読む）

【課題】振動片の小型化に伴う、電極や配線を形成する際の負担を軽減すること。
【解決手段】振動片１００は、基部１０と、基部１０から、第１方向（Ｘ軸方向）に延出し、平面視において第１方向に垂直な第２方向（Ｙ軸方向）に幅ｗを有し、且つ、第１方向および第２方向に垂直な第３方向（Ｚ軸方向）に厚みｔを有する振動腕２０と、振動腕２０の第３方向に垂直な第１面Ａおよび第１面Ａに対向する第２面Ｂに設けられ、第１方向に電極指を配列してなる第１櫛歯電極（第１電極４１ａ、第２電極４１ｂ）、第２櫛歯電極（第１電極４１ｃ、第２電極４１ｄ）と、を含み、両櫛歯電極によって生じる第１方向の電界（Ｅｘ１，Ｅｘ２）により、振動腕２０に第１方向の伸縮を生じさせて、振動腕２０を第３方向に振動させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動特性を維持しつつ小型化が可能な振動片を用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基部２と、基部２を付け根にして延出し基部２の幅方向に沿って配列された一対の腕部３ａと、基部２を腕部３ａのそれぞれの側から幅方向に縮幅して形成された切り込み部７とを有し、付け根は、腕部３ａが互いに対向している側に位置する第１の付け根部３１および腕部３ａが対向していない側に位置する第２の付け根部３２を有し、第１の付け根部３１から第２の付け根部３２までの長さＡと、第１の付け根部３１から切り込み部７の内端部７ａまでの長さＢとの関係がＡ≧Ｂである水晶振動片１と、回路部とを有する。 （もっと読む）