【課題】共振周波数を精度よく且つ均一に調整することが可能な薄膜音響共振器を実現できるようにする。
【解決手段】薄膜音響共振器は、圧電膜１１と、圧電膜１１を挟んで互いに対向するように形成された第１電極１２及び第２電極１３とを備えている。第１電極１２又は第２電極１３の圧電膜１１と反対側の面には、密度が５００ｋｇ／ｍ³以上且つ３５００ｋｇ／ｍ³以下の材料からなる共振周波数調整膜１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】内部に設けられた電子部品本体に信号を確実に入力し、電子部品本体に書き込まれた信号の改変、消去を防ぐとともに、通常使用時に蓋体の電位が固定されている電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイスは、パッケージベースに電子部品本体を実装して、前記パッケージベース上に金属製の蓋体１８を接合した構成である。前記電子デバイスには、前記蓋体１８と前記電子部品本体とを導通させるライン３８が設けられており、前記蓋体１８を前記電子部品本体に信号を入力するための端子としている。そして前記ライン３８は、インピーダンス素子５０を介して固定電位部に接続されている。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、フリップチップ実装される半導体部品を有する圧電発振器において、瞬間的な発熱による熱変動が生じた場合に半導体部品から発する熱温度と圧電振動子の感応する熱温度とを瞬時に整合可能な圧電発振器構造を提供することにある。
【解決手段】
同一密閉容器３の同一キャビティ８中に圧電振動子２と半導体部品５を収納してなる圧電発振器１において、半導体部品５の実装端子９と圧電振動子２の引き出し電極１０とが導電性接合材４によりオーバーハングした状態で搭載され、半導体部品５の他の実装端子９がキャビティ８底面に接続されている。 （もっと読む）

【課題】内部に設けられた電子部品本体に信号を確実に入力し、また電子部品本体に書き込まれた信号の改変、消去を防ぐとともに、ユーザ使用時に蓋体の電位が固定されている電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイスは、パッケージベースに搭載され、外部から入力された信号が書き込まれる処理記憶部４６と、外部から前記信号が入力される端子となり、前記パッケージベースの上面に接合された導電性を有する蓋体１８と、前記蓋体１８と前記処理記憶部４６との間に配設され、前記信号の書き込み使用時は前記蓋体１８と前記処理記憶部４６とを導通させるとともに、ユーザ使用時は前記蓋体１８を接地部４４とを導通させるスイッチ回路４８と、を有する構成である。 （もっと読む）

【課題】ガラスあるいはシリコンウエハ状態で製造工程から一貫して処理する表面実装可能な圧電発振器を小型化しても所望の発振周波数信号を安定して出力できる構造と製造方法の実現。
【解決手段】枠部１と電極が形成された振動部２とが一体となった圧電素子３と発振動作機能と温度補償機能を構成したシリコンウエハ５と、圧電素子ウエハの上面に蓋体４となるウエハとを接合して一体化した圧電発振器の製造工程として、枠部１と電極が形成された振動部２とが一体となった圧電素子３をマトリクス状に設けた圧電素子ウエハと、シリコン基板上に発振動作機能と温度補償機能を構成したシリコンウエハとを接合する工程と、圧電素子の周波数調整を行う工程と、圧電素子ウエハ上に蓋体４となる圧電ウエハあるいはシリコンウエハを直接接合あるいは、陽極接合する工程から成る。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の生産性を向上させ、検査時における波形不良による設計変更を無くすことができる圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための圧電振動片の製造方法は、圧電体ウェハから個片に切り出して圧電振動片を形成する圧電振動片の製造方法において、まず、圧電体結晶から切り出した圧電体ウェハを研磨する。次に、研磨した前記圧電体ウェハの複数箇所における共振周波数を測定する。その後、測定した前記複数の共振周波数に基づいて、前記圧電体ウェハを研磨または／およびエッチングし、前記圧電体ウェハを所定の平行度に、かつ前記周波数測定工程の測定箇所における共振周波数を個片化後の圧電基板に所望する周波数に調整する厚み調整工程と、を有し、個片化後、あるいは励振電極形成後の圧電基板に対して周波数調整を行わないことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 低背化を妨げることなく、耐衝撃性能を高め、発振周波数の変動の影響がないより信頼性の高い表面実装型圧電発振器を提供する。
【解決手段】 ベース１と蓋４を有する表面実装型圧電発振器であって、集積回路素子２と、圧電振動板３と、前記集積回路素子を収納する第１の収納部と、前記圧電振動板の一端部を保持する保持台が形成された第２の収納部と、堤部とを有してなるベースと、前記ベースに被せて気密封止してなる金属蓋とを具備してなり、前記ベースの第１の収納部には、前記集積回路素子の能動回路面を下面に向け、かつ前記集積回路素子の非能動回路面を上面に向けて配置されるとともに、前記集積回路素子の非能動回路面を前記保持台より下側に位置させて集積回路素子が配置されており、圧電振動板の他端部を、集積回路素子の非能動回路面へ漸次近接させながら配置している。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の調整対象領域の状態や圧電振動片のベースへの搭載状態等にかかわらず安定した圧電振動デバイスの周波数調整を行ない、圧電振動デバイスを量産する際に周波数バラツキを抑制する。
【解決手段】粗調整段階，中間調整段階，及び微調整段階では、それぞれ異なる周波数の調整レートを設定し、それぞれの段階において圧電振動デバイスの周波数を合わせこむ目標周波数を設定する。粗調整段階において設定レートに対する実レートを算出し、この実レートから変動レートを算出する。この変動レートに基づいて中間調整段階，微調整段階の周波数の調整レートを設定変更する。設定変更した設定レートに基づいて中間段階，微調整段階における目標周波数までの周波数調整時間を算出し、中間段階，微調整段階において周波数調整時間の間、設定変更した設定レートに基づく周波数調整を行なう。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスのＩＣチップに電気的な悪影響を与えない状態で正規の周波数に調整することができる周波数調整用マスク及び圧電デバイスの周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 マスク２８は、アルミニウムからなるマスク基板４１の表面にフッ素樹脂コーティング４３が施されている。マスク２８には、圧電振動片１４及びＩＣチップ１５が配置された圧電デバイス１１が接して固定されている。マスク基板４１にフッ素樹脂コーティングが施されていることにより、圧電振動片１４に金属粒子１９を蒸着しながら所望の周波数に調整するとき、マスク２８と、マスク２８と接して固定されている圧電デバイス１１のＩＣチップ１５とが、電気的に絶縁された状態になっている。 （もっと読む）

【課題】 圧電基板をカットして形成される小型の高周波タイプの圧電振動片であって、温度特性ディップによる性能への悪影響を防止した圧電振動片とその製造方法ならびに、これを利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電基板を切り出して圧電素子片を形成し、前記圧電素子片に必要とされる駆動用の電極を形成して圧電振動片を形成し、該圧電振動片に駆動電圧を印加して、周波数−温度特性を計測し、該計測結果に基づいて、前記駆動電極を加工することにより、温度変化に対して不連続な周波数変化である温度特性ディップが生じる温度を変更する。 （もっと読む）

【課題】ベースへのキャップの接合が原因となり圧電振動片の周波数が変動する場合であっても、圧電振動片の周波数を予め設定した周波数にする。
【解決手段】パッケージ１３内の気密封止された内部空間１４のベース１１上に接合保持された水晶振動片２，３の間には、水晶振動片２，３それぞれの周波数調整に係わる基板領域２８，３８を隔壁した絶縁性の分離板４が介在されている。この分離板４の両主面には、水晶振動片２，３の周波数を可変させるための周波数可変部８１，８２が、それぞれ水晶振動片２，３の周波数調整に係わる基板領域２８，３８に対向して設けられている。、これら周波数可変部８１，８２は、電気的に加熱させることで蒸発し、この蒸発した周波数可変部材８１，８２を水晶振動片２，３に蒸着させて、気密封止された内部空間１４内において水晶振動片２，３の周波数の微調整を行なうためのものである。 （もっと読む）

【課題】コリオリ力を利用した圧電振動ジャイロセンサの圧電振動子において、圧電振動子の表面にメッキ法によって金属膜を形成する際、メッキを施さない部分へのマスク処理やその後処理といった薬品を多く使う工程を必要とし、多くの設備と工数を必要としている。また、このために調整コストが増大しコストダウンが困難という問題点を抱えていた。
【解決手段】圧電振動ジャイロ用の圧電振動子において、安定分散した金属ナノ粒子の導電性ペーストを調整用の付加質量として利用したものであって、前記導電性ペーストをインクジェットプリンタのノズルより吐出し、これを圧電振動子の表面の所定位置に塗布して所定温度にて焼結し、所望の振動特性を得るようにした。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片の周波数を調整するとき、圧電デバイスに電気的な悪影響を及ぼさずに、加工レートを高くして圧電振動片に金属膜を蒸着することができる、圧電デバイスの周波数調整方法、その方法を用いて製造された圧電デバイス、及び、その方法に用いられるマスクを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス１１の周波数調整方法は、圧電デバイス１１の圧電振動片１４の形状に合わせた開口孔３１を有するマスク２６を介して、圧電振動片１４のみに金属粒子１９を蒸着させて、周波数の調整を行う。詳しくは、周波数測定器２４を用いて圧電振動片１４の周波数を観測しながら、圧電振動片１４のみに蒸発させた金属粒子１９を蒸着させる。圧電振動片１４の周波数が所望の周波数に達したところで、圧電振動片１４への金属粒子１９の蒸着を停止する。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスの薄型化を図る。
【解決手段】 圧電振動子５０は、パッケージ６０の内部に圧電振動片５２が収納してある。パッケージ６０を構成しているベース部６２は、底部が１枚のベースシート６６からなっていて、ベースシート６６とフレーム材６８とを積層して箱状に形成してある。ベース部６２は、真空封止用の封止孔７４が底部に設けてある。封止孔７４は、フレーム材６８の内縁部と対応した位置に形成してあって、開口部の一部がフレーム材６８によって塞がれている。フレーム材６８の封止孔７４の開口部を塞いでいる部分は、封止用金属ボール８２の受部の役割をなし、封止孔７４内に配置された金属ボール８２が、キャビティ７０内に落下するのを防止している。 （もっと読む）

【課題】 生産性の向上を図ることができる温度補償水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動素子２と、一端が水晶振動素子２の一端と接続されるリアクタンス回路３と、一端が水晶振動素子２の他端と接続されるリアクタンス回路４と、水晶振動素子２とリアクタンス回路３との接続点に接続される第１の外部接続端子５と、水晶振動素子２とリアクタンス回路４との接続点に接続される第２の外部接続端子６と、リアクタンス回路３の他端に接続される第３の外部接続端子７と、リアクタンス回路４の他端に接続される第４の外部接続端子８を備える。そして、本実施形態では第３の外部接続端子７と、第４の外部接続端子８とを電気的に独立した接続端子として設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 気密封止後にレーザービームを用いた周波数調整が必要な圧電振動素子に用いられる透光性蓋材において、小径ビームによる圧電振動子の周波数調整が可能であり、また蓋材の破損や亀裂生成を防止できるような蓋材を提供することである。
【解決手段】 蓋材１を有する容器１２内へと圧電振動子２を収容し、蓋材１を通して圧電振動子２へとレーザービームＡ、Ｂを照射することによって、振動子２の振動周波数の調整を行うための蓋材１を提供する。蓋材１は多結晶セラミックスからなる。この多結晶セラミックスの平均結晶子径および最大気孔径がそれぞれレーザービームのビーム径の１／４以下であり、蓋材の表面気孔率が０．５％以下であり、蓋材のレーザービームの波長における直線透過率が４０％以上であり、蓋材の厚さがレーザービームのビーム径の１０倍以下、０．０５ｍｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】 空洞の破壊を防止し、共振周波数を高精度に調整できる封止構造を備えた薄膜圧電共振器を提供する。
【解決手段】 表面に空洞を有する基板１０と、基板１０上から空洞３０上に延びる下部電極１２と、下部電極１２上に設けられた圧電膜１４と、下部電極１２と対向し圧電膜１４上に配置され、更に圧電膜１４上から基板１０上に延びる上部電極１６と、下部電極１２及び上部電極１６が対向する領域で規定される共振部を内側に含み、空洞３０から延在する開口部４２が外側に位置するように基板１０上に設けられ、共振部を封止する封止部材とを備える。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動子の振動を阻害することなく、周波数調整によって金属材料の一部が飛散したとしても、異極の励振電極の絶縁性を確実に確保でき、かつ圧電振動片の周波数調整効率を低下させることないより信頼性の高い圧電振動片、圧電振動片を備えた圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法を提供する。
【解決手段】 金属材料からなる電極の質量が増減されることで周波数が調整されてなる調整電極２５，２６と、当該調整電極から無電極領域２１２，２２２を介して、前記調整電極と異極に構成された励振電極２３１，２４１とを具備しており、前記無電極領域と前記励振電極の上部に絶縁膜３が形成され、前記無電極領域と励振電極の境界部を含む無電極領域の近傍の絶縁膜が他の領域より厚膜に形成した。 （もっと読む）

【課題】ガラスなどから成る板状の部材に挟まれて封止された水晶振動子電極構造の提供。
【解決手段】水晶振動子が多数個形成されたウェハーを挟むように上下方向からそれぞれガラスなどの部材から成るウェハーで封止される水晶振動子の電極構造において、水晶振動子が形成された枠体の内側面溝部に引き回し電極が形成されたことを特徴とし、また、水晶振動子が形成された枠体の内側面段差部に引き回し電極が形成されたこと。 （もっと読む）

【課題】 容器体内の圧電振動素子に、ガス成分を付着させないで蓋体を容器体に封止することができると共に、該圧電振動素子の発振周波数を微調整することができ、これにより、発振特性が変動することのない圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 矩形状の容器体の内部空間に圧電振動素子が搭載され、該容器体の側壁頂部には該容器体の内部空間を覆う矩形状の第１の蓋体が配置されており、該第１の蓋体と該側壁頂部に設けた導体パターンとを固着している圧電デバイスにおいて、前記第１の蓋体には開口部が形成され、該開口部を覆うように第２の蓋体で容器体の内部空間の前記圧電振動素子を気密封止することを特徴とするものである。 （もっと読む）