【課題】多結晶シリコンの製造工程等において発生するクロロシラン類のポリマーを、確実かつ安全に効率よく処理する。
【解決手段】クロロシラン類を含有するポリマーを処理するポリマー処理装置１０であって、加水分解の処理水Ｗ１を保持する液槽部２２と、液槽部２２の上部に接続された散水塔２４とを有する処理槽２０と、処理槽２０内に不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段７０と、散水塔２４の上部に接続され、下方に向けて開放した開口部４０ａを有するガス案内塔４０と、水封水Ｗ２を保持する水封槽５０と、を有し、ガス案内塔４０の開口部４０ａが水封水Ｗ２中に収容されることにより、処理槽２０の散水塔２４およびガス案内塔４０の内部気体が処理槽２０および水封槽５０によって水封されるとともに、不活性ガス供給手段７０によって処理槽２０内に不活性ガスが供給され、処理槽２０およびガス案内塔４０の内部が陽圧に維持される。 （もっと読む）

【課題】セメントキルン燃焼ガス抽気ダストから重金属を回収するにあたって、回収する重金属及び石膏の純度を高めることができるとともに、設備コスト及び運転コストを低く抑える。
【解決手段】セメントキルン５の窯尻５ａから最下段サイクロンに至るまでのキルン排ガス流路より燃焼ガスの一部を冷却しながら抽気する抽気装置６と、抽気装置により抽気された抽気ガスＧ１に含まれるダストＤ２を湿式集塵する、と同時に該抽気ガスに含まれる硫黄酸化物を除去し、湿式集塵及び脱硫により生成したスラリーＳ１に含まれる重金属がスラリーの液相に溶解するように、スラリーのｐＨを調整する湿式集塵機１１と、湿式集塵機でｐＨ調整されたスラリーを固液分離する第１の固液分離機２１と、第１の固液分離機で分離されたろ液Ｗ１から重金属を分離回収する第２の固液分離機２３とを備えるセメントキルン燃焼ガス抽気ダストの処理装置１等。 （もっと読む）

【課題】 三フッ化塩素含有ガスの除害において、安価で閉塞が発生せず、かつＣａＦ_２の回収率が高い三フッ化塩素ガスの除害処理装置を提供する。
【解決手段】除害剤として固体アルカリ剤が充填されている乾式除害筒と除害剤として吸収液を具備している湿式除害塔を有し、
該乾式除害筒は、三フッ化塩素含有ガスを導入する導入口と乾式除害処理後のガスを排出する排出口を有し、該湿式除害塔は、該乾式除害筒の排出口から排出されるガスを導入する導入口と該湿式除害処理後のガスを排出する排出口を有し、
該乾式除害筒の排出口から排出されるガス中のフッ素成分を検出する手段と、該乾式除害筒の排出口から排出されるガスを湿式除害塔に導入する導入管と、を有することを特徴とする、三フッ化塩素含有ガスの除害処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】水素とトリクロロシランとを反応させてポリシリコンを製造する工程から排出される副生塩化水素含有排ガス中の塩化水素を回収するために使用するパージガスとしての水素ガスを、処理して水素源として利用する方法を提供する。
【解決手段】（１）ポリシリコンの製造工程から排出された排ガスを活性炭層に通すことにより塩化水素を吸着し、（２）塩化水素が吸着保持された活性炭層にパージガスとしての水素ガスを通して吸着された塩化水素を脱着し、（３）脱着された塩化水素及び水素を含むパージ排ガスを、例えばＰｄ／ＳｉＯ_２触媒などの塩素化触媒を充填した塩素化塔に通ぜしめて含有する水素化クロロシランを四塩化ケイ素に転化し、（４）転化された四塩化ケイ素を含むパージ排ガスを水酸化ナトリウム水溶液などの塩化水素吸収液と接触せしめて塩化水素並びに四塩化ケイ素を除去する。この処理方法で得られたパージ排ガスは、ヒュームドシリカ製造などの他の製造工程のための水素源としての利用することが可能である。 （もっと読む）

【課題】 排ガスおよび飛灰を処理するための、新規複合処理剤と、排ガスおよび飛灰を処理するための新規処理方法とを提供すること。
【解決手段】 消石灰と、水酸化アルミニウムまたはリン酸アルミニウムと、硫酸第一鉄・１水塩とを含有する複合処理剤を使用することにより、飛灰の水混練処理物中の重金属を安定化することができ、鉛、水銀、カドミウム、六価クロムの全ての溶出を効果的に抑制することができる。 （もっと読む）

【解決課題】多結晶シリコンの製造方法において、該反応炉から排出する該排出ガスから、塩化亜鉛及び亜鉛と四塩化珪素とを、分離し回収すること。
【解決手段】四塩化珪素蒸気と亜鉛蒸気を反応させて多結晶シリコンを製造するための多結晶シリコン製造用の反応炉から排出される排出ガスから、塩化亜鉛及び亜鉛と四塩化珪素とを分離して回収する分離回収装置であり、下方に向けて傾斜する逆円錐面状である冷却面と、該冷却面に該排出ガスを供給するための排出ガスの供給管と、該冷却面を冷却するための冷却手段と、該冷却面に沿って回転軸の周りを回転し、該冷却面に付着している粉体を掻き落すための回転翼と、を有し且つ下方に粉体の排出口が設けられている冷却部と、該冷却部に繋がり且つ上方に四塩化珪素蒸気の排出管が付設されている分離回収部と、を有することを特徴とする分離回収装置。 （もっと読む）

【課題】煤塵の埋立処分量を低減でき、かつアルカリ薬剤の反応生成物を含まない煤塵を溶融処理する廃棄物処理装置であって、装置の構成がコンパクトとなる廃棄物処理装置および廃棄物処理方法を提供する。
【解決手段】廃棄物処理装置１は、廃棄物を熱分解するとともに残渣を溶融するガス化溶融炉２と、該ガス化溶融炉２と集塵装置４との間でガス化溶融炉２からの排ガスへアルカリ薬剤を吹きこむアルカリ薬剤を吹きこみ排ガスに含まれる酸性物質とアルカリ薬剤との反応生成物を生成せしめるアルカリ薬剤供給装置３と、上記集塵装置４により捕集された上記反応生成物を含む煤塵を粗粒塵と微粒塵に分級し上記反応生成物を微粒塵側に分離する分級装置５と、粗粒塵を上記ガス化溶融炉２に戻す粗粒塵帰還手段６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置や液晶製造装置等から排出される有毒ガス中の有害成分を除外、回収する除外装置において、被処理ガスを導水管内に導入、混合する吸気管の詰まりを防止する。
【解決手段】導水管２内に吸気管１３を挿着し、該吸気管の下端１３Ｃから排出される有毒ガスＧと前記導水管内の水Ｗとを混合させる気液混合攪拌装置において、前記吸気管内に可撓性チューブ１８を挿着して該可撓性チューブの下端部１８ｃを前記吸気管の下端部に対向させるとともに、少なくとも前記吸気管の下端部側と前記可撓性チューブの下端部側とを離間させて振動間隙Ａを形成させることにより、気液混合に伴って前記可撓性チューブが振動してその下端部が吸気管内周面に衝突し、前記可撓性チューブ下端に付着した固形物が剥離され、吸気管の詰まりを防止できる。 （もっと読む）

【課題】難分解性のフッ素含有化合物を含むガスを確実に、効率よく無害化することが可能な処理方法、装置およびガス処理剤を提供することを目的とする。
【解決手段】フッ素含有化合物を含むガスを、炭酸カリウムが充填されたフッ素含有化合物反応容器中に加熱しつつ通気してフッ素含有化合物を分解する（フッ素含有化合物分解工程）。このような方法によれば、難分解性のフッ素含有化合物を含むガスを効率よく分解処理することができる。 （もっと読む）

【課題】フロンガス類等のハロゲン化合物を分解処理した際に発生する酸性ガスやゴミ焼却炉から排出される酸性ガス等の各種酸性ガスを中和して無害化するための酸性ガスの中和処理方法及びその装置を提供することを目的とする。
【解決手段】中和塔１１内に一定量充填した粒径１〜５ｍｍ程度の粒状の水酸化カルシウムを連続的又は間欠的に撹拌しながら、中和塔１１内に充填された水酸化カルシウムと接触するように一定量の酸性ガスを中和塔１１内に供給して通過させることによって、酸性ガスを中和処理する酸性ガスの中和処理方法と、そのための中和塔１１内に、酸性ガスの流入室１１ａと、中和剤１２を充填した充填室１１ｂとをそれぞれ隔成し、供給された酸性ガスが流入室１１ａを経て充填室１１ｂに供給される構成を提供する。 （もっと読む）