圧電振動子の周波数特性調整方法
【課題】 特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成され、、また電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。当該領域に対しイオンミリング法により周波数特性調整を行う。
【解決手段】 圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成され、、また電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。当該領域に対しイオンミリング法により周波数特性調整を行う。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電圧制御型圧電発振器（ＶＣＸＯ）に用いる圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＡＴカット水晶板等の厚み振動系圧電振動板を用いた圧電振動子は、一般に圧電振動板の表裏面に一対の励振電極を正対向して形成し、当該励振電極に交流電圧を印加する構成である。このような圧電振動子の諸特性は励振電極の構成に依存する。例えば大きなサイズの電極を用いることにより励振領域を広くし、直列共振抵抗を改善したり、周波数可変量を広くすることができる。
【０００３】
また圧電振動子の諸特性は圧電振動板の特性にも大きく依存する。例えば圧電振動板は加工条件あるいは加工バラツキにより、板面の平面平行度が均一でない場合があり、このような場合スプリアス振動を強く励振させ、圧電振動子としての特性を悪化させることがあった。このような問題は外部電圧を変化させることにより主振動周波数を可変する電圧制御型圧電発振器においては、周波数を大きく可変させる場合に顕著に現れることがある。すなわち、主振動周波数の可変は前述のスプリアス振動とのカップリングを起こす可能性が高くなり、周波数のジャンプ現象が生じたり、発振が不安定になるという不具合が発生することがあった。
【０００４】
図１３および図１４は板厚の平面平行度によってスプリアス振動を励振させる状態を示す図である。図１３（ａ）は圧電振動板７に励振電極７１，７２が形成された状態を示す模式的断面図であり、板厚ｔ１＝ｔ２の場合すなわち板面の平面平行度がとれている状態を示している。このような圧電振動板においては図１３（ｂ）に示すように主振動近傍にスプリアス振動の現れない周波数特性を示す。なお、図１３（ｂ）、図１４（ｂ）において縦軸は減衰量(ATTENUATION)であり、横軸は周波数(FREQUENCY)である。
【０００５】
図１４（ａ）も圧電振動板７に励振電極７１，７２が形成された状態を示す模式的断面図であるが、板厚ｔ１＜ｔ２の場合すなわち板面の平面平行度がとれていない状態を示している。このような圧電振動板においては図１４（ｂ）に示すように主振動近傍にスプリアス振動Spが現れた共振特性となっている。このようなスプリアス振動Spの発生は、板面の平面平行度が均一でないために生じると考えられる。すなわち、厚みすべり振動においては、対称モード（ｆｓモード）と斜対称モード（ｆａモード）が励振されることが知られており、斜対称モードは振動エネルギーが全体として相殺されるために通常は共振ピークとして顕在化しない。ところが圧電振動板の不均衡のために振動のバランスが崩れた場合、当該モードがスプリアス振動として顕在化すると考えられる。
【０００６】
このように圧電振動板の平面平行度のバラツキにより特性が悪化することについては、例えば特開２００１−１９６８９０号（特許文献１）に開示されている。当該特許文献においては、対向電極（励振電極）の一方は２つの分割電極からなる構成とし、当該分割電極はそれぞれ他方の対向電極との間の共振周波数をほぼ一致させることにより特性を改善するものであり、分割電極は導通手段によって互いに電気的に導通している構成が開示されている。各分割電極についてそれぞれ共振周波数をほぼ一致させるには、例えばいずれかの電極に対して蒸着等により周波数調整を行う方法等がある。
【０００７】
しかしながら共振周波数の調整においては、分割電極のいずれか一方に対して調整を行うことが一般的であるが、振動バランスを調整するにあたっては調整対象の分割電極を決定する工程が必要となる。
【０００８】
またこのような分割電極を形成する構成は、当該圧電振動板の各電極に対して独立して電気的機械的接続する電極パッドを持ったパッケージを用意することが必要であり、さらに周波数調整後にこの独立した電極パッドを共通接続する配線パターンを実装基板側に形成する必要がある等、取り扱いが面倒であるという問題点を有していた。
【０００９】
さらにこの平面平行度の問題は高周波になるにつれて顕在化する。厚み系振動、例えば厚みすべり振動で駆動するＡＴカット水晶振動板は、周知のとおり圧電振動板の厚さによってその周波数が決定され、その厚さと周波数は反比例する。そして高周波になるに従い、単位厚さあたりの周波数変化量が大きくなり、このような圧電振動板面における周波数調整は重要になっていた。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−１９６８９０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、圧電振動板の板面における周波数バランスを意図的に崩した一部領域を設け、当該一部領域に対し周波数特性調整を行うためのものであり、次のような構成および調整方法により実現することができる。
【００１３】
すなわち、請求項１に示すように、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、少なくとも一方の励振電極膜が形成された一部領域の周波数を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法である。
【００１４】
また各領域の周波数を異ならせる構成としては、例えば請求項２に示すように、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の厚さまたは／および形状を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする方法をあげることができる。
【００１５】
一部領域の厚さを異ならせる構成例としては、他の領域より厚さを極端に厚くするか、あるいは極端に薄くする構成をあげることができる。前述のとおり圧電振動板の加工条件によっては厚さがばらつくことがあるが、バラツキが最大になった場合でも必ず一部領域側が調整対象となる程度に極端に厚くするか、薄くしておけばよい。
【００１６】
図１乃至図４各図は圧電振動板の厚さにバラツキがある場合において、励振電極膜の一部領域の厚さを異ならせ、当該領域に対して調整を行う周波数特性調整動作について説明している。図１は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＜Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを減じる調整例について示している。図１（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＞ｔ２であったとしても必ずＥ２側（他端側）の励振電極膜を減じることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図１においては、ｔ１＜ｔ２であるので、図１（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが減じられた状態まで調整が行われる。
【００１７】
図２は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＞Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを増加させる調整例について示している。図２（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＞ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を増加させることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図２においては、ｔ１＜ｔ２であるので、図２（ｂ）に示すようにＥ２側には励振電極膜厚を増加させるが、最終的にはＥ１側よりその厚さが小さな状態で調整が完了する。
【００１８】
図３は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＞ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＜Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを減じる調整例について示している。図３（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＜ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を減じることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図３においては、ｔ１＞ｔ２であるので、図３（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが大となる状態で調整が完了する。
【００１９】
図４は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＞ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＞Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを増加させる調整例について示している。図４（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＜ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を増加させることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図４においては、ｔ１＞ｔ２であるので、図４（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが大となる状態で調整が完了する。
【００２０】
上記各調整方法においては、圧電振動板の平面平行度に起因するスプリアス調整を行うにあたり、調整手段（電極膜厚増あるいは電極膜厚減）に応じて、圧電振動板のバラツキがあった場合でも、予め決定された調整領域に対して調整を行うように、最大バラツキを考慮して、事前に励振電極膜厚を設定する。これにより調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。なお、少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせる構成としては、上述の電極膜厚による方法以外に電極形状を異ならせたり、あるいは電極膜厚と電極形状を組みあわせる構成であってもよい。
【００２１】
なお、本発明は予め調整領域を決定しておくという点が特徴点の一つであり、圧電振動板の厚さにバラツキがない場合でも適用することができる。
【００２２】
このような周波数調整は、請求項３に示すように、真空蒸着法、スパッタリング法あるいはイオンエッチング法により行うことができる。真空蒸着法やスパッタリング法は励振電極膜を増加させる場合に用い、イオンミリング等のイオンエッチング法は励振電極膜を減少させる場合に用いる。
【００２３】
さらには請求項４に示すように、上記周波数調整を行った後、前記励振電極膜の表面をウェットエッチングしたことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法であってもよい。
【００２４】
上記調整手段や調整量によっては、励振電極膜の表面に微少段差が生じることがある。このような段差はその端部が鋭利な状態になっている場合があり、無用な反射波を生むことがある。上記ウェットエッチングを後で行うことにより、当該鋭利な状態の段差端部の影響を減じ、無用な反射波による新たなスプリアスの抑制を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明では、圧電振動板の板面における周波数バランスを意図的に崩した一部領域を設け、当該一部領域に対し周波数特性調整を行うことにより、調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。また特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数特性調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による実施形態について図面に基づいて説明する。本形態では、厚みすべり振動にて動作するＡＴカット水晶振動板に本発明による周波数特性調整を適用した場合について説明する。
【００２７】
図５は表裏に励振電極膜が形成された圧電振動板に対し、イオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示す側面図であり、図５（ａ）はバランスが崩された状態の励振電極膜が形成された圧電振動板の側面図であり、図５（ｂ）はイオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示す側面図を示している。また図６は調整前後の周波数特性を示すグラフであり、図６（ａ）は周波数特性調整前、図６（ｂ）は周波数特性調整後を示している。
【００２８】
圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成されている。また図示していないが、各励振電極膜２，３から圧電振動板の外周に引出電極膜が引き出されている。これら励振電極膜および引出電極膜はクロム−金の積層構成であるが、当該金属材料に限定されるものではない。
【００２９】
この実施の形態においては図５（ａ）で示すように、励振電極膜２，３において、図面右側の電極膜厚が大となるように、電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。すなわち、前述の図１で示したように圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の場合であっても、図３で示したようにｔ１＞ｔ２の場合であっても、必ず当該電極厚肉部が調整対象となるような極厚の厚さに設定されている。
【００３０】
このような電極厚肉部２ａ，３ａの形成は、通常の励振電極膜２，３の形成後、電極厚肉部２ａ，３ａ部分のみに対して選択的に真空蒸着を行うか、あるいは通常の励振電極膜２，３の形成後、２ａ，３ａ部分以外に対して、選択的にイオンミリング等による電極膜厚を減じることにより形成する。選択的に励振電極膜を厚くしたり薄くしたりするには、例えば金属マスクに設けられた開口を選択位置に配置することにより、所望の電極形成を行うことができる。
【００３１】
本実施の形態においては、電極厚肉部２ａ，３ａを設け、当該領域に対し必ず調整を行うことを予定している。図５（ｂ）はこの電極厚肉部２ａに対してイオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示しており、電極厚肉部２ａに対応する位置に開口部Ｍ１を有する金属マスクＭを近接させ、イオンミリングによる周波数特性の調整を実行する。調整状況は圧電振動板を励振させながらリアルタイムにモニタリングしてもよいし、調整対象の圧電振動板に対して予め決定された調整量のイオンミリングを実行し、その後特性確認を行い、必要に応じてこれを繰り返す方法を採用してもよい。
【００３２】
図６は調整前後の周波数特性を示すグラフであり、図６（ａ）は調整前の周波数特性（スプリアス有）を示し、図６（ｂ）は調整後の周波数特性を示している。調整前は前記電極厚肉部の存在により、主振動周波数近傍にスプリアスＳｐが存在していたが、調整を行うことにより図６（ｂ）に示すように、スプリアスが消滅し良好な特性の圧電振動板を有ることができる。
【００３３】
なお、当該周波数特性調整方法は上記実施の形態に開示したイオンミリングに限定されるものではなく、質量減による調整方法の他の例として、反応性のガスを用いたエッチングを用いてもよいし、レーザービーム、イオンビームによる調整をあげることができる。また質量付加による調整方法の例として、パーシャル蒸着方法やスパッタリングをあげることができる。質量付加による調整を行う場合も、前記解決手段の項で図２、図４を参照して説明したように、圧電振動板の最大バラツキと調整方法を考慮して、事前に励振電極膜厚を設定する。これにより調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。
【００３４】
また周波数特性調整後に前記励振電極膜の表面をウェットエッチングを行ってもよい。上述の周波数特性調整を行った場合、調整手段や調整量によっては励振電極膜の表面に微少段差が生じることがある。このような段差はその端部が鋭利な状態になっている場合があり、無用な反射波を生ぜしめスプリアス振動の生じることがある。上記ウェットエッチングを後で行うことにより、当該鋭利な状態の段差端部による影響を減じ、無用な反射波による新たなスプリアスの抑制を抑制することができる。
【００３５】
なお、図示していないが、以上の特性調整後、セラミックパッケージ等のパッケージに圧電振動板を収納するとともに、圧電振動板をパッケージに電気的機械的接合し、その後リッドにて気密封止することにより、圧電振動子の完成となる。
【００３６】
本発明による他の実施形態について図面に基づいて説明する。図７は圧電振動板１に形成される励振電極２、３（３は図示せず）について、大電極領域２ｂと小電極領域２ｃを有する構成としている。大電極領域２ｂは負荷質量効果により小電極領域２ｃに較べて周波数を低く設定することができ、これにより励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせることができる。周波数特性調整においては、前記大電極領域２ｂに対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。
【００３７】
また逆に小電極領域２ｃは相対的に周波数が高いことにより、当該小電極領域２ｃに対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００３８】
図８、図９は励振電極膜２の長辺に傾斜部を設けた略台形形状であり、図８は電極形状が図面右側に向かって漸次大きくなる傾斜部２ｄを有する構成である。本実施形態においては励振電極膜の形状により、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせるものである。周波数特性調整は、右側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に左側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００３９】
図９は電極形状が図面右側に向かって漸次小さくなる傾斜部２ｅを有する構成である。本実施形態においては励振電極膜の形状により、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせるものである。周波数特性調整は、左側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に右側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００４０】
本発明は励振電極膜の一部を削除することにより励振電極膜が形成されたの一部領域の周波数を他の領域より異ならせてもよい。例えば図１０は励振電極膜２に無電極部２ｆを複数設けることにより、励振電極膜の一部領域の周波数を異ならせるものであり、図１０においては無電極部２ｆの形成領域を電極の左側に偏在させることにより、当該領域の周波数を高めている。周波数特性調整は、右側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に左側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００４１】
本発明は圧電振動板に形成された表裏の励振電極膜形状を異ならせることにより励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせてもよい。図１１は圧電振動板の表裏面に形状の異なる励振電極膜２，３を形成した例を示している。表面の励振電極膜２は矩形形状であるが、裏面の励振電極膜３は図７で示した電極構成に類似した大電極領域３ａと小電極領域３ｂを有する構成である。大電極領域３ａは負荷質量効果により周波数が低く設定されている。周波数調整は上述と同様、周波数の低い領域の励振電極膜の質量を減じるか、周波数の高い領域の励振電極膜の質量を増すことにより実行する。
【００４２】
ところで、圧電振動板に形成される励振電極膜の調整領域に対し膜厚を減じることにより周波数特性調整を行う場合、当該膜厚減少量を調整領域内で異ならせて、周波数特性調整を最適化してもよい。図１２は膜厚減少量を調整領域内で異ならせて調整を実行する例を示しており、図１２（ａ）は調整前の励振電極形成された圧電振動板の断面図、図１２（ｂ）はイオンミリングによる調整方法を示す図である。図１２（ｂ）に示すように、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせた調整領域２ｇ（電極厚肉部）に対してイオンミリングを実行するにあたり、イオンミリングＥの一部のみが調整領域２ｇに対し照射される構成としている。一般的にイオンミリングはエッチングレートがその中心部分に対して周囲が小さいことが知られている。図１２（ｂ）においてイオンミリングＥの矢印の大きさはエッチングレートを示し、長い方がエッチングレートが高いことを示している。このような特性を利用して、イオンミリングの中心部分から周囲部分のみが前記調整領域に対し照射されるよう、金属マスクＭの開口部Ｍ１を形成し、周波数特性の調整を実行する。その結果、図１２（ｂ）で示すように調整領域２ｇの上面が傾斜を持った形状となり、励振電極の外周近傍に向かうにつれて重みが増加する構成となっている。このように漸次厚さが変化するような構成とすることにより、無用なスプリアス振動の励振を抑制することができ、特性の良好な圧電振動子を得ることができる。
【００４３】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
水晶振動子等の圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図２】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図３】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図４】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図５】本発明の実施形態を示す図である。
【図６】本発明の実施形態による周波数特性を示す図である。
【図７】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図８】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図９】本発明の実施形態を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による周波数特性を示す図である。
【図１１】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図１２】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図１３】従来例を示す図である。
【図１４】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１、７ 水晶振動板（圧電振動板）
２、３、７１，７２ 励振電極膜
２ａ，３ｂ 電極厚肉層
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば電圧制御型圧電発振器（ＶＣＸＯ）に用いる圧電振動子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＡＴカット水晶板等の厚み振動系圧電振動板を用いた圧電振動子は、一般に圧電振動板の表裏面に一対の励振電極を正対向して形成し、当該励振電極に交流電圧を印加する構成である。このような圧電振動子の諸特性は励振電極の構成に依存する。例えば大きなサイズの電極を用いることにより励振領域を広くし、直列共振抵抗を改善したり、周波数可変量を広くすることができる。
【０００３】
また圧電振動子の諸特性は圧電振動板の特性にも大きく依存する。例えば圧電振動板は加工条件あるいは加工バラツキにより、板面の平面平行度が均一でない場合があり、このような場合スプリアス振動を強く励振させ、圧電振動子としての特性を悪化させることがあった。このような問題は外部電圧を変化させることにより主振動周波数を可変する電圧制御型圧電発振器においては、周波数を大きく可変させる場合に顕著に現れることがある。すなわち、主振動周波数の可変は前述のスプリアス振動とのカップリングを起こす可能性が高くなり、周波数のジャンプ現象が生じたり、発振が不安定になるという不具合が発生することがあった。
【０００４】
図１３および図１４は板厚の平面平行度によってスプリアス振動を励振させる状態を示す図である。図１３（ａ）は圧電振動板７に励振電極７１，７２が形成された状態を示す模式的断面図であり、板厚ｔ１＝ｔ２の場合すなわち板面の平面平行度がとれている状態を示している。このような圧電振動板においては図１３（ｂ）に示すように主振動近傍にスプリアス振動の現れない周波数特性を示す。なお、図１３（ｂ）、図１４（ｂ）において縦軸は減衰量(ATTENUATION)であり、横軸は周波数(FREQUENCY)である。
【０００５】
図１４（ａ）も圧電振動板７に励振電極７１，７２が形成された状態を示す模式的断面図であるが、板厚ｔ１＜ｔ２の場合すなわち板面の平面平行度がとれていない状態を示している。このような圧電振動板においては図１４（ｂ）に示すように主振動近傍にスプリアス振動Spが現れた共振特性となっている。このようなスプリアス振動Spの発生は、板面の平面平行度が均一でないために生じると考えられる。すなわち、厚みすべり振動においては、対称モード（ｆｓモード）と斜対称モード（ｆａモード）が励振されることが知られており、斜対称モードは振動エネルギーが全体として相殺されるために通常は共振ピークとして顕在化しない。ところが圧電振動板の不均衡のために振動のバランスが崩れた場合、当該モードがスプリアス振動として顕在化すると考えられる。
【０００６】
このように圧電振動板の平面平行度のバラツキにより特性が悪化することについては、例えば特開２００１−１９６８９０号（特許文献１）に開示されている。当該特許文献においては、対向電極（励振電極）の一方は２つの分割電極からなる構成とし、当該分割電極はそれぞれ他方の対向電極との間の共振周波数をほぼ一致させることにより特性を改善するものであり、分割電極は導通手段によって互いに電気的に導通している構成が開示されている。各分割電極についてそれぞれ共振周波数をほぼ一致させるには、例えばいずれかの電極に対して蒸着等により周波数調整を行う方法等がある。
【０００７】
しかしながら共振周波数の調整においては、分割電極のいずれか一方に対して調整を行うことが一般的であるが、振動バランスを調整するにあたっては調整対象の分割電極を決定する工程が必要となる。
【０００８】
またこのような分割電極を形成する構成は、当該圧電振動板の各電極に対して独立して電気的機械的接続する電極パッドを持ったパッケージを用意することが必要であり、さらに周波数調整後にこの独立した電極パッドを共通接続する配線パターンを実装基板側に形成する必要がある等、取り扱いが面倒であるという問題点を有していた。
【０００９】
さらにこの平面平行度の問題は高周波になるにつれて顕在化する。厚み系振動、例えば厚みすべり振動で駆動するＡＴカット水晶振動板は、周知のとおり圧電振動板の厚さによってその周波数が決定され、その厚さと周波数は反比例する。そして高周波になるに従い、単位厚さあたりの周波数変化量が大きくなり、このような圧電振動板面における周波数調整は重要になっていた。
【００１０】
【特許文献１】特開２００１−１９６８９０号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供することを目的としたものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の目的を達成するために、本発明は、圧電振動板の板面における周波数バランスを意図的に崩した一部領域を設け、当該一部領域に対し周波数特性調整を行うためのものであり、次のような構成および調整方法により実現することができる。
【００１３】
すなわち、請求項１に示すように、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、少なくとも一方の励振電極膜が形成された一部領域の周波数を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法である。
【００１４】
また各領域の周波数を異ならせる構成としては、例えば請求項２に示すように、厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の厚さまたは／および形状を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする方法をあげることができる。
【００１５】
一部領域の厚さを異ならせる構成例としては、他の領域より厚さを極端に厚くするか、あるいは極端に薄くする構成をあげることができる。前述のとおり圧電振動板の加工条件によっては厚さがばらつくことがあるが、バラツキが最大になった場合でも必ず一部領域側が調整対象となる程度に極端に厚くするか、薄くしておけばよい。
【００１６】
図１乃至図４各図は圧電振動板の厚さにバラツキがある場合において、励振電極膜の一部領域の厚さを異ならせ、当該領域に対して調整を行う周波数特性調整動作について説明している。図１は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＜Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを減じる調整例について示している。図１（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＞ｔ２であったとしても必ずＥ２側（他端側）の励振電極膜を減じることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図１においては、ｔ１＜ｔ２であるので、図１（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが減じられた状態まで調整が行われる。
【００１７】
図２は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＞Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを増加させる調整例について示している。図２（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＞ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を増加させることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図２においては、ｔ１＜ｔ２であるので、図２（ｂ）に示すようにＥ２側には励振電極膜厚を増加させるが、最終的にはＥ１側よりその厚さが小さな状態で調整が完了する。
【００１８】
図３は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＞ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＜Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを減じる調整例について示している。図３（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＜ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を減じることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図３においては、ｔ１＞ｔ２であるので、図３（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが大となる状態で調整が完了する。
【００１９】
図４は圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＞ｔ２の関係にあり、かつ励振電極膜の一端側と他端側の厚さＥ１，Ｅ２がＥ１＞Ｅ２の関係にある場合において、励振電極膜の厚さを増加させる調整例について示している。図４（ａ）において、Ｅ１とＥ２の関係は、仮に圧電振動板の厚さがｔ１＜ｔ２であったとしても必ずＥ２側の励振電極膜を増加させることによる調整が可能な程度の厚さに形成している。図４においては、ｔ１＞ｔ２であるので、図４（ｂ）に示すようにＥ２側はＥ１側よりその厚さが大となる状態で調整が完了する。
【００２０】
上記各調整方法においては、圧電振動板の平面平行度に起因するスプリアス調整を行うにあたり、調整手段（電極膜厚増あるいは電極膜厚減）に応じて、圧電振動板のバラツキがあった場合でも、予め決定された調整領域に対して調整を行うように、最大バラツキを考慮して、事前に励振電極膜厚を設定する。これにより調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。なお、少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせる構成としては、上述の電極膜厚による方法以外に電極形状を異ならせたり、あるいは電極膜厚と電極形状を組みあわせる構成であってもよい。
【００２１】
なお、本発明は予め調整領域を決定しておくという点が特徴点の一つであり、圧電振動板の厚さにバラツキがない場合でも適用することができる。
【００２２】
このような周波数調整は、請求項３に示すように、真空蒸着法、スパッタリング法あるいはイオンエッチング法により行うことができる。真空蒸着法やスパッタリング法は励振電極膜を増加させる場合に用い、イオンミリング等のイオンエッチング法は励振電極膜を減少させる場合に用いる。
【００２３】
さらには請求項４に示すように、上記周波数調整を行った後、前記励振電極膜の表面をウェットエッチングしたことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法であってもよい。
【００２４】
上記調整手段や調整量によっては、励振電極膜の表面に微少段差が生じることがある。このような段差はその端部が鋭利な状態になっている場合があり、無用な反射波を生むことがある。上記ウェットエッチングを後で行うことにより、当該鋭利な状態の段差端部の影響を減じ、無用な反射波による新たなスプリアスの抑制を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上のように、本発明では、圧電振動板の板面における周波数バランスを意図的に崩した一部領域を設け、当該一部領域に対し周波数特性調整を行うことにより、調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。また特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数特性調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明による実施形態について図面に基づいて説明する。本形態では、厚みすべり振動にて動作するＡＴカット水晶振動板に本発明による周波数特性調整を適用した場合について説明する。
【００２７】
図５は表裏に励振電極膜が形成された圧電振動板に対し、イオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示す側面図であり、図５（ａ）はバランスが崩された状態の励振電極膜が形成された圧電振動板の側面図であり、図５（ｂ）はイオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示す側面図を示している。また図６は調整前後の周波数特性を示すグラフであり、図６（ａ）は周波数特性調整前、図６（ｂ）は周波数特性調整後を示している。
【００２８】
圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成されている。また図示していないが、各励振電極膜２，３から圧電振動板の外周に引出電極膜が引き出されている。これら励振電極膜および引出電極膜はクロム−金の積層構成であるが、当該金属材料に限定されるものではない。
【００２９】
この実施の形態においては図５（ａ）で示すように、励振電極膜２，３において、図面右側の電極膜厚が大となるように、電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。すなわち、前述の図１で示したように圧電振動板の一端と他端の厚さｔ１，ｔ２がｔ１＜ｔ２の場合であっても、図３で示したようにｔ１＞ｔ２の場合であっても、必ず当該電極厚肉部が調整対象となるような極厚の厚さに設定されている。
【００３０】
このような電極厚肉部２ａ，３ａの形成は、通常の励振電極膜２，３の形成後、電極厚肉部２ａ，３ａ部分のみに対して選択的に真空蒸着を行うか、あるいは通常の励振電極膜２，３の形成後、２ａ，３ａ部分以外に対して、選択的にイオンミリング等による電極膜厚を減じることにより形成する。選択的に励振電極膜を厚くしたり薄くしたりするには、例えば金属マスクに設けられた開口を選択位置に配置することにより、所望の電極形成を行うことができる。
【００３１】
本実施の形態においては、電極厚肉部２ａ，３ａを設け、当該領域に対し必ず調整を行うことを予定している。図５（ｂ）はこの電極厚肉部２ａに対してイオンミリング法により周波数特性調整を行う方法を示しており、電極厚肉部２ａに対応する位置に開口部Ｍ１を有する金属マスクＭを近接させ、イオンミリングによる周波数特性の調整を実行する。調整状況は圧電振動板を励振させながらリアルタイムにモニタリングしてもよいし、調整対象の圧電振動板に対して予め決定された調整量のイオンミリングを実行し、その後特性確認を行い、必要に応じてこれを繰り返す方法を採用してもよい。
【００３２】
図６は調整前後の周波数特性を示すグラフであり、図６（ａ）は調整前の周波数特性（スプリアス有）を示し、図６（ｂ）は調整後の周波数特性を示している。調整前は前記電極厚肉部の存在により、主振動周波数近傍にスプリアスＳｐが存在していたが、調整を行うことにより図６（ｂ）に示すように、スプリアスが消滅し良好な特性の圧電振動板を有ることができる。
【００３３】
なお、当該周波数特性調整方法は上記実施の形態に開示したイオンミリングに限定されるものではなく、質量減による調整方法の他の例として、反応性のガスを用いたエッチングを用いてもよいし、レーザービーム、イオンビームによる調整をあげることができる。また質量付加による調整方法の例として、パーシャル蒸着方法やスパッタリングをあげることができる。質量付加による調整を行う場合も、前記解決手段の項で図２、図４を参照して説明したように、圧電振動板の最大バラツキと調整方法を考慮して、事前に励振電極膜厚を設定する。これにより調整領域と調整手段を事前に決定することができるので、従来要していた調整領域の決定や調整方法の決定に係る工程をなくすことができる。
【００３４】
また周波数特性調整後に前記励振電極膜の表面をウェットエッチングを行ってもよい。上述の周波数特性調整を行った場合、調整手段や調整量によっては励振電極膜の表面に微少段差が生じることがある。このような段差はその端部が鋭利な状態になっている場合があり、無用な反射波を生ぜしめスプリアス振動の生じることがある。上記ウェットエッチングを後で行うことにより、当該鋭利な状態の段差端部による影響を減じ、無用な反射波による新たなスプリアスの抑制を抑制することができる。
【００３５】
なお、図示していないが、以上の特性調整後、セラミックパッケージ等のパッケージに圧電振動板を収納するとともに、圧電振動板をパッケージに電気的機械的接合し、その後リッドにて気密封止することにより、圧電振動子の完成となる。
【００３６】
本発明による他の実施形態について図面に基づいて説明する。図７は圧電振動板１に形成される励振電極２、３（３は図示せず）について、大電極領域２ｂと小電極領域２ｃを有する構成としている。大電極領域２ｂは負荷質量効果により小電極領域２ｃに較べて周波数を低く設定することができ、これにより励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせることができる。周波数特性調整においては、前記大電極領域２ｂに対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。
【００３７】
また逆に小電極領域２ｃは相対的に周波数が高いことにより、当該小電極領域２ｃに対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００３８】
図８、図９は励振電極膜２の長辺に傾斜部を設けた略台形形状であり、図８は電極形状が図面右側に向かって漸次大きくなる傾斜部２ｄを有する構成である。本実施形態においては励振電極膜の形状により、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせるものである。周波数特性調整は、右側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に左側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００３９】
図９は電極形状が図面右側に向かって漸次小さくなる傾斜部２ｅを有する構成である。本実施形態においては励振電極膜の形状により、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせるものである。周波数特性調整は、左側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に右側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００４０】
本発明は励振電極膜の一部を削除することにより励振電極膜が形成されたの一部領域の周波数を他の領域より異ならせてもよい。例えば図１０は励振電極膜２に無電極部２ｆを複数設けることにより、励振電極膜の一部領域の周波数を異ならせるものであり、図１０においては無電極部２ｆの形成領域を電極の左側に偏在させることにより、当該領域の周波数を高めている。周波数特性調整は、右側の電極領域に対して電極形状を小さくすることにより、あるいは電極膜厚を薄くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を高い方向に調整をすることができる。また逆に左側の電極領域に対して電極形状を大きくすることにより、あるいは電極膜厚を厚くすることにより、あるいは両者を組み合わせることにより、周波数を低い方向に調整をすることができる。
【００４１】
本発明は圧電振動板に形成された表裏の励振電極膜形状を異ならせることにより励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせてもよい。図１１は圧電振動板の表裏面に形状の異なる励振電極膜２，３を形成した例を示している。表面の励振電極膜２は矩形形状であるが、裏面の励振電極膜３は図７で示した電極構成に類似した大電極領域３ａと小電極領域３ｂを有する構成である。大電極領域３ａは負荷質量効果により周波数が低く設定されている。周波数調整は上述と同様、周波数の低い領域の励振電極膜の質量を減じるか、周波数の高い領域の励振電極膜の質量を増すことにより実行する。
【００４２】
ところで、圧電振動板に形成される励振電極膜の調整領域に対し膜厚を減じることにより周波数特性調整を行う場合、当該膜厚減少量を調整領域内で異ならせて、周波数特性調整を最適化してもよい。図１２は膜厚減少量を調整領域内で異ならせて調整を実行する例を示しており、図１２（ａ）は調整前の励振電極形成された圧電振動板の断面図、図１２（ｂ）はイオンミリングによる調整方法を示す図である。図１２（ｂ）に示すように、励振電極膜の一部領域の周波数を他の領域より異ならせた調整領域２ｇ（電極厚肉部）に対してイオンミリングを実行するにあたり、イオンミリングＥの一部のみが調整領域２ｇに対し照射される構成としている。一般的にイオンミリングはエッチングレートがその中心部分に対して周囲が小さいことが知られている。図１２（ｂ）においてイオンミリングＥの矢印の大きさはエッチングレートを示し、長い方がエッチングレートが高いことを示している。このような特性を利用して、イオンミリングの中心部分から周囲部分のみが前記調整領域に対し照射されるよう、金属マスクＭの開口部Ｍ１を形成し、周波数特性の調整を実行する。その結果、図１２（ｂ）で示すように調整領域２ｇの上面が傾斜を持った形状となり、励振電極の外周近傍に向かうにつれて重みが増加する構成となっている。このように漸次厚さが変化するような構成とすることにより、無用なスプリアス振動の励振を抑制することができ、特性の良好な圧電振動子を得ることができる。
【００４３】
本発明は、その精神または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
水晶振動子等の圧電振動デバイスの量産に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図２】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図３】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図４】本発明による周波数特性調整を示す図である。
【図５】本発明の実施形態を示す図である。
【図６】本発明の実施形態による周波数特性を示す図である。
【図７】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図８】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図９】本発明の実施形態を示す図である。
【図１０】本発明の実施形態による周波数特性を示す図である。
【図１１】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図１２】本発明による他の実施の形態を示す図である。
【図１３】従来例を示す図である。
【図１４】従来例を示す図である。
【符号の説明】
【００４６】
１、７ 水晶振動板（圧電振動板）
２、３、７１，７２ 励振電極膜
２ａ，３ｂ 電極厚肉層
【特許請求の範囲】
【請求項１】
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、
少なくとも一方の励振電極膜が形成された一部領域の周波数を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項２】
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、
少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の厚さまたは／および形状を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項３】
周波数特性調整は、真空蒸着法、スパッタリング法あるいはイオンエッチング法により行ったことを特徴とする請求項１または２記載の圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の周波数特性調整を行った後、前記励振電極膜の表面をウェットエッチングしたことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項１】
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、
少なくとも一方の励振電極膜が形成された一部領域の周波数を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項２】
厚みすべり振動にて動作する圧電振動板の表裏に対向して励振電極膜を形成し、励振電極膜に対して膜厚を加減してなる圧電振動子の周波数特性調整方法であって、
少なくとも一方の励振電極膜の一部領域の厚さまたは／および形状を他の領域より異ならせ、当該一部領域に対して周波数特性調整を行ったことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項３】
周波数特性調整は、真空蒸着法、スパッタリング法あるいはイオンエッチング法により行ったことを特徴とする請求項１または２記載の圧電振動子の周波数特性調整方法。
【請求項４】
請求項１乃至３の周波数特性調整を行った後、前記励振電極膜の表面をウェットエッチングしたことを特徴とする圧電振動子の周波数特性調整方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【公開番号】特開２００６−２７０４６５（Ｐ２００６−２７０４６５Ａ）
【公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００５−８５１５４（Ｐ２００５−８５１５４）
【出願日】平成１７年３月２４日（２００５．３．２４）
【出願人】（０００１４９７３４）株式会社大真空 (312)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１０月５日（２００６．１０．５）
【国際特許分類】
【出願日】平成１７年３月２４日（２００５．３．２４）
【出願人】（０００１４９７３４）株式会社大真空 (312)
【Ｆターム（参考）】
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