【課題】 研磨工程において、ウエハに割れや欠けといった破損が生じてしまうのを防止したキャリアと、このキャリアを用いてなる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】 ウエハＳの両面を研磨して、ウエハＳの厚みを所定の厚みに調整するウエハ研磨装置において、ウエハＳを収容し保持するためのキャリア４１である。ウエハＳを収容する、開口形状が略角形状の保持孔４１ｂを有している。保持孔４１ｂの角部には、角部を形成する二本の直線部Ｌ１、Ｌ２の交点Ｐとその近傍において、保持孔４１ｂの内側に向かって凹形状となる第１湾曲部４１ｃが形成され、第１湾曲部４１ｃの両側には、それぞれ対応する直線部より保持孔４１ｂの内側に膨出することなく、保持孔４１ｂの内側に向かって凸形状となる第２湾曲部４１ｄが形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動片及び振動子の製造方法に関する。
【解決手段】相互に反対を向いて厚みを定義する第１及び第２の表面１２，１４を有し、基部１６及び基部１６から厚み方向に直交して並んで延びる複数の腕部１８を含む支持体１０を用意する。支持体１０は、複数の腕部１８のそれぞれの第１の表面１２に下部電極膜２０が形成され、下部電極膜２０上に圧電膜２２が形成され、圧電膜２２上に上部電極膜２６が形成され、第２の表面１４において複数の腕部１８のそれぞれの少なくとも一部は露出領域３０を有する。第２の表面１４の露出領域３０をエッチングする。エッチングによって厚みを減らして、複数の腕部１８を厚みの方向に曲がりやすくする。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の大きさの影響を受けずに製造を容易とする。
【解決手段】 容器体１０内に設けられた搭載パッド１４と圧電振動素子２０の励振電極２２と接続する引回しパターン２３とが接合され、蓋体３０で容器体１０を気密封止した圧電振動子１００であって、圧電振動素子２０の引回しパターン２３が、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように圧電振動素子２０の両主面にのみ形成され、圧電振動素子２０の端部側で向かい合うように形成された引回しパターン２３を電気的に接続する側面金属膜Ｋが圧電振動素子２０の側面に別途設けられて構成されている。 （もっと読む）

【課題】 振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】 圧電フレーム（２１）は、基部（２３）の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕（２４）を有し、この一対の振動腕に励振電極（４３，４４）を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕（２５）と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部（２２）と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部（２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素板をウエットエッチングにより形成するときに、圧電素板に対して外形上の悪影響を与えるのを防止した圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、圧電素板１２の一方の主面２０に第１接着剤４０を用いて載置部４２を接合するとともに、圧電素板１２の他方の主面２２に対向した位置が開口したガイド板４６を圧電素板１２の他方の主面２２に配置して、他方の主面２２の周縁部とガイド板４６とを第２接着剤４４を用いて接合し、ガイド板４６の開口部４８にエッチング液を滴下して、他方の主面２２をエッチングする構成である。 （もっと読む）

【課題】ＩＣチップの水晶端子の位置に拘わらず、水晶片の励振電極の一方が発振用増幅素子の出力側となる生産性に富んだ表面実装用の水晶発振器を提供する。
【解決手段】一対の励振電極を両主面に有する水晶片２とＩＣチップ１とを容器本体３に収容し、ＩＣ端子中の水晶端子６（ｘ、ｙ）と前記励振電極とはワイヤーボンディングを経て電気的に接続し、前記ＩＣチップの出力側に接続した一方の励振電極は前記容器本体の開口端面側に位置し、前記一方の励振電極にイオンビームを照射して発振周波数を調整してなる表面実装用の水晶発振器において、前記一対の励振電極はそれぞれ前記ＩＣチップの入出力端となる水晶端子に選択的に導通可能な第１と第２の回路端子１０（ｘ1、ｘ2）又は１０（ｙ1、ｙ2）に接続し、前記発振用増幅素子の入出力端となる前記水晶端子は前記第１と第２の回路端子のいずれかに前記ワイヤーボンディングによって接続した構成とする。 （もっと読む）

【課題】低いＣＩ値の水晶振動子片を提供する。
【解決手段】
振動する脚の根元にエッチングにより残渣が形成される複数の振動脚と、複数の振動脚が接続された基部とを備え、複数の振動脚と基部とがエッチングによって一体的に形成される水晶振動子片において、水晶振動子片の厚み方向から見て、残渣のうちで、残渣の面積が最も小さく形成される第１群振動脚を除いた第２群振動脚に、第２群振動脚の共振周波数を調整するためのバランス調整部を形成し、このバランス調整部は、基部と反対側の先端であり、第２群振動脚の一体物として形成されることを特徴とする。これにより、振動する複数の振動脚の共振周波数を合わせることができ、振動損失が少ない低いＣＩ値を有する水晶振動子片を提供できる。 （もっと読む）

【課題】周波数調整における結合係数の劣化を低減した圧電フィルタを提供する。
【解決手段】圧電体１の両主面上に第１電極と第２電極を備えて第１の圧電振動子を形成し、第３電極と第４電極を備えて第２の圧電振動子を形成する。第１の圧電振動子の周波数を調整するため、第１電極と第２電極の最表面上には、第１負荷膜と第２負荷膜が形成され、第２の圧電振動子の周波数を調整するため、第３電極と第４電極の最表面上には、第３負荷膜と第４負荷膜が形成される。 （もっと読む）

【課題】周波数特性をほとんど劣化させることなく、共振周波数を精緻に設定できる圧電振動装置の共振周波数調整方法と、その製造方法とを提供する。
【解決手段】圧電振動装置１０１の共振周波数調整方法は、支持状態変更プロセスを行い、支持部２４Ａ，２４Ｂによる振動部２０の支持状態を変更して、即ち、振動部２０ではなく支持部２４Ａ，２４Ｂに対して形状の変更などを加えて振動部２０の共振周波数を調整する。振動部２０は、ＡｌＮ層１４に励振電極１３，１５が配されたものである。支持部２４Ａ，２４Ｂは、振動部２０を基板１１との間にクリアランス４１を設けて支持するものである。これにより、振動部２０の振動に基づく、圧電振動装置１０１の共振周波数を微調整する。 （もっと読む）

【課題】振動モードにおいて結合部が非対称に歪むのを防止し、良好なフィルタ特性を得ることのできるＭＥＭＳ技術を用いた電気機械フィルタを提供する。
【解決手段】電気機械フィルタを構成する結合部に対し、対称な外部力を加えることで結合部の振動モードに影響をもたらすことがなく結合部のばね定数が変化し、共振モード間の結合係数を調整し、周波数帯域を変化させる。また当該結合部に静電力を印加する制御部を具備することにより、構造に応力をもたせてばね定数を変化させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】パッケージへ封入される負荷容量の容量値や圧電部の周波数特性の精度が優れた圧電共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電共振子の製造方法は、配置接合プロセスＳ８の前工程に、基体側ウェハ測定プロセスＳ３と負荷容量値演算プロセスＳ４と蓋体側ウェハ測定プロセスＳ５とエッチングプロセスＳ７とを含む。配置接合プロセスＳ８は、基体部と蓋体部とを接合する。基体側ウェハ測定プロセスＳ３は、圧電部の共振周波数ｆ_ｒを測定する。負荷容量値演算プロセスＳ４は、圧電共振子の発振周波数ｆ_ＯＳＣ．を設定するための負荷容量Ｃ_Ｌの目標設定値を、圧電部の共振周波数ｆ_ｒに基づいて取得する。蓋体側ウェハ測定プロセスＳ５とエッチングプロセスＳ７とは、負荷容量Ｃ_Ｌの容量値を目標設定値に調整する。 （もっと読む）

【課題】 コストを低減し、且つ周波数の安定した圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電体ウエハから目標振動周波数を有する圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法は、圧電振動片の外形を形成し目標振動周波数よりも高い周波数に外形形成工程（Ｓ１１２）と、外形形成された圧電振動片の表面に第１の電極膜を成膜する第１金属膜成膜工程（Ｓ１２０）と、第１振動周波数になるように第１の電極膜の厚さを調整する第１金属膜厚さ調整工程（Ｓ１２２）と、調整した第１の電極膜上に第２の電極膜を成膜し、圧電振動片を第２振動周波数にする第２金属膜成膜工程（Ｓ１３２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】振動周波数の調整を容易に行うことのできる圧電デバイスの製造方法および圧電振動板を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの製造方法は、行方向に配列された複数の圧電振動部１１と、複数の圧電振動部の各々の周囲を囲む枠部と、圧電振動部と枠部とを接続する接続部１５ａ，１５ｂと、圧電振動部の上面に設けられた第１の励振電極と、圧電振動部の下面に設けられた第２の励振電極１４と、第１及び第２の励振電極と電気的に接続されている第１及び第２の配線２３，３３と、を含む圧電振動板１０を準備する工程と、圧電振動部の振動周波数を調整するための一対のプローブを、切断ラインの領域内において、第１及び第２の配線における第１及び第２の端部とに接触させて圧電振動部の周波数を調整する工程と、圧電振動板を切断ラインに沿って切断分離する工程と、を含み、第１及び第２の端部は、同一面に設けられている。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、移動体通信機器などに用いられるフィルタ、発振器、センサの小型化、高性能化に適した圧電振動子を提供することである。また、そのような圧電振動子を生産効率よく製造する方法を提供することである。
【解決手段】本発明の圧電振動子１は、所望の共振周波数で振動させるための駆動用電極５ａ、５ｂを備えた圧電振動片２の上に絶縁体６ａ、６ｂを形成し、その質量を調整して共振周波数を合わせ込む。またこの圧電振動子の製造方法は、駆動用電極を備えた圧電振動片を形成する振動片形成工程と、絶縁体の原料微粒子をエアロゾル化して圧電振動片の表面に噴射し、原料微粒子径、ガス圧力、噴射角度等の選定により絶縁体を堆積あるいはエッチングして、所望の共振周波数になるよう調整する周波数調整工程を有する。 （もっと読む）

【課題】高周波化に伴う小型化と広帯域化を両立させ、信頼性を維持して生産性を高めた表面実装用水晶フィルタを提供する。
【解決手段】一主面に入出力電極４ａ及び４ｂを他主面に共通電極５を形成した水晶片１と、前記水晶片１を収容する凹部を有した容器本体２と、前記容器本体２を封止するカバー３とを備え、前記入出力電極４ａ及び４ｂの間隙部と対向する前記共通電極５の中央部には周辺部よりも高さの高い周波数調整体を有する表面実装用水晶フィルタにおいて、前記周波数調整体は少なくとも前記水晶片１が前記容器本体２に収容される以前の前記入出力電極４ａ、４ｂ及び共通電極５の形成時に形成された負荷電極７を有した構成とする。 （もっと読む）

【課題】スプリアスの抑制された信頼性の高い共振器応答が得られ、且つ、比較的製作の容易な薄膜バルク波共振器及びこれを用いた電子部品を提供する。
【解決手段】薄膜バルク波共振器１１は、基板２０の上に形成された下部電極２１、圧電薄膜２２、上部電極２３の積層体２５と、基板２０の上面と下部電極２１との間に形成された空隙部２４と、を備え、上部電極２３の表面には、多数の調整孔２３ｃが設けられており、これらの調整孔２３ｃは、いずれの調整孔２３ｃについてもその調整孔２３ｃ（基準孔３１）と当該調整孔に最も近い調整孔２３ｃ（隣接孔３２）とを結ぶ直線及びその延長線（通過線３３）上において規則的な調整孔２３ｃの配列パターンが存在しないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】 ベース基板と蓋体との封止に表面活性化接合を用いた圧電デバイスにおいて、圧電振動片に形成された励振電極がイオンビーム等の照射によりスパッタエッチングされ生じる圧電振動片の周波数のシフトを防止する。
【解決手段】 圧電振動片１２が搭載されたベース基板１１に蓋体１３が接合され、ベース基板１１および蓋体１３とにより形成された内部空間に圧電振動子１２を収納した圧電デバイス１０において、ベース基板１１と蓋体１３とは表面活性化接合により接合されており、前記内部空間内のベース基板１１上には、圧電振動片１２を覆い保護するための内蓋１４を配置する。 （もっと読む）

【課題】チップ部品等の小型の回路部品上に圧電振動素子の一端部を導電性接着剤によって支持する際に、未硬化状態にあるために導電性接着剤による保持力が弱い期間中に、圧電振動素子の自重によって接着部が剥離する不具合を解消する。
【解決手段】底部に外部電極を有すると共に上部に該外部電極と導通したＩＣ搭載用の導通パッド２１ｂを備えたパッケージ本体２１と、該パッケージ本体の前記導通パッド上に導通接続されるＩＣチップ２２と、該ＩＣチップ上部の上部電極２２ｃに対して導電性接着剤Ｂによって少なくとも一端縁を支持された圧電振動素子２３と、該ＩＣチップ及び圧電振動素子を含むパッケージ本体上面を気密封止する蓋部材２４と、を備え、ＩＣチップは、圧電振動素子の一端縁から重心位置までの距離を越える長さを有している。 （もっと読む）

【課題】圧電体薄膜の膜厚の変動があっても圧電薄膜共振子が副共振の影響を受けないようにする。
【解決手段】圧電薄膜共振子１は、支持基板１１に支持された圧電体薄膜１５の両主面に下面電極１４及び上面電極１６を形成し、圧電体薄膜１５を挟んで下面電極１４及び上面電極１６を対向させた構造を有する。導電体薄膜１６０１に導電体薄膜１６０２を付加して部分的に膜厚を厚くした上面電極１６は、自由振動領域１９２において圧電体薄膜１５の膜厚の分布を相殺する膜厚の分布を有する。このような膜厚の分布を有する上面電極１６を採用すれば、圧電薄膜共振子が複数の共振周波数で共振することを防止できるようになり、圧電薄膜共振子１が副共振の影響を受けにくくなる。 （もっと読む）

【課題】水晶振動素子の周波数調整時に、水晶振動素子に金属の屑が付着することを防ぐ周波数調整用マスク治具を提供することを課題とする。
【解決手段】励振用電極を有する水晶振動素子が凹部空間内に搭載されている容器体を収容部に固定する搬送治具に重ね合わせて用いられる周波数調整用マスク治具であって、容器体の凹部空間が開口する方向が、収容部が開口する方向と同一となっており、板状のマスク本体に容器体の開口の大きさと同一または、大きいマスク側凹部が容器体側に形成され、マスク側凹部内に、水晶振動素子に形成された励振用電極の外周に沿った外形のマスク側貫通孔が形成されている。 （もっと読む）