【課題】 電気機械結合係数が大きく、音速、ＳＡＷ速度が小さい圧電単結晶組成物を用いることにより、圧電振動子、弾性表面波デバイスを提供すること。
【解決手段】 ランガサイト型構造を有する化学式（Ｓｒ_1-xＢａ_x)₃ＴａＧａ₃Ｓｉ₂Ｏ₁₄（０＜ｘ≦０．７）で表される圧電単結晶組成物を提供することにより、圧電フィルター、圧電共振子、圧電ジャイロ等の体積弾性波を利用した圧電振動子及び圧電フィルター、センサー等の弾性表面波デバイスの小型化を可能にする。 （もっと読む）

【課題】振動電極と容量電極との接触によるショートを防止し、信頼性を向上させた容量内蔵型圧電共振部品を提供する。
【解決手段】保護カバー３は、容量素子２の第２容量主面２２側に配置され、絶縁性のエポキシ樹脂からなり、細長い板状をなしている。保護カバー３の長手方向の長さ及び短手方向の幅は、容量素子２の長手方向の長さ及び短手方向の幅とほぼ等しく構成されている。保護カバー３は、容量素子２に熱圧着され、第２容量電極２６の全体を覆っている。圧電共振子６と保護カバー３との間には、第１接着層４及び第１空間形成層５によって空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 Ｑ値が大きく、優れた共振特性を有する薄膜バルク波素子および高周波デバイスを提供する。
【解決手段】 この薄膜バルク波素子では、基板１の表面上には矩形の平面形状を有する凹部２が形成されており、凹部２上にはこの凹部２の中央を跨ぐように、薄膜共振器６が形成されている。この薄膜共振器６は、圧電体薄膜３と圧電体薄膜３の上面上および下面上に形成された電極４および５とからなる。薄膜共振器６の周縁部のうち、１組の対向する辺６ｂおよび６ｄと基板１との間には、それぞれ、長さＬを有する開口部７および７が形成されており、辺６ｂおよび６ｄは、それぞれ、その中央部において長さＬに渡って基板１と離れている、そして、電極４および５は、それぞれ、基板１上に形成されているパッド電極８および９と接続されているとともに、パッド電極８および９を介して図示していない外部の回路と接続されている。 （もっと読む）

【課題】 特別なパッケージや実装基板を必要とせずに圧電振動板面における周波数調整を正確かつ効率的に行い、特性の良好な圧電振動子を提供する。
【解決手段】 圧電振動板１は矩形平板状のＡＴカット水晶振動板からなり、その表裏面の中央領域に平面視矩形状の励振電極膜２，３が形成され、、また電極厚肉部２ａ，３ａが形成されている。この電極厚肉部２ａ，３ａは圧電振動板の厚さに最大バラツキが生じた場合でも、必ず当該電極厚肉部が周波数特性調整対象となるような厚さに設定され、調整領域となっている。当該領域に対しイオンミリング法により周波数特性調整を行う。 （もっと読む）

【課題】圧電振動子製造時における生産性、及び歩留まりを向上し、製造コストを低減した圧電振動子の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧電素板を洗浄する工程と、洗浄後の前記圧電素板の主面上に励振電極を蒸着する工程と、前記圧電素板に設けられた前記金属電極の厚みを調整する工程と、前記金属電極の厚みの調整後、前記圧電素板を個片分割し圧電振動片を形成する工程と、前記圧電振動片について圧電振動子用パッケージに導電性接着剤を介してマウントする工程と、前記マウント後に前記導電性接着剤を乾燥する工程と、乾燥後、前記圧電振動片の主振動周波数を微調整する工程とにより、圧電振動子を製造したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低損失圧電薄膜共振器（ＦＢＡＲ）フィルタ、または、低損失ＦＢＡＲ高周波フィルタ等の縮小基板マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）デバイス、ならびに、それを生成するためのプロセスおよびシステムを提供する。
【解決手段】本発明の実施例に従う縮小基板ＭＥＭＳデバイスは、パッケージング部分の間に結合された膜を含むこともできる。本発明の実施例に従うプロセスは、第１のパッケージング部分、支持基板を含むＭＥＭＳデバイスとを結合するステップ、該支持基板を除去するステップ、および、第２のパッケージング部分と前記ＭＥＭＳデバイスとを結合するステップを含むこともできる。
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【課題】共振部のダメージを減らしながらエッチング工程を通じてエアギャップを形成することのできるエアギャップ型ＦＢＡＲ及びその製作方法を提供すること。
【解決手段】所定の大きさのエアギャップがエッチングされ貫通形成された基板と、エアギャップの上部に位置し、第１電極、圧電膜、及び第２電極が順に積層された共振部と、エアギャップと共振部との間に設けられ、エアギャップの形成時エッチング深さを制限して共振部の損傷を防止するエッチング阻止層とを含む。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】
上記の目的を達成するために、本発明は水晶素板薄板の振動部とその周囲を囲う水晶素板厚板の補強部とが一体に成った厚み滑り振動をする水晶振動子の製造方法において、振動面のパターンニング工程と、外形加工エッチング、及び振動面形成工程と、保護膜剥離工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め仕切り部の形成工程と、振動面の窪みのある面の裏面にエッチャントを滴下して周波数調整をする工程を有することを特徴とし、また、振動面の窪みのある面の裏面に幅が２００μｍから３００μｍのエッチャント止め仕切り部が形成され、撥水性のあるレジストで振動面の窪みのある面の裏面にエッチャント止め仕切り部が形成されることを特徴として課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】電気機械結合係数が大きい、厚さシアモードで振動する小型な積層型振動素子を提供する。
【解決手段】内部電極パターン２０を印刷した複数の圧電体シート１０を積層し、内部電極の中で中端から一側端部まで延長された入力電極３０は補助電極４０によって相互繋がれ、入力電極の間に形成された出力電極の端部は外部電極によってお互いに繋がれ、長さ方向に震動されるように長さ方向に分極された振動子と キャパシターを内装したベース基板と保護カバーとで構成する。又、長さ方向の外部面の中で少なくとも一つの面の一部または全部に質量荷重層５０を形成し、質量荷重効果を利用して振動子の震動周波数を調節する。このような振動子は小型化されたコルピッツ型発振回路の一部として使用できる。 （もっと読む）

【課題】その目的は、圧電振動素子の周波数の微調整を可能し、生産性を向上させる圧電発振器を提供する。
【解決手段】本発明の圧電発振器の製造方法は、ストリップ線路を設けた容器体を準備する工程Ａと、前記圧電振動素子と、該圧電振動素子と接続して電子部品素子と、前記容器体に配置する工程Ｂと、前記電子部品素子をワイヤーボンディングにて前記ストリップ線路と接続することによって周波数を微調整する工程Ｃとを含むものである。 （もっと読む）

【課題】電極パターンを保護膜として圧電基板をエッチングするメサ型圧電振動子の製造方法において、パッケージ実装後の周波数特性の微調整量を小さくし、製造コストを抑えることを目的とする。
【解決手段】平行平板の圧電基板の主面に金属膜を形成する工程と、前記金属膜の上に所定のフォトレジストパターンを形成する工程と、前記フォトレジストパターンを保護膜として前記金属膜をエッチングし電極パターンを形成する工程と、該電極パターンと前記フォトレジストパターンとを保護膜として前記圧電基板をエッチングし肉薄部を形成する工程と、前記フォトレジストパターンを剥離する工程と、前記電極パターンに測定器を接続し圧電素子の周波数特性を取得する工程と、前記取得した周波数特性に基づき所定の厚みの金属膜を前記電極パターンの上に成膜する工程とを備えたことを特徴とするメサ型圧電振動子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】製造歩留まりを高めて、生産性を向上させることができる水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】基体の上面に振動電極を有した水晶振動素子を搭載する工程Ａと、前記水晶振動素子に電圧を印加して振動を起こさせ、その周波数を測定しながら、振動電極面に相当する箇所にメッシュ加工されたマスクジグを使用し、前記振動電極の表面にイオンビームを照射することにより、前記水晶振動素子の周波数調整を行う工程Ｂと、前記導体パターンに対し前記水晶振動素子を被覆するようにして金属製の蓋体を接合する工程Ｃとを含むものである。 （もっと読む）

【課題】 小型振動子を封止後レーザを用いて直接電極を削る方法は、微調整が困難であり、その削った電極を排出する場所が無くなることから、ゴミ、ホコリと言ったコンタミネーションの問題を発生することが懸念され、ひいてはこれらのコンタミネーションが振動子の表面に付着し、振動子の所望の特性を悪化させる要因が考えられる。
【解決手段】 目的を実現するために本発明は、第１の基板と第２の基板との間に電極を形成した圧電素板を挟み込んだ形態を有する圧電振動子の周波数調整方法において、前記第１の基板少なくとも表裏と、第２の基板の少なくと表裏に形成する電極のいずれかに、該電極金属を付加することあるいは、既存の該電極金属を削除することで該圧電振動子の周波数調整を行うことを特徴とする圧電振動子の周波数調整方法により課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動片を収容した絶縁材料の箱形ベースにガラス材料のリッドを接合して気密封止する圧電デバイスの製造方法において、工程の簡単化、製造コストの低減及び環境保全及び労働衛生を考慮した無鉛化を図る。
【解決手段】 上部を開放した箱形をなし、その上端面にＣｒなどの金属膜６及びその上にＡｕ／Ｓｎなどの金属ろう材層７を被着したセラミック材料のベース１を形成し、そのキャビティ５内に圧電振動片１０を実装する。ガラス薄板１３の一方の面に金属膜１４を被着したリッド１２を形成する。ベースの上にリッドを、その一方の面をベース上端面の金属ろう材層に重ね合わせて載置し、加熱して金属ろう材層を溶融させることにより気密に接合封止する。 （もっと読む）

【課題】集積化された多数周波数帯圧電薄膜共振器を形成する方法を提供する。
【解決手段】リソグラフィー技術を用いて、多周波数帯圧電薄膜共振器（Ｆｉｌｍ Ｂｕｌｋ Ａｃｏｕｓｔｉｃ Ｒｅｓｏｎａｔｏｒ、ＦＢＡＲ）を１つの同じ集積回路上に形成するとしてもよい。このようにすることによって、再現性のある構成部品を大量生産できるようになり、製造された共振器は周波数が互いに異なる構造となる。 （もっと読む）

上方からエネルギー線を照射して電極をエッチングするようにして周波数調整を行った場合に、絶縁抵抗の低下、短絡不良及び電極間マイグレーションなどが生じ難い、圧電共振部品の周波数調整方法を提供する。
側面１４ａ，１４ｂ及び上面を有する圧電体１４と、圧電体１４の上面に設けられた電極１５とを有し、側面１４ａ，１４ｂが、上端に比べて下方部分が圧電体１４の中心側に位置するように傾斜面とされている圧電共振部品の上面に開口部２２ａを有するマスク２２を配置し、上方からイオンビームを照射することにより圧電共振部品の周波数を調整する周波数調整方法。 （もっと読む）

【課題】 フィルタ特性に優れる水晶フィルタを低価格にて提供することを目的とする。
【解決手段】 薄肉の振動部と振動部の周囲を支持する厚肉の環状囲撓部とを圧電基板で一体的に形成し、振動部の一方の面に全面電極を設け、他方の面に分割電極を設けた圧電フィルタ素子に於いて、分割電極と並列接続した他の分割電極と、他の分割電極の峡間と対向した振動部面に全面電極が設けられていないエリアとを備え、他の分割電極の電極間距離を所定の間隔とすることにより分割電極間に所定の橋絡容量を発生させると共に、エリアを所要の範囲に設定することにより橋絡容量を所要値に設定し圧電フィルタのポール周波数を所要の値に調整する。 （もっと読む）