【課題】圧電薄膜共振子の共振周波数を高い精度で微調整することができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる圧電薄膜振動子及びその共振周波数調整方法を提供すること。
【解決手段】基板１１と、圧電体薄膜１６と、一対の電極１５、１７と、最上層部に共振周波数を調整するように形成された粒径数ｎｍから数十ｎｍの超微粒子からなる超微粒子層３１とを備えた圧電薄膜振動子であり、また最上層部に超微粒子を漸増しつつ堆積することにより、共振周波数を微小単位で精度よく調整するようにしたので、共振周波数を正確に合わせ込むことができ、良好かつ安定な共振特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 従来の圧電振動子では、圧電振動子の小型化により、電極が小さくなり、電界が小さくなるため、等価直列抵抗Ｒが大きくなるという問題があった。
【解決手段】 本発明の圧電振動子１は、振動腕部２、３と、基部４とから構成されている。振動腕部２、３には、貫通孔５、６が形成され、貫通孔５、６の内壁には電極が形成されている。そして、貫通孔５、６には埋め込み部材２７、２８が形成されている。この構造により、圧電振動子１の小型化により振動腕部２、３の幅Ｗ１が狭くなった場合でも、振動腕部２、３の厚みを利用して電極形成領域を確実に確保することができる。また、振動腕部２、３における機械的強度を維持することができる。その結果、圧電振動子１の小型化を実現しつつ、等価直列抵抗Ｒも小さくすることができる。 （もっと読む）

本発明は音響波によって作動する共振器に関する。本発明によれば、この共振器の底面積は、この共振器の伝達特性においてクリティカルな入力信号パワーがインターセプトポイントを決定するために使用されるスペクトル成分の次数に依存して予め設定された目標レベルを下回らないように選択される。さらに本発明はインターセプトポイントに基づいて共振器の最小底面積を決定するための方法に関する。
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【課題】 外形サイズの異なる圧電振動板の搭載が可能で、圧電振動板の傾きや配線パターンとのショートの問題をなくし、かつ周波数調整する際の悪影響を抑制することができる圧電発振器を提供する。
【解決手段】 集積回路素子２と圧電振動板と、前記集積回路素子を収納する第１の収納部１０ａと、第２の収納部１０ｂとを有してなる絶縁性ベース１とを有する表面実装型圧電発振器であって、前記第２の収納部には、前記圧電振動板の一端を保持する絶縁性の保持台１０ｃと前記第１の収納部を介して前記保持台と対向する位置に枕部１０ｄが形成され、前記保持台の上面には、前記圧電振動板用の一対の配線パターン１２，１３が形成されてなり、前記保持台の第１の収納部に近接する領域には、前記配線パターンより高さの低い絶縁性の補助保持部１０１ｃが形成されてなる。 （もっと読む）

【課題】 その目的は、生産性を向上させた圧電デバイスを提供することにある。
【解決手段】 本発明の圧電デバイスは、圧電振動素子と、該圧電振動素子と接続して発振回路を構成する集積回路素子並びに電子部品素子と、前記圧電振動素子及び前記集積回路素子並びに前記電子部品素子を搭載する為の容器体とからなる圧電デバイスにおいて、前記集積回路素子の基板がｐ型半導体で容器体の電源電圧電極に接続する場合は、ｐ型半導体の仕事関数Φｓｐと前記導電性接着剤に含まれる導電性フィラーの仕事関数Φｍの関係をΦｓｐ＞Φｍとなるようにし、整流性を有する接合状態としたことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電振動片の周波数調整時において、複数の圧電振動片それぞれの周波数を個別調整する際、周波数調整を行っていない他の圧電振動片への周波数調整に関する干渉を防止する。
【解決手段】水晶振動子１は、２つの水晶振動片２，３と、ベース４１と、キャップ４２とからなり、ベース４１とキャップ４２とが接合されてパッケージ１１が構成され、このパッケージ１１内に内部空間１２が形成される。２つの水晶振動片２，３は、ベース４１上であって、内部空間１２に積層状に配されている。内部空間１２において積層状に配された２つの水晶振動片２，３の間には、２つの水晶振動片２，３それぞれの周波数調整に係わる基板領域２Ａ，３Ａを少なくとも隔壁した絶縁性の分離板８が介在されている。 （もっと読む）

共振微小電気機械システムの共振周波数を制御する装置は、第１のボディ（１０）及び第１ボディ（１０）に容量的に結合されるとともに較正可能な共振周波数（ω_Ｒ）で第１のボディ（１０）に対して弾性的に共振可能な第２のボディ（１１）とを有し、第２のボディ（１１）と第１のボディ（１０）との間の相対変位（ΔＹ）が外側から検出可能である微小構造（２）と、微小構造（２）に結合され、相対変位（ΔＹ）を検出する増幅器（２１）とを具える。直流減結合素子（２３）は、増幅器（２１）と微小構造（２）との間に配置される。
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【課題】 特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成され、、また電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。当該領域に対しイオンミリング法により周波数特性調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 従来の圧電デバイスの周波数調整方法において、イオンガン電源印加電圧を可変する方法では、微少な周波数調整レート時におけるレート制御が難しく、因って圧電振動板の周波数の測定を印加電圧可変の都度行わなくてはならない。例えば圧電デバイス２００個を１パレットとして印加電圧の変更回数が２回の周波数調整工程を行った場合、６００回もの周波数測定を行わなくては正確なレート制御ができず、非常に作業性生産性が悪くなる。
【解決方法】 イオンエッチング法を用いた圧電デバイスの周波数調整方法において、イオンビーム射出口と、圧電デバイスに搭載した圧電振動板に形成された励振用電極膜上に配置されたマスク板との間に、この励振電極膜の所望のエッチングレートに応じた量に該イオンビーム射出口から射出されたイオン量を変化させるためのイオン遮蔽板を配置する圧電デバイスの周波数調整方法である。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、作業効率の良い水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法において、振動面のパターンニング工程と、外形加工エッチング、振動面形成、及び振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め溝部の形成の工程と、保護膜剥離工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャントを滴下して周波数調整をする工程を有することを特徴とし、また、振動面の窪みのある面の裏面に幅が２００μｍから３００μｍのエッチャント止め溝部が形成されることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面に矩形状の励振電極膜１１，１２が形成されている。圧電振動子の共振特性から主振動に有害なスプリアス振動の有無を確認する共振特性確認手段を実施する。次に前記調整対象となる励振電極膜の左右いずれかの領域に対して励振電極膜の加減を行い、前記共振特性のスプリアス振動の変動状況を確認する第１の調整試行手段を実施する。調整試行手段の結果、励振電極膜の左右いずれかの領域への調整が必要であると判断し、調整領域を決定し、パーシャル蒸着を行いスプリアス振動調整手段を実施する。同様の調整を励振電極膜の上下方向に対しても実施する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子を絶縁容器内にシリコーン接着剤により保持した状態で気密封止した構造の圧電デバイスにおいて、シリコーン接着剤から放出されるシリコーン蒸気成分が圧電振動素子の金属膜上に付着堆積することによって共振周波数が経時的に最終目標周波数よりも低下する不具合を解決することができる圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び周波数安定化方法を提供する。
【解決手段】 厚み滑り系の圧電材料から成る圧電基板２０と、該圧電基板面に形成した金属膜２１とを備えた圧電振動素子を導電性接合部材により容器内に保持した圧電振動子において、雰囲気中に露出している金属膜表面が、非結合電子対をもった物質との化学吸着によって形成された膜３０によって覆われている。 （もっと読む）

【課題】 周波数調整時のばらつきを極力抑制する周波数調整用マスク装置を提供するとともに、特性ばらつきのない圧電振動子の周波数調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
周波数調整マスク装置は、ワーク５を搭載するパレット１と、パレット１の上面に取着される押え板２と、パレット1の下面に取着される熱遮断板３とからなる。熱遮断板の熱容量は押え板の熱容量より大きく設定しており、パレット1を熱遮断板3に取着した状態でワーク5を凹部11に搭載する。この状態でイオンミーリング装置で金属膜を除去する方法により周波数調整を行う。イオンミーリングはマトリクス状に配されたワーク５に対し順次調整動作を行うが、ワーク毎に前述の検査プローブＰを介して周波数カウンタＣにより周波数調整進行状況をモニタリングし、調整を行う。 （もっと読む）

【課題】 圧電発振器に組み込む圧電振動子や弾性表面波素子の励振電極に用いる電極材料が、圧電振動子や弾性表面波素子の小型化に対応できる励振電極に適した電極金属を得ることを目的とする。
【解決手段】 課題を解決するために本発明は、圧電素板の主面に金属材料を形成し励振電極を設けて、前記励振動電極に電圧を印加することで発振動作する圧電振動子において、前記圧電素板に形成する金属材料をナノメートル粒子の金属微粒子と前記金属微粒子と結合可能な分散材から成る電極金属を用いたことにより課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】その目的は、圧電振動素子の周波数の微調整を可能し、生産性を向上させる圧電発振器を提供する。
【解決手段】本発明の圧電発振器の製造方法は、ストリップ線路を設けた容器体を準備する工程Ａと、前記圧電振動素子と、該圧電振動素子と接続して電子部品素子と、前記容器体に配置する工程Ｂと、前記電子部品素子をワイヤーボンディングにて前記ストリップ線路と接続することによって周波数を微調整する工程Ｃとを含むものである。 （もっと読む）

【課題】電極パターンを保護膜として圧電基板をエッチングするメサ型圧電振動子の製造方法において、パッケージ実装後の周波数特性の微調整量を小さくし、製造コストを抑えることを目的とする。
【解決手段】平行平板の圧電基板の主面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜の上に所定のフォトレジストパターンを形成する工程と、前記フォトレジストパターンを保護膜として前記金属膜をエッチングし電極パターンを形成する工程と、該電極パターンと前記フォトレジストパターンとを保護膜として前記圧電基板をエッチングし肉薄部を形成する工程と、前記フォトレジストパターンを剥離する工程と、前記電極パターンに測定器を接続し圧電素子の周波数特性を取得する工程と、前記取得した周波数特性に基づき所定の厚みの金属膜を前記電極パターンの上に成膜する工程とを備えたことを特徴とするメサ型圧電振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 １つのトリミングインダクタを使用することによって小型化が実現できるフィルタを提供するここにある。
【解決手段】フィルタは、外部端子と電気的に接続可能な第１ポート、第２ポート、および接地ポートが上部表面に形成された基板と、基板において第１ポートおよび第２ポートを直接接続する第１および第２直列共振器と、基板上で第１ポートおよび第１直列共振器の間に形成されるノードに接続される第１並列共振器と、基板上で第１および第２直列共振器の間に形成されるノードに接続される第２並列共振器と、一方が第１および第２並列共振器とそれぞれ接続され、他方が接地ポートと接続されるトリミングダクトとを含む。 （もっと読む）

【課題】小型水晶発振器構造の提供である。
【解決手段】本発明は、水晶素板薄板の振動部１と、その周囲を囲う水晶素板厚板の補強部が一体に成ったATカットの厚み滑り振動をする水晶振動子２５に、半導体部品を搭載して構成される水晶発振器２４において、該振動部１の両主面には主電極が形成され、主電極から延びる接続電極が形成された水晶振動子２５を、該振動部１に相対する少なくとも一方の板状容器７の水晶振動子側の面８が凹加工され、かつ該容器７と水晶素板３の間は接続電極において低融点金属１０が充填されて気密封止された水晶振動子２５に搭載される半導体部品２７の表面が絶縁樹脂被膜２６で覆われていることを特徴とし、また、水晶発振器２４を構成する水晶振動子２５の板状容器７で挟み込まれた水晶素板３が、絶縁材料により水晶振動子２５の側面においてオーバーコートされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 振動腕側から基部側への振動の漏れ込みを適切に防止して、ドライブレベル特性が良好な圧電振動片と、このような圧電振動片を利用した圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】 圧電材料により形成された基部５１と、前記基部と一体に形成され、互いに平行に延びる複数の振動腕３５，３６とを備え、前記基部の前記振動腕側とは反対側の端部付近で固定支持される音叉型の圧電振動片３２において、前記基部の側縁には、前記基部の幅方向の寸法を縮幅するように設けた切り込み部６１，６２が形成されており、前記切り込み部が設けられる位置Ｋが、前記振動腕３６の付け根から、前記振動腕の腕幅寸法Ｗを超える位置であって、かつ前記固定支持される箇所よりも前記付け根Ｔ側とされている。 （もっと読む）

【課題】微細寸法の振動電極を有する圧電共振子であっても、周波数を高精度に調整でき、かつ面倒な位置合わせ作業を必要としない圧電共振子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電基板１の表裏面に、振動電極を含む領域Ｄ１に振動電極より大きな第１電極２，３を形成し、第１電極２，３を形成した共振子Ａの共振周波数ｆｒ₁を測定する。測定した共振周波数を基にして周波数調整に必要な金属薄膜の厚みを決定し、決定した厚みの金属薄膜よりなる第２電極５，６を、圧電基板の少なくとも振動電極を含む領域Ｄ２に形成する。第１電極および第２電極のうち不要な部分を除去することにより、振動電極７，８をパターン形成することで、面倒な位置合わせを行うことなく、精度のよい周波数調整が可能になる。 （もっと読む）