【課題】水晶振動素子の周波数調整時に、水晶振動素子に金属の屑が付着することを防ぐ周波数調整用マスク治具を提供することを課題とする。
【解決手段】励振用電極を有する水晶振動素子が凹部空間内に搭載されている容器体を収容部に固定する搬送治具に重ね合わせて用いられる周波数調整用マスク治具であって、容器体の凹部空間が開口する方向が、収容部が開口する方向と同一となっており、板状のマスク本体に容器体の開口の大きさと同一または、大きいマスク側凹部が容器体側に形成され、マスク側凹部内に、水晶振動素子に形成された励振用電極の外周に沿った外形のマスク側貫通孔が形成されている。 （もっと読む）

【課題】周波数安定性の良い音叉型屈曲水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶ウエハ４０の上面と下面に金属膜４１を形成し、金属膜４１の上にレジスト４２を塗布し、エッチング加工により音叉腕４３，４４と音叉基部４５とを具えた音叉形状、及び音叉腕の上面と下面の各々に溝４６，４７，４８，４９を形成する。更に音叉形状の面の上に金属膜４１とレジスト４２を塗布し、一方の音叉腕４３の側面に配置された電極５０，５３と他方の音叉腕４４の溝４８，４９に配置された電極５５，５６とが同極となるように接続形成し、同様に音叉腕４３の溝４６，４７に配置された電極５１，５２と音叉腕４４の側面に配置された電極５４，５７とが同極となるように接続形成しする。即ち溝の側面とその側面に対抗する音叉腕の側面には互いに異なる極性を有する電極が配置されているので、音叉腕は逆相で屈曲振動をする周波数安定性に優れた音叉型屈曲水晶振動子が得られる。 （もっと読む）

【課題】共振周波数及び反共振周波数の調整に好適な薄膜バルク波共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】並列腕共振器１０Ｂの上部電極５０Ｂ上に保護膜６０を形成する。そしてドライエッチングにより保護膜６０に複数の開口部をメッシュ状に形成し、上部電極５０Ｂの一部を露出させる。保護膜６０の開口率を調整することにより、並列腕共振器１０Ｂの反共振周波数を直列共振器１０Ａの共振周波数に一致させることができる。複数の開口部がメッシュ状に形成される保護膜６０は、その重みにより並列腕共振器１０Ｂの共振周波数及び反共振周波数を調整する機能を有するため、一度の製造工程で保護膜と周波数調整膜とを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子と、この輪郭振動子の調整方法を提供する。
【解決手段】輪郭振動子１０は、水晶基板のカット角φがＩＲＥ標準のＹＸｌｔφ／θで表される四角形の平板からなる振動体２０と、振動体２０の表裏両面に設けられ共振周波数を律する励振電極３０，３１と、励振電極３０，３１の表面に設けられ温度特性を調整する温特調整膜４１，４２と、を備える。振動体２０を形成した後、振動体２０の表裏両面に励振電極３０，３１を形成し、励振電極３０，３１の厚さまたは／及び面積を変更して共振周波数を調整した後、温特調整膜４１，４２を形成し温度特性を調整し、所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化に対応する圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】上部凹陥部と下部凹陥部とが隔壁で隔てて対向配置する容器体と、圧電振動
素子と、発振回路を構成する電子回路素子と、蓋体と、を備え、前記下部凹陥部が全周に
外壁を有した構成であり、前記上部凹陥部に前記圧電振動素子を収容し該上部凹陥部を前
記蓋体により気密封止すると共に、前記下部凹陥部に少なくとも前記電子回路素子を収容
する構造を有する圧電発振器であって、前記容器体の対向する側面にそれぞれ凹所を設け
、該凹所の内壁に導体膜を配設すると共に、該導体膜を前記圧電振動素子と電気的に導通
接続した圧電発振器。 （もっと読む）

【課題】平面サイズが大きくなることなく、低周波で発振する輪郭振動片、輪郭振動デバイスおよび輪郭振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】輪郭振動片１０は振動部１２を有しており、この振動部１２の主面に貫通孔１６または非貫通孔を少なくとも１つ設けている。貫通孔１６または非貫通孔は、振動部１２が輪郭振動したときのバランスが崩れるのを防止するために、振動部１２に均等に配設してある。すなわち貫通孔１６または非貫通孔は、対称になるように振動部１２に配置してある。そして振動部１２に設ける励振電極は、振動部１２の主面に配設してある。 （もっと読む）

【課題】 特性が良好でかつ安定化した圧電振動デバイスおよび圧電振動デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】 水晶振動板１１と下ケース１３の接合は、封止ガラス材１５を水晶振動子の裏面（一方面）外周領域に配置し、下ケースの外周領域と接合する。この接合により気密封止されたキャビティＶが形成されるが、当該キャビティＶは真空雰囲気としている。水晶振動板１１と上ケース１２の接合は、封止ガラス材１４を水晶振動子の表面（他方面）外周領域に配置し、上ケース１２の外周領域と接合する。この接合により気密封止されたキャビティＮが形成されるが、当該キャビティＮは窒素ガス（不活性ガス）雰囲気としている。 （もっと読む）

【課題】発振周波数の可変幅を容易に設定する電圧制御発振器およびこれの製造方法と、この電圧制御発振器を実現する半導体素子を提供する。
【解決手段】電圧制御発振器１０は、パッケージに半導体素子３０と圧電振動子１２を収容している。半導体素子３０は、可変幅を調整する調整素子１４を有しており、調整素子１４の一端が発振回路２０に接続し、他端が半導体素子３０の表面に設けた調整用パッド２６と接続している。またパッケージは、その内部に調整用電極を備えているとともに、外部に接地用の外部端子を備えている。この調整用電極と接地用の外部端子は導通している。そして調整用パッド２６と調整用電極とを導通した場合と導通させなかった場合とのいずれかを選択することで、電圧制御発振器１０の可変幅を設定している。 （もっと読む）

調整可能な共振周波数を有するバルク弾性波共振器及び電話通信分野におけるそのような共振器の利用。この調整可能な共振周波数を有するバルク弾性共振器は二つの電極を備えたピエゾ電気素子を有している。バルク弾性波共振器はまた、電極の全体の厚さを変化させて、その結果、共振器の共振周波数が変更するように、電極の一つの頂部に選択的に配置される付加的電極を構成するスイッチング素子（１２）を、有する。
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【課題】短い製造工程で同一基板上に形成可能なそれぞれ異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振器からなる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１１と、基板１１上に設けられた下部電極１０と、下部電極１０上に設けられた圧電膜１２と、圧電膜１２を挟み下部電極１０と対向する共振部１６を有するように圧電膜１２上に設けられた上部電極１４と、上部電極１４上に設けられた質量負荷膜１８と、を有し、質量負荷膜１８は共振部１６に設けられ、質量負荷膜１８の面積は共振部１６の面積より小さい圧電薄膜共振器を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片（２０）の振動腕の断面が正確な矩形形状に形成する圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動片を製造する製造方法は、エッチング異方性を有する平板の圧電材料を準備する工程（Ｓ１１２）と、この圧電材料の両面に耐蝕膜を形成する工程（Ｓ１１２）と、この耐蝕膜の両面にフォトレジストを塗布する第一塗布工程（Ｓ１１４）と、圧電材料の片面のみに圧電振動片のパターンを露光する第一露光工程（Ｓ１１６）と、この第一露光工程後にフォトレジストを現像し、片面にのみ現れた耐蝕膜を除去する（Ｓ１１８）工程と、耐蝕膜を除去して現われた圧電材料をエッチングする第一エッチング工程（Ｓ１２６）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡素な工程で水晶振動片の周波数の値を制御し、個々の水晶振動片の離調度バラツキが小さい水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】基部と複数の振動脚とを有する複数の水晶振動片の外形を決める複数の耐食膜パターンを、水晶ウエハーの主表面に形成する耐食膜パターン形成工程と、エッチングにより前記水晶振動片の外形を形成するエッチング工程と、前記水晶振動片に電極を形成する電極成形工程と、を有する水晶振動子の製造方法において、前記複数の耐食膜パターンは、前記水晶ウエハーの形状特性に対応するために、前記水晶ウエハーに配置される位置によって、それらの外形形状が異なることを特徴とする水晶振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】簡単な回路構成により周波数可変幅を広げた圧電発振回路を提供する。
【解決手段】水晶振動素子の励振電極の面積を広くし、且つ位相雑音特性の優れた回路構成とした。 （もっと読む）

【課題】広い範囲で弾性率を変動させることができる圧電体振動子を提供する。
【解決手段】圧電体振動子は、駆動交流電圧ＶＤが印加される駆動電極１７と、調整交流電圧ＶＡが印加される調整電極２１とを備える。駆動交流電圧ＶＤの振幅と、調整交流電圧ＶＡの振幅との振幅比が調整され、調整に基づいて、駆動交流電圧ＶＤの印加によって生じた圧電体振動子の駆動振動による歪みは、調整交流電圧ＶＡの印加によって生じた圧電体振動子の調整振動によって増減せしめられる。 （もっと読む）

【課題】周波数差が自由に設定でき、より高性能、低コストのバルク音響波共振子を提供する。また、低コストで阻止特性が良いフィルタ、及び安価で感度が良い通信装置を提供する。
【解決手段】 圧電体と、前記圧電体を厚み方向に対して挟持する一対の電極と、を含む共振部と、前記共振部の厚み方向の少なくとも一方に設けられ、概略０．５λ×ｎの厚みを有し、前記共振部の実効電気機械結合係数を所定の目標値に調整する調整膜と、を備えた、バルク音響波共振子である。ただし、λは使用周波数における調整膜中を厚み方向に伝播する音響波の波長であり、ｎは自然数である。 （もっと読む）

【課題】周波数調整の工数を低減し、周波数調整を効率よく行うことができる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの周波数を測定する工程と、測定された周波数分布１０に基づき、圧電デバイスを、測定された周波数の全範囲の中の周波数調整対象範囲１０ｆが周波数調整対象範囲１０ｆより狭い周波数範囲１０ｅで分割された複数の群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分類する工程と、圧電デバイスを、各群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄごとに一括して熱処理することにより周波数を調整する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 ウエハ加工において周波数バラツキが発生しても適正周波数へ容易に調整できる音叉型水晶振動素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 アーム先端部に１又は複数の溝形状の溝部３、若しくは複数の凹形状の凹部５を形成し、当該溝部３又は凹部５に周波数調整用の金属被膜４，６を形成したものであり、特に金属被膜４，６を形成する前の周波数特性を所望の周波数より全て高くなるようにして、金属被膜４，６を形成することで周波数特性を全て所望の周波数より低くし、金属被膜４，６を削って所望の周波数に調整することが可能な音叉型水晶振動素子及びその製造方法である。 （もっと読む）

【課題】調整範囲が広く、製造が容易であるとともに、調整精度が高い振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の振動子の製造方法は、振動子の一部を加工して質量除去することによって振動特性の調整を行う調整工程を有する振動子の製造方法であって、前記調整工程は、前記振動特性の測定を行いながら前記振動特性の調整を同時に行う工程を含むことを特徴とする。振動特性としては、周波数や等価直列抵抗値が好ましい。また、質量を除去する加工としては、フェムト秒レーザを用いて加工することが好ましい。これにより、周波数の調整範囲および等価直列抵抗値の調整範囲が広く、短時間で製造が容易であり歩留りの良い振動子の製造方法を提供できる。 （もっと読む）

【課題】設計自由度およびフィルタの特性を向上させることのできる共振器、その製造方法前記共振器を備えた装置を提供する。

【解決手段】本発明の共振器は、基板１１０と、基板１１０上に形成され、下部電極１４０、圧電膜１５０、および上部電極１６０を備える共振部と、を含み、下部電極１４０は、圧電薄膜係数を調節するように少なくとも２つの層で形成されたことを特徴とする。下部電極１６０は結晶学的な特性、詳細には、グレインサイズおよび表面粗さのうちいずれか１つが相異なる第１電極層１４１および第２電極層１４２で形成される。また、第１電極層１４１および第２電極層１４２は、所定の厚さ比率を有するよう形成されることもできる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の接続方向による静電容量等電気的特性のアンバランスの発生を無くし、安定した特性を得られる圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 矩形状のパッケージ本体１と圧電振動素子３を有し、パッケージ本体の内底面で一端辺側に近接配置された第１、第２の電極パッドと、当該各電極パッドを第１、第２の外部端子へ導出する第１、第２の引出電極とが形成されており、前記圧電振動素子は、当該圧電振動素子の一端辺側で片持ち支持されるとともに、前記圧電振動素子の他端辺側に周波数調整用の金属膜領域が形成された圧電振動デバイスであって、前記第２の電極パッド１３には、前記各電極パッドから前記各外部端子までの静電容量の差を調整する容量調整電極１３ａが形成されており、前記容量調整電極は、前記圧電振動素子の周波数調整用の金属膜領域に及んでいない位置に形成されている。 （もっと読む）