【課題】 圧電振動片の電気的特性を低下させることなく小型化を実現し、かつ圧電振動片の小型化に伴って周波数調整領域が縮小化しても、周波数調整幅を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片を提供することにある。
【解決手段】 基部２０と、この基部から突出するとともに励振電極２３，２４と周波数調整膜２５，２６が形成された複数の脚部２１，２２とからなる圧電振動片２が有り、前記周波数調整を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部５が形成され、当該凹部５によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの経年的な共振周波数の変化を低減する圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料からなる圧電基板表面に励振電極１６を形成した圧電振動素子１５を導電性接着剤１７にて容器１０内に搭載する素子搭載工程と、容器１０と一方の面にシリコーン系樹脂２１を供えた蓋体２０とを、シリコーン系樹脂２１が空間内に収納されるように接合して気密に封止する封止工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 超小型化し、高周波数化した場合でも特性が安定し、また高精度な周波数調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動板１は平板状のＡＴカット水晶振動素子からなり、Ｘ軸が長辺、Ｚ軸が短辺となる長方形形状となっている。また水晶振動板１の表裏面の中央領域には各々励振電極１１，１２が形成され、また各励振電極とつながる引出電極１１１，１２１が形成されている。対向する励振電極１１，１２により、両者が対向している領域を対向部ａとし、対向部ａの外側に励振電極が対向していない拡大部ｂを設けている。拡大部ｂの外周にさらに調整部ｃを形成している。この調整部に対して周波数調整を行う。 （もっと読む）

【課題】高周波水晶振動子の周波数を所望の精度を保って調整する高周波水晶振動子の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】本発明による周波数調整方法は基準周波数よりも僅かに高い周波数になるように水晶片の電極厚みを削減する工程、基準周波数よりも高い周波数から基準周波数に一致するまたはそれに近い周波数になるように電極厚みを増加する工程を含む。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電共振子の空洞部の形成と周波数調整を制御性良く行う薄膜圧電共振子及びその製造方法。
【解決手段】封止部材１９と、封止部材１９上に配置され，微細孔１２ａを備える埋め込み絶縁層１２と、埋め込み絶縁層１２上に配置され，微細孔１２ａ上に空洞部５２を備える半導体層１４と、半導体層１４，及び空洞部５２上に配置される保護膜１８と、保護膜１８上に配置される下部電極２１と、下部電極２１上に配置される圧電膜２２と、圧電膜２２上に配置される上部電極２３と、保護膜１８上に配置され，下部電極２１に接続される第１取り出し電極２４と、保護膜１８上に配置され，上部電極２３に接続される第２取り出し電極２６と、微細孔１２ａに対向して形成された保護膜１８のエッチング部、又は堆積層部５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】周波数調整層の厚みを削減し、高いＱ値を実現し、挿入損失を少なくしつつ、高インピーダンスの圧電共振器と低インピーダンスの圧電共振器とを同一基板に形成した圧電フィルタを実現する。
【解決手段】基板に形成されたキャビティと、キャビティを覆うように基板の上に形成される下部電極と、下部電極の上に形成される圧電体層と、圧電体層の上に形成される上部電極とで構成される圧電共振器を、同一基板に複数の備えた圧電フィルタにおいて、複数の圧電共振器の少なくとも１つのキャビティを、複数のセルから構成する。 （もっと読む）

【課題】エッチングにより、水晶振動片のマスクである金属膜に対して水晶振動片の溝部に対応する開口部を形成するにあたり、金属膜の外周部がエッチングされて、金属膜の寸法が小さくなるため、この金属膜をマスクとして水晶片へ溝部を形成する際、水晶片の外形は、前記寸法の小さくなった金属膜に倣って形成されて、形状が乱れたり、稜線が増えたりすること。
【解決手段】水晶振動片の外形を形成する前に溝部を形成して、水晶振動片の外形を形成する時には前記溝部に金属膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】電極膜を形成する前に圧電振動片の外形形成を調整して周波数の合わせ込みを行うにあたって、その周波数の合わせ込みを精度よく行うことができ、これにより歩留まりの低下を避けることができる圧電振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電振動片の外形形成のためのエッチングと溝部の形成のためのエッチングとを同時に行い、溝部形成後に、当該溝部を金属膜で覆った状態で溝部と同じ深さから圧電振動片の外形形成を再開し、外形形成後、続けて圧電振動片の外形側面をエッチングすることで周波数の合わせ込みを行う。このような構成にすることでエッチングレートが遅い状態で周波数の合わせ込みを行うことができるので、容易に高い精度で周波数の合わせ込みを行うことができる。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対する金属カバーの位置決めを容易にして製造工程を短縮し、生産性を高めた表面実装デバイスの製造方法及びこれに適したシート状基板を提供する。
【解決手段】複数の容器本体１を縦横に有するシート状基板１２を備え、前記シート状基板１２における複数の容器本体１の凹部内に少なくとも水晶片２を収容した後、前記シート状基板１２を個々の容器本体１に分割してなる表面実装用とした水晶デバイスの製造方法において、前記シート状基板１２の前記容器本体１間の外周には環状溝が設けられ、シーム溶接機の傾斜面を有する電極ローラ１５（ａｂ）の回転軸側の外周先端を前記環状溝内に位置して、前記傾斜面を前記容器本体１上の金属カバー３に当接して、前記容器本体１の開口端面に前記金属カバー３をシーム溶接によって接合した後、前記シート状基板１２を個々の容器本体１に分割した製造方法及びこれ用のシート状基板の構成とする。 （もっと読む）

【課題】 効果的な周波数調整を行うことができるとともに、調整後に酸化などの影響を受けて共振周波数が変動してしまうこと、及び、調整した部分が剥離してしまうことを防いで、周波数精度及び信頼性を向上させた圧電振動片及びその製造方法、その圧電振動子、並びに、発振器、電子機器、及び電波時計を提供する。
【解決手段】 圧電振動片１は、所定の形状に形成された圧電材片１ａ上に、外部電極接続部７と、励振電極５と、微調部９とが設けられたものであり、圧電材片１ａの外形を形成する外形形成工程と、導電性膜２０を成膜する導電性膜形成工程と、導電性膜２０をパターニングして圧電材片１ａの表面の一部分を露出させる導電性膜パターン形成工程と、微調部９にイオンビームを照射して削り取ることで、微調部９の重量を調整して、圧電材片１ａを所定の共振周波数に設定する周波数微調整工程とを備えた製造方法で製造される。 （もっと読む）

【課題】周波数可変型共振子において、共振体を構成する圧電体層と電極層との剥離を効果的に防止することにより、信頼性の優れた音響波共振子およびそれを用いたフィルタならびに通信装置を提供する。
【解決手段】音響波共振子は、直方体形状のその上面に凹部１を有する基体２と、基体２上に設けられ、音響波を発する圧電体層３を下部電極層４及び上部電極層５とで上下から挟持した共振体６と、共振体６上に設けられたチューニング層７と、チューニング層７上に設けられた導電層８とを含んで構成されており、前記チューニング層７は、絶縁性の弾性体であり、前記導体層８と前記上部電極層５との間に電圧が印加されると、導体層８と上部電極層５との間に静電引力が発生し、その力によってチューニング層７が圧縮されて、チューニング層７の厚みが変形することにより、共振周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】 外部から圧力を印加する場合のみならず、励振電力を変化させる場合であっても、共振周波数や共振抵抗値の変化の小さい小型で高精度の音叉型水晶振動片の形状寸法決定方法、音叉型水晶振動片及び音叉型水晶振動子を提供する。
【解決手段】 音叉型水晶振動片をケースに組み込んで音叉型水晶振動子とし、外部から所定の圧力を加えて共振周波数及び共振抵抗値の変化率を評価する耐圧特性評価工程と、基準励振電力を含む所定範囲の励振電力を供給して共振周波数及び共振抵抗値の変化率を評価するドライブレベル特性評価工程とを行い、双方の特性評価を同時に満足する基部の長さと振動腕の厚みとを有する音叉型水晶振動片とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子とＩＣ部品を一つのパッケージの異なった箇所に搭載した表面実装
型圧電発振器において、導電性接着剤から発生してＩＣ部品実装パッドに付着する接続阻
害物質を除去する。
【解決手段】素子搭載用パッド４上に圧電振動素子３を導電性接着剤４ａにより接続する
圧電振動素子搭載工程と、導電性接着剤を硬化させるために加熱処理するアニール工程と
、モニター電極１０を用いて行われる周波数調整工程と、上面側凹所１ａを封止して圧電
振動子０を形成する封止工程と、圧電振動子の特性を検査する圧電振動子検査工程と、Ｉ
Ｃ部品実装パッドに付着した異物を除去するために電極プラズマ洗浄を実施するドライ洗
浄工程と、ＩＣ部品搭載工程と、下面側凹所５ａ内にアンダーフィルを充填するアンダー
フィル充填工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の共振周波数を大気中で調整するとともに、圧電薄膜共振子の共振周波数の調整によるスプリアスの発生を抑制する。
【解決手段】ウエハＷに含まれる圧電薄膜共振子１の対向領域Ｅ１の上に、質量を付加する質量付加膜となるレジスト膜１９を形成し、当初は目標周波数Ｆ_Tを上回っていた圧電薄膜共振子１の共振周波数Ｆ_Rを、目標周波数Ｆ_T以下に低下させる。次に、圧電薄膜共振子１Ａの対向領域Ｅ１の上に形成されたレジスト膜１９に電磁波を照射することにより、レジスト膜１９をアブレーション加工し、共振周波数Ｆ_Rを目標周波数Ｆ_Tまで上昇させる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、生産効率に優れ、生産性の高い水晶振動子の製造方法を提供することにあり、さらには、小型で精度の高い水晶振動子の製造方法を提供することにある。さらに、小型で精度の高い水晶振動子と物理量センサーを提供することにある。
【解決手段】水晶ウェハーを加工して、基部と基部から突出してなる振動脚を備えた水晶片を形成する水晶片形成工程と、基部を固定し振動脚を振動させて共振周波数を測定する振動測定工程と、水晶片の表面をウェットエッチング法によってエッチングして所望の共振周波数になるよう調整する追加エッチング工程と、所望の共振周波数に調整された水晶片上に電極を形成する電極形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 周波数調整時のばらつきを極力抑制し、特性の安定した圧電振動子の周波数調整方法、および圧電振動子の周波数調整装置を提供する。
【解決手段】
パレット１を熱遮断板３に取着した状態で、各ワーク５や温度センサＳを各収納凹部１１に搭載し、また温度調整素子Ｔをパレットに取着する。各収納凹部にワーク５を搭載した後、押え板２でワークや温度センサ温度調整素子を固定する。イオンミリングによりワークに対し順次調整動作を行うが、周波数調整実行時に温度センサにより周波数調整用マスク装置や水晶振動子の温度を測定する。測定結果が所定温度範囲外である場合、温度調整部により温度調整を実施する。 （もっと読む）

【課題】小型化を進める上で、ドライブレベル特性が良好で、収容体の接合部に応力が残留せず、特性悪化要因を残すことがない圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】ベース基体５４と、枠付き振動片５５と、該枠付き振動片に積層固定されるリッド５６とを含む圧電デバイスであって、前記ベース基体と、前記枠付き振動片と、前記リッドとが全て同じ材料で形成されており、前記枠付き振動片５５が、振動片本体３２と、枠部５３とを備え、前記ベース基体と、前記枠付き振動片と、前記リッドの互いの各接合面が表面活性化接合により接合されて、真空封止され、かつ、前記振動片本体３２の駆動用の電極が前記枠部に引出し電極として引き回され、前記接合によって、前記枠部の引出し電極が、前記ベース基体の接合面に形成した導電パターンを介して、該ベース基体に設けた外部端子としての実装電極と電気的に接続される構成。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップへのアンダーフィルを排除して生産性及び信頼性を高めた表面実装用の水晶発振器を提供する。
【解決手段】内壁段部を有する凹状とした容器本体７の内底面にＩＣチップ１を固着し、前記ＩＣチップ１の上方に水晶片８を配置して前記容器本体７の開口端面に金属カバー９を接合してなる表面実装用の水晶発振器において、前記水晶片８から延出した引出電極１１ｂの一端部両側を導電性接着剤１３によって平板状基板１５の第２保持端子１２ｂに固着する。次に、ＩＣチップ１が固着された容器本体７の内壁段部に前記平板状基板１５の表面側を対向させ、内壁段部の第１接合端子５ａと前記平板状基板１５の第２接合端子５ｂとを半田によって接続した構成とする。 （もっと読む）

【課題】 ドライエッチングにより周波数調整する場合に、マスクずれの影響をなくし、圧電振動子の電気的特性の高性能化や高安定化が実現できるより信頼性の高い圧電振動片、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 基部２０と、この基部から突出された複数の脚部２１，２２とからなり、各脚部には、脚部主面の先端部に形成された周波数調整膜２５，２６と、脚部に形成された励振電極２３，２４とを具備しており、前記周波数調整膜の表面材質に対して前記励振電極の表面材質の方がドライエッチングによる除去レートの低い材料で形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】音叉型屈曲水晶振動子と、増幅器と、コンデンサーと、抵抗素子とを備えて構成される水晶発振回路を備え、かつ、周波数安定性に優れた水晶発振器の製造方法を提供することにある。
【解決手段】音叉腕に溝を形成し、当該溝と側面に電極を配置するので、電気機械変換効率が良くなり、等価直列抵抗Ｒ_１の小さい、Ｑ値の高い、しかも、容量比の小さい超小型で、安価な音叉型屈曲水晶振動子を備えた水晶発振器が得られる。 （もっと読む）