【課題】パッケージングの前及び／又は後の何れかに関わらず、出力周波数が調整され、整調され、設定され、画定され、及び／又は選択されるマイクロ電気機械共振器を製作する方法の提供。
【解決手段】機械的構造１２の１つ又は複数の要素及び／又は梁１４ａ、１４ｂ（例えば、移動可能又は拡張可能な電極及び／又は周波数調整構造）を（選択又は非選択的方法で）抵抗加熱することによって、共振器の機械的構造１２の材料を変化させ、及び／又は共振器の機械的構造から材料を除去することにより、マイクロ電気機械共振器１０の周波数を調整し、整調し、設定し、画定し、及び／又は選択する。 （もっと読む）

【課題】小型化された場合であっても、集積回路素子が搭載された後に圧電振動素子の電気的特性を容易に測定することができる圧電発振器を提供する。
【解決手段】基板部と２つの枠部とで構成され、両主面に凹部空間が形成され、一方の凹部空間の底面に複数の集積回路素子搭載パッドと２つ一対の測定用端子が設けられ、他方の凹部空間の底面に２つ一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている素子搭載部材と、圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、を備え、圧電振動素子搭載パッドと所定の２つの集積回路素子搭載パッドとが電気的に接続され、測定用端子が圧電振動素子搭載パッド、または／及び、所定の２つの集積回路素子搭載パッドに電気的に接続され、前記測定用端子の幅が枠部の幅より広く形成されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】精密な周波数調整が可能な、積層型圧電薄膜フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る積層型圧電薄膜フィルタの製造方法は、基板７上に、下部圧電薄膜共振子２０を形成する工程と、下部圧電薄膜共振子２０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、周波数を調整した下部圧電薄膜共振子２０上に音響結合層３０を形成する工程と、音響結合層３０上に上部圧電薄膜共振子４０を形成して積層型圧電薄膜フィルタ１を形成する工程と、上部圧電薄膜共振子４０の周波数を参照して周波数を調整する工程と、を備えることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 小型化を実現しつつ、品質を高め、生産性を向上させることができる表面実装水晶振動子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 矩形のセラミックベース１の角部に形成された貫通孔９の壁面にスルー端子５ｘが形成され、セラミックベース１の表面に水晶片２を保持する水晶保持端子４の引出端子４ａが対角のスルー端子５ｘに接続すると共に、セラミックベース１の裏面ではスルー端子５ｘに接続する実装端子５ａ，５ｂが形成され、更に金属カバーのセラミックベース１上に溶融樹脂８を介して接合する開口端面が傾斜面を備えたフランジ３ａとした表面実装水晶振動子である。 （もっと読む）

【課題】エレクトレットを備える音響共振器、および前記共振器を製造する方法、切り替え可能な結合共振器フィルターへの応用を提供すること。
【解決手段】共振器は、少なくとも１つの圧電層（３０）と、この層の両側にある電極（２４、２６）と、永久電界を圧電層に印加するための電極間の少なくとも１つのエレクトレット層（３２）とを備える。この電界の強度は、所望の値だけ共振器の共振周波数をシフトするように決定される。圧電層は、電荷を含み、それ自体エレクトレット層を構成することができる。 （もっと読む）

【課題】ガラスフリット残渣を簡単に除去することができ、かつ歩留まりを向上することができるパッケージの製造方法、圧電振動子の製造方法、発振器、電子機器、電波時計を提供する。
【解決手段】ベース基板用ウエハ４０の上面Ｕ上に乾燥して残渣しているガラスフリット残渣６ｂを削り取る残渣除去工程Ｓ３２Ｇと、ガラスフリット残渣６ｂを除去した後、貫通孔内に充填されたガラスフリット６ａを焼成して硬化させる焼成工程Ｓ３２Ｈと、を有する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】異方性圧電結晶材料から成る圧電基板面にエッチングによって凹陥部を形成することによって振動部を形成した超小型の圧電基板を、大面積の圧電基板ウェハを用いたバッチ処理により量産する場合に、凹陥部を包囲する環状部の肉厚を十分に確保して分割時のひび割れを防止する。
【解決手段】薄肉の振動部４と、振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁５ａが、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、圧電基板の外形寸法は、他の結晶軸方向の基板長さよりも、一方の結晶軸方向の基板長さが長い。 （もっと読む）

【課題】異方性圧電結晶材料から成る圧電基板面にエッチングによって凹陥部を形成することによって振動部を形成した超小型の圧電基板を、大面積の圧電基板ウェハを用いたバッチ処理により量産する場合に、凹陥部を包囲する環状部の肉厚を十分に確保して分割時のひび割れを防止する。
【解決手段】薄肉の振動部４と、振動部の外周縁を一体的に包囲する厚肉の環状部５と、を備えることにより、少なくとも一方の主面側に凹陥部３を形成した圧電基板２であって、異方性を有した圧電結晶から成るものにおいて、環状部は、一方の結晶軸方向側の内壁５ａが、これと直交する他の結晶軸方向側の内壁よりも緩やかな傾斜角度を備えており、圧電基板の外形寸法は、他の結晶軸方向の基板長さよりも、一方の結晶軸方向の基板長さが長い。 （もっと読む）

【課題】 厚みの制約を少なくし、容易に温度特性などの測定が行えるようにする。
【解決手段】 振動部と保持部とからなり、振動部に一対の励振電極を有しつつ保持部に一対の搭載用端子を有した圧電振動素子と、平板状に形成され、圧電振動素子が搭載される一対の圧電振動素子搭載パッドとこの圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続している圧電振動素子接続外部端子と少なくとも２つ一対の引回し用外部端子とが一方の主面に設けられ、前記圧電振動素子搭載パッドに電気的に接続する一対の調整用端子と前記一対の引回し用外部端子をつなぐ導通パターンとが他方の主面に設けられた素子搭載部材と、凹部を有し、この凹部内に圧電振動素子を収容する蓋部材と、素子搭載部材の他方の主面に設けられた少なくとも調整用端子を覆う保護膜と、を備えて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

調節可能な共振周波数を有し、大きな信号を扱うことができる調整可能なＭＥＭＳ共振器が説明される。１つの例示的設計では、調整可能なＭＥＭＳ共振器は、（ｉ）キャビティおよび支柱を有する第１の部分と、（ｉｉ）支柱の下に配置された可動プレートを含み、第１の部分と対になった第２の部分とを含む。各部分は、もう一方の部分と対向する表面上を金属層で覆われていてもよい。ＭＥＭＳ共振器の共振周波数を変化させるために、可動プレートを、直流電圧で機械的に動かすことができる。キャビティは、長方形または円形の形状を有してもよく、空であっても、誘電材料で満たされていてもよい。支柱は、キャビティの中央に位置してもよい。可動プレートは、第２の部分に、（ｉ）１つのアンカーによって取り付けられて片持ち梁として働いてもよく、あるいは、（ｉｉ）２つのアンカーによって取り付けられてブリッジとして働いてもよい。
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【課題】振動腕を加工することなく周波数調整を行うことができる音叉型圧電振動片を備える圧電フレームを提供する。
【解決手段】圧電フレーム２１は、基部の一端側から第１方向に伸びる少なくとも一対の振動腕を有し、この一対の振動腕に励振電極を有する音叉型圧電振動片と、振動腕の両外側において第１方向に伸びる一対の支持腕と、音叉型圧電振動片を囲む外枠部２２と、一対の支持腕と外枠部とを接続する所定幅を有する接続部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】電子部品と回路基板とのハンダ付け実装品質を向上させるなどする。
【解決手段】ベース３は、貫通電極７、１７が形成されたガラスによって構成されており、ベース３の底面には、水晶振動子６の電極と導通する外部電極８が形成されている。外部電極８は、ハンダ付けの際にハンダと接合する接合用電極膜３１と、その上に形成された酸化防止膜５１から構成されている。酸化防止膜５１は、Ａｕ層とＣｒ層を交互に重ねて構成されており、Ａｕ層の最上面は接合用電極膜３１に接合している。酸化防止膜５１を構成するＡｕ層の厚さの合計値は、３００［ｎｍ］以上で１０００［ｎｍ］以下、好ましくは、３００［ｎｍ］以上で４５０［ｎｍ］以下となるように設定されており、接合用電極膜３１の酸化を効果的に防止するのに十分な厚さを確保すると共に、Ａｕが多すぎることによりハンダの脆弱化を防いでいる。 （もっと読む）

【課題】主に主面方向からの荷重により基部や支持腕部に折れなどの破損を生じることが少ない、小型薄型の水晶振動素子を提供する。
【解決手段】基部１１１とこの基部１１１から同一方向に延設した複数の振動腕部１１２，１１３とこの基部１１１から延設した支持腕部１１４とを備えた水晶片と、この水晶片の表面に少なくとも励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂと接続用電極１２３ａ、１２３ｂと導配線パターン１２５、１２６とが設けられた水晶振動素子１００であって、基部１１１及び支持腕部１１４の少なくとも一方の主面に溝部が設けられている水晶振動素子１００。 （もっと読む）

【課題】通信信号を安定して出力することができる通信モジュールを提供することを課題とする。
【解決手段】本発明の通信モジュールは、圧電発振器搭載パッドと第１の集積回路素子搭載パッドが設けられているモジュール搭載部材と、第１の集積回路素子搭載パッドに搭載されている第１の集積回路素子と、圧電発振器搭載パッドに搭載される圧電発振器であって、素子搭載部材と素子搭載部材の一方の主面に搭載されている圧電振動素子と前記素子搭載部材の他方の主面に搭載されている第２の集積回路素子と圧電振動素子を気密封止するための蓋部材と、を備えている圧電発振器と、圧電発振器と第１の集積回路素子とを被覆するように設けられている樹脂層と、モジュール搭載部材の他方の主面に前記圧電発振器の発振周波数を調整するための周波数調整用書込端子と、を備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】生産効率に優れ、圧電デバイスの表面上に均一な膜厚の金属膜を形成することを可能とする圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】
本発明の圧電デバイスの製造方法では、所定の形状であけられた開口窓４１０を有するマスク４００の下に、周波数調整膜を成膜したい部分だけを開口窓４１０から見えるようにして水晶振動片２００を配置する。次に、所定の間隔Ｌで並んだ２つのノズル３００ａ、３００ｂから銀（Ａｇ）からなる微粒子を噴出させてガスデポジション法による成膜を行う。２つのノズル３００ａ、３００ｂを同じ速度で同時に矢印Ｘの方向に平行移動させながら、微粒子を噴出させる。それぞれのノズルから噴出した微粒子が重なり合ってできる平坦領域をつかい、水晶振動片上に均一な厚みの周波数調整膜を形成する。 （もっと読む）

【課題】振動子の構造寸法の変化に起因する共振周波数の変動を抑制することのできる共振回路及びその製造方法を実現する。
【解決手段】本発明の共振回路３０は、基板と、該基板上に形成された固定電極１２、及び、該固定電極の少なくとも一部に対向する可動部１３ａを備えた可動電極１３を有し、前記基板上に設けられた収容空間内に少なくとも前記可動部が配置されたＭＥＭＳレゾネータ１０と、該ＭＥＭＳレゾネータにバイアス電圧を印加する電圧印加手段と、を具備し、該電圧印加手段は、前記収容空間若しくは前記収容空間とは別の収容空間内に少なくとも一部が配置された第１の抵抗Ｒ１１と、該第１の抵抗に接続された第２の抵抗Ｒ１２とを備え、前記第１の抵抗と前記第２の抵抗の接続点電位を前記ＭＥＭＳレゾネータの第１の端子１０ａと第２の端子１０ｂのうちの少なくとも一方の端子に出力する分圧回路２１を有する。 （もっと読む）

【課題】長期的に高い信頼性を有した圧電振動子、圧電発振器、電子機器、及び圧電振動子の製造方法の提供。
【解決手段】圧電振動子２００は、キャビティ１を有するパッケージ１１０と、キャビティ１内に形成された複数の電極パッド２０と、シリコーン系導電性接着剤を含み、複数の電極パッド２０上に各々形成された第１接着部３１及び第２接着部３２により、一端を支持された圧電振動素子１００と、を備え、圧電振動素子１００が、互いに対向する第１面４１と第２面４２とを有する圧電基板４０と、第１面４１に形成されて第１接着部３１と電気的接続の第１電極膜５０ａと、第２面４２に形成されて第２接着部３２と電気的接続の第２電極膜５０ｂと、を有し、圧電振動素子１００の第１接着部３１及び第２接着部３２による支持領域と、第１接着部３１及び第２接着部３２にて支持されていない可動領域４２とで、可動領域４２にフッ素樹脂膜６０が形成される。 （もっと読む）

【課題】振動周波数を調整する際の作業性を高めて設計を容易にする２周波用とした水晶デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも第１と第２の水晶片２（ａｂ）の励振電極４ａから引出電極４ｂの延出した一端部両側をセラミックベース１の内底面に形成された水晶保持端子に加熱硬化型の導電性接着剤６によって固着し、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）の励振電極４ａにガスイオンＰを照射して振動周波数を調整してなる２周波用とした表面実装水晶デバイスの製造方法において、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）は前記セラミックベース１の内底面に対して垂直方向とするとともに板面を対向して、前記引出電極４ｂの延出した一端部両側を前記水晶保持端子に予め固着した後、前記第１と第２の水晶片２（ａｂ）の対向面とは反対面の励振電極４ａにガスイオンＰを照射した構成とする。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】逆相の屈曲モードで振動し、音叉基部と音叉基部に接続された第１及び第２音叉腕とを備えた音叉型水晶振動子７０と、ケース７１と、蓋７２を備えて構成されるユニット１７０であって、水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成し、その上にレジストを塗布、第１及び第２音叉腕とを形成し、第１及び第２音叉腕の各々の上面と下面に溝を形成、その上に形成された第１電極が、第２音叉腕の側面に形成された第２電極に接続され、同様に第２音叉腕に形成された第３電極が、第１音叉腕の側面に形成された第４電極に接続され、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数が少なくとも２回、異なる工程で調整されていて、ケースの固定部に音叉型屈曲水晶振動子が固定され、ケースに蓋が接続される。 （もっと読む）

【課題】励振電極の材料を選択して生産性を高めた水晶振動子を提供する。
【解決手段】下地電極６ａ上に本電極６ｂの設けられた励振電極６を水晶片２の両主面に有し、前記水晶片２の一主面の励振電極６に対する質量負荷効果によって振動周波数を調整した水晶振動子において、前記一主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡuを設け、前記他主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡgを設けた構成とし、例えば前記下地電極の膜厚は同一として、前記他主面の本電極であるＡgの膜厚は前記一主面の本電極であるＡuよりも大きくした構成とする。 （もっと読む）