【課題】振動部の一方の主面が曲面形状の凸部を有する水晶振動子を容易に製造し、該水晶振動子の製造コストを軽減する。
【解決手段】水晶ウエハの一方の主面に複数の水晶基板凹部１１ａを形成して水晶基板凹部の間に基板内部配線を設ける水晶ウエハ形成工程と、水晶基板凹部の底面に第一の電極１３ａを形成する第一の電極形成工程と、複数の第一の容器体２０ａとなる部分からなる第一のウエハと複数の水晶基板凹部１１ａの設けられている水晶ウエハの一方の主面とを接合する第一の接合工程と、水晶ウエハの他方の主面を片面研磨する研磨工程と、水晶ウエハの他方の主面に第二の電極１４ａを形成する第二の電極形成工程と、複数の第二の容器体からなる第二のウエハと水晶ウエハの他方の主面とを接合する第二の接合工程と、水晶ウエハの水晶基板凹部の間を切断し水晶振動子ごとに個片化する個片化工程と、からなる。 （もっと読む）

【課題】薄型化が可能であるとともに、製造の歩留まり及び品質が向上する圧電デバイスの提供。
【解決手段】圧電デバイスとしての水晶発振器は、水晶振動片３０と、ＩＣチップ２０と、水晶振動片３０及びＩＣチップ２０をベース部１１にマウントし内部に収容するパッケージ１０と、を備え、水晶振動片３０が、厚み方向に貫通する貫通孔３１を有し、ＩＣチップ２０が、平面視において、貫通孔３１内でベース部１１にマウントされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】励振電極の材料を選択して生産性を高めた水晶振動子を提供する。
【解決手段】下地電極６ａ上に本電極６ｂの設けられた励振電極６を水晶片２の両主面に有し、前記水晶片２の一主面の励振電極６に対する質量負荷効果によって振動周波数を調整した水晶振動子において、前記一主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡuを設け、前記他主面の励振電極６は下地電極６ａ上にＡgを設けた構成とし、例えば前記下地電極の膜厚は同一として、前記他主面の本電極であるＡgの膜厚は前記一主面の本電極であるＡuよりも大きくした構成とする。 （もっと読む）

【課題】新規の工程を追加することなく、エッチングによって水晶のウエハから所望の水晶片を得ることができると共に、電極を自由に配設することができる水晶振動子の製造方法を提供すること。
【解決手段】水晶片１０を形成するときに水晶片１０の＋Ｘ側の角部と対応する２つの位置に配設される、ウエハＷの＋Ｘ軸方向に向けて伸びるダミー領域４４、４８を有するエッチングマスク６を形成し、水晶片１０を形成するときにダミー領域４４、４８に対応する位置の溝部７のエッチングを遅らせる。これにより、角部の欠け部のない水晶片１０を、ウエハＷに接続支持部１１に接続支持した状態で形成することができる。 （もっと読む）

【課題】短い加工時間でトリミング加工することができる圧電共振器の製造方法を提供する。
【解決手段】平板状の圧電基板１１の一方主面に第１の励振電極１２を形成し、他方主面に圧電基板１１をはさんで第１の励振電極１２に対向する対向部１４を有する第２の励振電極１３を形成して、圧電共振子１０を作製する工程と、励振電極１２、１３にそれぞれ接続される接続電極２、４を備えたベース基板１を作製する工程と、圧電共振子１０を第１の励振電極１２をベース基板１に対向させてベース基板１に実装して圧電共振器５０を作製する工程と、圧電共振子１０の第２の励振電極１３にレーザー光を当てて、第２の励振電極１３をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器５０の製造工程であって、トリミング工程においては、第２の励振電極１３に対向部１４から一部を切り離すトリミング溝３０を形成してトリミングする。 （もっと読む）

【課題】データの書き込み時においてプローブを確実に電極に接触させる圧電発振器、この圧電発振器を搭載した電子機器および圧電発振器の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電発振器１０は、圧電振動片１２とこの圧電振動片１２を発振させる回路とをパッケージ１３に搭載した圧電発振器１０であって、前記回路と電気的に接続するとともに前記圧電振動片１２の下方に設けられ、前記パッケージ１３内部の気密封止に用いられるとともに、気密封止後に周波数調整を行う電極となる貫通孔３２を備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】容器の外部に開口する貫通孔に外部から位置させた封止用金属体を溶融させ、容器内に形成された導電路パターンを介して、その貫通孔内に電子部品本体の本体電極に電気的に接続された孔内配線を形成すると共に容器を封止するにあたって、歩留りの低下を抑えること。
【解決手段】前記貫通孔に外部から封止用金属体を位置させる工程と、前記封止用金属体を溶融させ、この封止用金属体により前記貫通孔を塞ぐと共に塞いだ部分と前記導電路パターンの一端側とが前記金属体により繋がった状態で当該金属体を導電路パターンの表面を介してダミーパターン側に案内させる工程と、溶融した封止用金属体を冷却して固化させて、前記貫通孔内に前記導電路パターンに接続された孔内配線を形成する工程と、を実施する。 （もっと読む）

【課題】予めＩＣチップと水晶片とを一体化した上で、水晶振動子の振動周波数の調整が容易であり、安価であって生産性が高い表面実装発振器及びその製造方法の提供。
【解決手段】凹部を有する容器本体１の内底面にバンプ１１を用いてＩＣチップ２を固着するとともに、外周部に引出電極を延出した水晶片３を容器本体１の内底面とＩＣチップ２との間に介在させた表面実装用の水晶発振器において、水晶片３の引出電極の延出した外周部をＩＣチップ２に形成された水晶端子に固着した構成とする。 （もっと読む）

【課題】トリミングの際に減る圧電共振子の両主面の励振電極の質量の差を少なくすることのできる圧電共振器の製造方法およびその製造方法に好適な圧電共振器を提供する。
【解決手段】単結晶からなる平板状の圧電基板１１の一方主面に第１の励振電極１２が形成され、他方主面に該他方主面に直交する方向から見て第１の励振電極１２と重なる部分を有する第２の励振電極１３が形成された圧電共振子を、ベース基板１の接続電極２〜４に圧電共振子を第２の励振電極１３がベース基板１に対向するように実装して圧電共振器を作製する工程と、実装された圧電共振子にレーザー光を当てて、第１の励振電極１２および第２の励振電極１３をトリミングするトリミング工程とを含む圧電共振器２０の製造工程で、トリミング工程においては、第１の励振電極１２および第２の励振電極１３を同時にトリミングする。 （もっと読む）

【課題】歩留まりが低下せず、感度を向上させることが可能な圧電デバイスを提供する。
【解決手段】開口１９を囲うものとして構成された脚体部２２によって支えられたベース膜１３Ａと、ベース膜１３Ａの表面に形成された下部電極１６と、下部電極１６上に形成された、段差のない圧電体膜１７と、圧電体膜１７上に形成された上部電極１８と、を有するメンブレン２１を備え、
ベース膜１３Ａと下部電極１６とにより、圧電体膜１７と上部電極１８とを支持するための支持膜が構成されており、
この支持膜には、一端が開口１９に連通し、他端が圧電体膜１７の表面を露呈させる、トレンチ１４が形成されている。 （もっと読む）

【課題】特定の複酸化物を含有する圧電磁器、及びその製造方法、並びにこの圧電磁器を圧電体として備える圧電素子を提供する。
【解決手段】本発明の圧電磁器は、Ｐｂ、Ｚｒ及びＴｉを含むペロブスカイト型結晶構造を有する第１複酸化物と、Ｌｉ_２ＷＯ_４及びＬｉ_２Ｗ_２Ｏ_７のうちの少なくとも一方（第２複酸化物）とを含有する。また、本発明の圧電磁器の製造方法は、第１複酸化物となる原料粉末を混合し、仮焼し、仮焼粉末を成形して成形体とし、この成形体を焼成し、焼成体を分極処理する圧電磁器の製造方法であって、仮焼粉末に第２複酸化物の粉末を配合する。更に、本発明の圧電素子は、本発明の圧電磁器からなる圧電体と、その表面に設けられた一対の電極とを備える。 （もっと読む）

【課題】 効率的な周波数調整を行うことができる圧電振動板の周波数調整方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 多数個の水晶振動板２，２，・・・が一体形成されたウエハ２００において、各水晶振動板２の表裏主面に形成された電極膜２３の質量を削減することによって水晶振動板の周波数の調整を行う周波数調整方法であって、ウエハ２００の全ての電極膜に対してイオンビームを一括照射して該電極膜の質量を削減する。そして、目的の周波数範囲に達した水晶振動板に対して、該水晶振動板の電極膜を覆う遮蔽体を形成して該電極膜の質量が削減されないようにする。 （もっと読む）

【課題】水晶振動子用素子の形成工程で、水晶振動子用素子群の形成領域に異物が付着することやその領域に傷がつくことを防止できる水晶振動子用素子の製造方法を提供する。
【解決手段】素子群形成領域５０の全体に窪み部２１、４１を形成し、他の領域よりも薄くしたウェハＷを用い、素子群形成領域５０に水晶振動子用素子の各々の区画領域５０ａ間の境界部位に積層マスクを形成して、各々の素子群形成領域５０におけるウェハＷの厚さを周波数に対応する寸法に調整する工程と、次いで各々の素子群形成領域５０に水晶片の外形形成用マスクを形成し、当該外形形成用マスクに沿って水晶片の外形を形成する工程とを含み、素子群形成領域５０に窪み部２１、４１を設けることにより、素子群形成領域５０がステージ等と接触することを防止して、区画領域５０ａで形成される水晶振動子用素子への異物の付着や損傷を防止する。 （もっと読む）

【課題】外力が加わった際の各基板の横方向のずれを抑制するとともに、各基板間を接合
する接合層による圧電振動子の総厚の増加を抑制する。
【解決手段】振動片部１１と振動片部１１の周囲を囲むとともに振動片部１１を支持する
枠部１３とを有する圧電基板１０と、圧電基板１０を支持するベース基板２０と、圧電基
板１０を覆うリッド基板３０とを備え、圧電基板１０は、接合層４０，４１を介してベー
ス基板２０とリッド基板３０とに挟持されるように接合され、圧電基板１０のベース基板
２０との接合面１７及び圧電基板１０のリッド基板３０との接合面１６に、接合面１７−
２１間、接合面１６−３１間が離れるように段差部１６ａ，１７ａが設けられ、平面視に
おいて接合層４０，４１が段差部１６ａ，１７ａに収まるように形成され、段差部１６ａ
，１７ａの段差寸法Ｈ１，Ｈ２が接合層４０，４１の厚み寸法Ｔ１，Ｔ２より小さい。 （もっと読む）

【課題】主振動の伝播を抑制するための溝の外側には、電極膜などが無く、水晶面が露出しているため、露出した水晶面同士の加工中での接触、或いは、加工装置への接触等、露出した水晶面、特に水晶面と水晶片の端面とのコーナー部に、欠け（チッピング）や微小な割れ（クラック）などが発生するのを防ぎ、圧電振動片の耐衝撃性向上を図る。
【解決手段】厚みすべり振動を主振動とする圧電基板１１と、前記圧電基板１１の表裏の面に形成され、前記圧電基板１１を励振させる励振電極１６と、前記励振電極１６の外縁に沿って周状に形成された溝部１４と、前記溝部１４の外縁から前記圧電基板１１の外周端までの領域に形成され、前記励振電極１６と電気的に絶縁された浮き電極１９と、を有する構成。 （もっと読む）

【課題】貫通孔に埋設される導電接合材（封止材）が加熱されることによって生じる応力
の影響を減少させ、振動特性の安定した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電振動部１１と、圧電振動部１１の周囲を囲む枠部１２と、圧電振動部１
１と枠部１２とを接続する接続部１５ａ，１５ｂと、圧電振動部１１の主面に設けられた
励振電極１３，１４と、枠部１２の主面に設けられた可撓性を有する樹脂突起部１９ａ，
１９ｂと、樹脂突起部１９ａ，１９ｂの表面を含み励振電極１３，１４と電気的に接続さ
れた接続電極２３ａ，３３ｂと、を有する中間基板１０と、樹脂突起部１９ａ，１９ｂに
対向して形成された貫通孔５２ａ，５２ｂを有し、中間基板１０と接合されるベース基板
としての下側基板３０と、貫通孔５２ａ，５２ｂを封止するとともに樹脂突起部１９ａ，
１９ｂ表面の接続電極２３ａ，３３ｂと接続された封止部５３ａ，５３ｂと、を有する。 （もっと読む）

【課題】量産性に優れ、振動部の占有割合の高い逆メサ型の水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】ＡＴカット水晶板における＋Ｚ′軸をＹ′軸回りに＋Ｘ軸方向へ回転させることを正の回転角として、Ｚ′軸をＹ′軸回りに−１２０°から＋６０°の範囲で回転させて得られるＺ″軸とこれに垂直に交わるＸ′軸のそれぞれに平行な縁辺を有するウエハ３０を用いた水晶振動片１０の製造方法であって、＋Ｙ′軸側主面から加工を施す場合に、振動部１６を構成する肉薄部形成領域３４と、前記肉薄部形成領域に隣接した肉厚部形成領域の外周部、および少なくとも前記肉薄部形成領域の−Ｚ″軸側端部に設ける肉厚部非形成領域の外周部をウエットエッチングする第１のエッチング工程と、前記肉厚部形成領域の外周部と前記肉厚部非形成領域の外周部をウエットエッチングしてＹ′軸方向に貫通させる第２のエッチング工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片ウェハのエッチング欠陥検査方法、及び検査システムを提供する。
【解決手段】参照光３２をハーフミラー２４に反射させて前記参照光３２をエッチングによって形成された圧電振動片ウェハ１２に垂直に照射し、前記圧電振動片ウェハ１２に反射され、前記ハーフミラー２４を透過した前記参照光３２の反射光３４を撮影し、撮影された画像中の前記反射光３４の強度の低い領域を、前記圧電振動片ウェハ１２内に形成されたエッチング欠陥１４として検出してなる。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の搭載精度を良好としつつ製造工程を低減することのできる圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】吸引用の開口部６０を有するステージ５６を備えたトレイ５０に圧電振動片３０を載せる搭載工程と、開口部６０に負圧をかけて圧電振動片３０をステージ５６に固定する吸着工程と、圧電振動片３０の入出力電極３６に導電性接着剤４０を塗布する塗布工程と、圧電振動片３０をステージ５６に吸着固定させた状態で、入出力電極３６とマウント電極とを導電性接着剤４０を介して電気的に接続する実装工程と、ステージ５６に圧電振動片３０を載せた状態で導電性接着剤４０を硬化させる硬化工程とを有し、実装工程ではトレイ５０におけるステージ５６の段差部５４を利用してパッケージベース１６に対する圧電振動片３０の搭載角度と搭載時の高さを定めることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動片の振動周波数を測定しながら調整することができると共に、振動周波
数の調整量を大きく採ることができ、振動周波数の経時変化が少ない圧電振動片及びその
製造方法を提供すること。
【解決手段】中央部が薄板化された振動部３１と、前記振動部の中央部に形成された励振
電極３２とを備えた圧電振動片３０の前記励振電極上に振動周波数調整膜３４を備える。
これにより、圧電振動片の振動周波数を所定値よりも常に低くすることができるため、圧
電振動片の振動周波数の調整時には振動周波数調整膜の厚みを減少させるのみでよいので
、圧電振動片の振動周波数の調整量を大きく採ることができると共に、振動周波数の経時
変化を抑制することができる。 （もっと読む）