【課題】共振周波数及び反共振周波数の調整に好適な薄膜バルク波共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】並列腕共振器１０Ｂの上部電極５０Ｂ上に保護膜６０を形成する。そしてドライエッチングにより保護膜６０に複数の開口部をメッシュ状に形成し、上部電極５０Ｂの一部を露出させる。保護膜６０の開口率を調整することにより、並列腕共振器１０Ｂの反共振周波数を直列共振器１０Ａの共振周波数に一致させることができる。複数の開口部がメッシュ状に形成される保護膜６０は、その重みにより並列腕共振器１０Ｂの共振周波数及び反共振周波数を調整する機能を有するため、一度の製造工程で保護膜と周波数調整膜とを形成することができる。 （もっと読む）

【課題】所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子と、この輪郭振動子の調整方法を提供する。
【解決手段】輪郭振動子１０は、水晶基板のカット角φがＩＲＥ標準のＹＸｌｔφ／θで表される四角形の平板からなる振動体２０と、振動体２０の表裏両面に設けられ共振周波数を律する励振電極３０，３１と、励振電極３０，３１の表面に設けられ温度特性を調整する温特調整膜４１，４２と、を備える。振動体２０を形成した後、振動体２０の表裏両面に励振電極３０，３１を形成し、励振電極３０，３１の厚さまたは／及び面積を変更して共振周波数を調整した後、温特調整膜４１，４２を形成し温度特性を調整し、所望の共振周波数、所望の温度特性を有する輪郭振動子を提供することができる。 （もっと読む）

【課題】輪郭圧電振動片の周波数を簡単に効率良くかつ高精度に調整する。
【解決手段】正方形の水晶平板からなる振動部２と支持部４とそれらを結合する接続部３ａ，３ｂとを一体に備える輪郭水晶振動片１において、振動部の両面にそれより小さい同心正方形状の励振電極５，６を形成し、その外側に該振動部の周辺との間に矩形枠状の水晶素面領域７，８を設ける。水晶素面領域には、振動部の各辺２ａ〜２ｄに沿って延長する複数の細い直線状の溝１１ａ〜１１ｄ，１２ａ〜１２ｄが振動部の対向する各２辺の中点を通る２つの対称軸に関してそれぞれ線対称に形成されている。基本的に振動部の輪郭寸法により設定される輪郭水晶振動片の周波数は、溝の本数、それらの幅、長さ、深さや位置を適当に選択することにより、低くなる向きに調整される。 （もっと読む）

【課題】ウエハの段階でパッケージングを行うことができ、量産に適したパッケージ型圧電振動子を提供すること。
【解決手段】本発明のパッケージ型水晶振動子は、圧電基板の下面側にベース体を接合した時に、段差面と圧電基板の枠部の下面との間に引出電極が密着した状態で介在し、ベース体の凹部の空間が気密にシールされる構造となっている。従って、圧電基板の上面側に蓋体を接合し、圧電基板の下面側にベース体を接合するだけで、圧電基板を容易に気密封止することができ、製造工程の複雑化が避けられる。 （もっと読む）

【課題】小型化に対応する圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】上部凹陥部と下部凹陥部とが隔壁で隔てて対向配置する容器体と、圧電振動
素子と、発振回路を構成する電子回路素子と、蓋体と、を備え、前記下部凹陥部が全周に
外壁を有した構成であり、前記上部凹陥部に前記圧電振動素子を収容し該上部凹陥部を前
記蓋体により気密封止すると共に、前記下部凹陥部に少なくとも前記電子回路素子を収容
する構造を有する圧電発振器であって、前記容器体の対向する側面にそれぞれ凹所を設け
、該凹所の内壁に導体膜を配設すると共に、該導体膜を前記圧電振動素子と電気的に導通
接続した圧電発振器。 （もっと読む）

【課題】輪郭水晶振動片の製造において、周波数温度特性を変化させることなく周波数を調整でき、また周波数微調整及び温度特性調整を同時に行う。
【解決手段】水晶ウエハ２１の両面に電極膜２２，２３を形成し、フォトリソグラフィ技術を用いて励振部３２、接続部３３、支持部３４を一体に有する輪郭水晶振動片３１の外形を加工する。水晶ウエハの電極パターン２８，２９をマスクとして、励振部の水晶部分を側面からウエットエッチングし、その輪郭寸法を調整することにより、輪郭水晶振動片の周波数を粗調整する。次に、周波数又は１次温度係数の少なくとも一方の膜厚に対する変動量が異なる２種又はそれ以上の材料を選択的に組み合わせて、振動部に付着させることにより、輪郭水晶振動片の周波数を微調整しかつ同時に温度特性を調整する。 （もっと読む）

【課題】周波数の合せ込み精度を向上させる圧電振動子の製造方法および圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電振動片に励振電極を形成する電極形成工程と、前記圧電振動片を容器にマウントするマウント工程と、前記励振電極の質量を調整して圧電振動子の周波数を調整する第１の周波数調整工程と、前記第１の周波数調整工程の後で、前記圧電振動片がマウントされた前記容器を加熱放置する熱処理工程と、前記熱処理工程の後で、前記励振電極の質量を調整して圧電振動子の周波数を調整する第２の周波数調整工程と、前記容器を気密に封止する封止工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 パッケージ開口部への蓋体載置後の位置ずれを抑制するとともに、選択的な個割切断を行うことにより外形寸法を変えることができる圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上部が開口したパッケージ４が複数個形成されたパッケージ基板８の収納部７に水晶振動素子３を搭載接合し、前記収納部の開口部を蓋体２で気密接合した後、個割り切断して複数の圧電振動デバイスを得る製造において、前記パッケージに形成された蓋体を係止するための段差状のガイド部６を介して、蓋体とパッケージとが嵌合されて気密接合されるとともに、前記ガイド部６の一部を含む領域またはガイド部の外側の領域で切断することにより、複数の圧電振動デバイスを得る。 （もっと読む）

【課題】弾性波の伝播速度が速いというＡｌＮ薄膜の特長を活かしつつ、電気機械結合係数および音響的品質係数を損なうことなく、共振周波数の温度安定性を向上させた圧電薄膜共振子を提供する。
【解決手段】基板１１２の上に形成された圧電積層構造体１４の一部を含んで振動部１２１が構成されている。圧電積層構造体１４は下部電極１５、圧電体膜１６および上部電極１７を積層してなる。基板１１２は振動部１２１に対応する領域にて振動部の振動を許容する空隙１２０を形成している。圧電体膜１６は窒化アルミニウムを主成分とするものであり、下部電極１５および上部電極１７がモリブデンを主成分とするものであり、振動部１２１は圧電積層構造体１４に接合された窒化シリコンを主成分とする絶縁層１３の少なくとも一部を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】短い製造工程で同一基板上に形成可能なそれぞれ異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振器からなる弾性波デバイスおよび弾性波デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、基板１１と、基板１１上に設けられた下部電極１０と、下部電極１０上に設けられた圧電膜１２と、圧電膜１２を挟み下部電極１０と対向する共振部１６を有するように圧電膜１２上に設けられた上部電極１４と、上部電極１４上に設けられた質量負荷膜１８と、を有し、質量負荷膜１８は共振部１６に設けられ、質量負荷膜１８の面積は共振部１６の面積より小さい圧電薄膜共振器を具備する弾性波デバイスである。 （もっと読む）

【課題】周波数調整層の形成に関する製造工程の簡略化を図ると共に、上部電極の酸化を防止することができる圧電薄膜共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜用基板１１１と基板１０５とを貼り合わせた（図３Ｂ、工程ｈ）後、成膜用基板１１１上の振動部１０４に対応する部分に所定のレジストを形成し、Ｄｅｅｐ−ＲＩＥプロセスによってエッチングして成膜用基板１１１の一部を除去する（図３Ｂ、工程ｉ）。これにより、成膜用基板１１１の残った部分（シリコン層）を周波数調整層１０８として機能させる。次に、成膜用基板１１１が除去された電極膜１１３上に所定のレジストを形成し、この電極膜１１３をパターニングして、上部電極１０３を形成する（図３Ｂ、工程ｊ）。 （もっと読む）

【課題】周波数調整の工数を低減し、周波数調整を効率よく行うことができる圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイスの周波数を測定する工程と、測定された周波数分布１０に基づき、圧電デバイスを、測定された周波数の全範囲の中の周波数調整対象範囲１０ｆが周波数調整対象範囲１０ｆより狭い周波数範囲１０ｅで分割された複数の群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに分類する工程と、圧電デバイスを、各群Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄごとに一括して熱処理することにより周波数を調整する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 超小型化し、高周波数化した場合でも特性が安定し、また高精度な周波数調整を行うことのできる圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 水晶振動板１は平板状のＡＴカット水晶振動素子からなり、Ｘ軸が長辺、Ｚ軸が短辺となる長方形形状となっている。また水晶振動板１の表裏面の中央領域には各々励振電極１１，１２が形成され、また各励振電極とつながる引出電極１１１，１２１が形成されている。対向する励振電極１１，１２により、両者が対向している領域を対向部ａとし、対向部ａの外側に励振電極が対向していない拡大部ｂを設けている。拡大部ｂの外周にさらに調整部ｃを形成している。この調整部に対して周波数調整を行う。 （もっと読む）

【課題】容器底面に実装端子を備えると共に、側面に調整端子を備えた表面実装型電子デ
バイスにおいて、容器の小型化によって調整端子が小面積化したとしても、コンタクト部
材を常に安定して当接して導通を確保することができるばかりでなく、コンタクト部材の
耐久性が低下して交換する場合においてもコンタクト部材のみを交換し、プローブ装置本
体を交換する必要をなくして、生産性の向上、製品コストダウンを図った調整用プローブ
装置、及び表面実装型電子デバイスの調整方法を提供する。
【解決手段】、外底部に実装端子３０を備え且つ素子７を搭載した表面実装用の絶縁容器
Ｐと、該素子と導通し該素子の特性を測定、調整するために該絶縁容器の側面に配置され
た調整端子３２と、を備え、調整端子は、絶縁容器の対向する２つの側面に夫々内側下向
きに傾斜して設けられたテーパー面３１に配置されている。 （もっと読む）

【課題】薄膜圧電共振子の空洞部の形成と周波数調整を制御性良く行う薄膜圧電共振子及びその製造方法。
【解決手段】封止部材１９と、封止部材１９上に配置され，微細孔１２ａを備える埋め込み絶縁層１２と、埋め込み絶縁層１２上に配置され，微細孔１２ａ上に空洞部５２を備える半導体層１４と、半導体層１４，及び空洞部５２上に配置される保護膜１８と、保護膜１８上に配置される下部電極２１と、下部電極２１上に配置される圧電膜２２と、圧電膜２２上に配置される上部電極２３と、保護膜１８上に配置され，下部電極２１に接続される第１取り出し電極２４と、保護膜１８上に配置され，上部電極２３に接続される第２取り出し電極２６と、微細孔１２ａに対向して形成された保護膜１８のエッチング部、又は堆積層部５８とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電デバイスの経年的な共振周波数の変化を低減する圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料からなる圧電基板表面に励振電極３６を形成した圧電振動素子３５を導電性接着剤３７にて、連通穴３８を有する容器３０内に搭載する素子搭載工程と、圧電振動素子３５の共振周波数を調整する周波数調整工程と、容器３０と蓋体４０とを接合する蓋体接合工程と、容器３０と蓋体４０により画定される空間部に非結合電子対を有する気体と不活性ガスとの混合ガスを連通穴３８より導入するガス導入工程と、容器３０の連通穴３８に配置した封止部材３９にレーザ光を照射して連通穴３８を塞ぎ、空間部４８を気密に封止する封止工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子の共振周波数を大気中で調整するとともに、圧電薄膜共振子の共振周波数の調整によるスプリアスの発生を抑制する。
【解決手段】ウエハＷに含まれる圧電薄膜共振子１の対向領域Ｅ１の上に、質量を付加する質量付加膜となるレジスト膜１９を形成し、当初は目標周波数Ｆ_Tを上回っていた圧電薄膜共振子１の共振周波数Ｆ_Rを、目標周波数Ｆ_T以下に低下させる。次に、圧電薄膜共振子１Ａの対向領域Ｅ１の上に形成されたレジスト膜１９に電磁波を照射することにより、レジスト膜１９をアブレーション加工し、共振周波数Ｆ_Rを目標周波数Ｆ_Tまで上昇させる。 （もっと読む）

【課題】台形状の突起部を有するメサ型基板を多量に生産する手段を得る。
【解決手段】圧電基板の両主面と所定の間隔を隔して開口部を有するマスクを配置し、大
気圧下で圧電膜をエピタキシャル成長させた圧電基板であって、前記マスクの開口部とそ
の近傍に形成される前記圧電膜が前記圧電基板両主面のほぼ中央部に台形状に形成される
。 （もっと読む）

【課題】上述したような形態の圧電振動子では、圧電振動素子を挟む容器体にガラス等の絶縁性物質を使用しているので、容器体自体にＥＭＩ対策作用がなく、圧電振動子外からの電磁ノイズの影響を受ける虞がある。
【解決手段】圧電振動素子を間に挟む形態で第１の容器体と第２の容器体が組み合わされており、且つ第１の凹部及び第２の凹部により形成された内部空間が気密となるよう、第１の容器体、第２の容器体及び圧電振動素子を相互に接合してなる圧電振動子において、上記第１の容器体の第１の凹部を囲繞する側壁部を除くガラス構造体内には、導電性のウィスカーが含有されており、且つこのウィスカーを含有したガラス構造体部分と外部接続用電極端子のうちのグランド電極端子とが電気的に接続してある圧電振動子。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子を挟む容器体に硬脆材のガラスを使用しているので、外部から応力が加わった場合、仮にその応力が微小であっても、それら容器体に挟まれた圧電振動素板が歪んでしまい、圧電振動素子の振動特性に悪影響を及ぼす虞がある。
【解決手段】圧電振動素子を間に挟む形態で第１の容器体と第２の容器体が組み合わされており、且つ第１の凹部及び第２の凹部により形成された内部空間が気密となるよう、第１の容器体、第２の容器体及び圧電振動素子を相互に接合してなる圧電振動子において、上記第１の容器体及び第２の容器体を構成するガラス構造体内に、絶縁性のウィスカーが含有されている圧電振動子。 （もっと読む）