【課題】半導体製造装置から排出されたガスを洗浄することができる排ガス処理装置を提供する。
【解決手段】
排ガス処理装置１は、内部に液体３１が貯留されるチャンバー１０と、チャンバーに、チャンバーに貯留される液体の液面よりも上方に形成された空間に臨んで設けられたガス導入口２０及びガス排出口５０と、チャンバー内に設けられた隔壁部３０により画成され、ガス導入口及びガス排出口に連通するガス流路４０と、ガス排出口に接続され、チャンバーから排出されたガスが通過するガス排出路５１と、ガス排出路に介設され、チャンバー内を排気する排出手段とを備えた排ガス処理装置であって、ガス排出路の排出手段より下流側から分岐して前記ガス流路の一端側に連通する循環路６０を備えている。 （もっと読む）

【課題】ダイオキシンや大気汚染物質を環境規制値の以下に抑制できるようにし、かつ各種の廃棄物を熱分解処理する廃棄物の熱分解装置を提供する。
【解決手段】炉の内部の燃料と投入された廃棄物を空気吸込口４を通じて引き込む空気と反応し、熱分解されるようにしてガスにて排出させる熱分解炉１と、廃棄物が投入された後に閉じる上部ゲート１６と、上部ゲート１６との間に格納空間を形成し上部ゲート１６が閉じた後に開いて熱分解炉１に廃棄物を投入させる下部ゲート１８と、廃棄物の熱分解時に開いて熱分解炉１内の圧力を適切に調節するメインバルブ２２と、熱分解炉１内の圧力が予め設定された圧力値以上になれば開いてガスを排出させる補助バルブ２６と、熱分解炉１から排出されたガスを収容し、水中に曝気してガス中に含まれた有害物質を水に吸着されるようにし、フィルタ４６を介してガスを浄化させるガス浄化装置と含んで構成される廃棄物の熱分解装置。 （もっと読む）

【課題】 水酸化カルシウムを含有する除去剤を用いてフッ素（Ｆ_２）や三フッ化塩素（ＣｌＦ_３）のようなハロゲン元素からなるフッ化物のガスであるハロゲンガスや該ハロゲンガスとの反応により生成するフッ化物ガスを除去する場合、上記のように除去剤に含有する水分を蒸発させるより、蒸発させずに除去剤と、ハロゲンガス又はフッ化物ガスとを、反応させる方法より、さらに除去剤の単位質量あたりの処理量を多くできる除去方法を提供する。
【解決手段】 ハロゲンガス又はフッ化物ガスを含有する排出ガスを、水酸化カルシウムを主成分とする除去剤に接触させて、ハロゲンガスを固定して除去する方法において、該除去剤に水分を供給することを特徴とするハロゲンガス又はフッ化物ガスの除去方法。 （もっと読む）

【課題】試験用ヨウ化メチルガスを使用して放射性ヨウ素除去装置における放射性ヨウ素の除去効果を測定することができる除去効果測定システムを提供する。
【解決手段】除去効果測定システム１０Ａは、あらかじめ設定された供給量の試験用ヨウ化メチルガス２２をヨウ素ガス除去エアフィルタ１１の上流側から供給する試験用ヨウ化メチルガス供給ユニット１２と、ヨウ化メチルガス２２を供給した直後から所定時間が経過するまでの間、ヨウ素ガス除去エアフィルタ１１の下流側に流れる空気を採集する空気第１採集ユニット１３と、空気第１採集ユニット１３によって採集された空気に含まれるヨウ化メチルガス２２の濃度を測定する光音響ガスモニタとから形成されている。 （もっと読む）

【課題】四塩化ケイ素を亜鉛によって還元し、高純度シリコンを製造する亜鉛還元法シリコン製造において副生する反応排ガスを適正に処理・回収する処理装置を提供することを課題とした。
【解決手段】本発明は、亜鉛還元法によるシリコン製造に於ける生成排ガスの処理において、該生成排ガスを塩化亜鉛水溶液を循環した塔の上部から導入して吸収させるガス吸収溶解機構、該塩化亜鉛水溶液の循環機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濾過機構、該生成排ガスを吸収した塩化亜鉛水溶液の濃度調整機構、並びに前記処理を行った塩化亜鉛水溶液の保持機構を有する排ガスの処理装置である。 （もっと読む）

【課題】試験用ヨウ化メチルガスを使用してヨウ素ガス除去エアフィルタにおける放射性ヨウ素の除去効果を測定することができ、高い信頼性や高い信憑性でフィルタの放射性ヨウ素の除去効果を検証することができる除去効果測定システムを提供する。
【解決手段】除去効果測定システム１０Ａは、あらかじめ設定された供給量の試験用ヨウ化メチルガス２２をヨウ素ガス除去エアフィルタ１１の上流側から供給する試験用ヨウ化メチルガス供給装置１２と、試験用ヨウ化メチルガス２２を供給した直後から所定時間が経過するまでの間、ヨウ素ガス除去エアフィルタ１１の下流側に流れる空気に含まれる試験用ヨウ化メチルガス２２の濃度を測定する光音響ガスモニタ１４とから形成されている。 （もっと読む）

【課題】 多様な感染性医療廃棄物をまとめてかつ迅速に処理する。
【解決手段】 感染性廃棄物を熱分解炉Ａ内の上流側の処理槽から下流側の処理槽に向けて撹拌回転手段によって撹拌移行しながら加熱ヒーターにより加熱処理しながら熱分解による炭化処理する炭化処理工程と、上記熱分解炉の排気口から排出される排気ガス中のタールをタール除去装置Ｂによって除くタール除去工程と、タールが除去された上記排気ガス中の臭気を脱臭装置Ｃによって除く脱臭工程と、上記臭気が除去された上記排気ガス中に含まれる塵埃を脱煙装置Ｄによって除去する脱煙工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】第１処理対象物質Ｘの熱分解で生成される中間生成物質が、第２処理対象物質Ｙと爆発的に反応し、かつ、第２処理対象物質は、第１処理対象物質の熱分解によって生成される物質と反応して熱分解されるといった２種類の処理対象物質を安全かつ安定的に継続して効率的に熱分解する熱分解装置を提供する。
【解決手段】熱分解装置１０を、３つの熱分解空間４０、４２、４４と、第１熱分解空間４０および第２熱分解空間４２の上端部を連通する第１連絡路４８と、第２熱分解空間４２の上端部および第３熱分解空間４４の上端部を連通する第２連絡路５０と、第１熱分解空間４０および第３熱分解空間４４に設けられたヒータ２４と、第１処理対象物質導入路５２と、第２処理対象物質Ｙを第２熱分解空間４２の下端部に導入する第２処理対象物質導入路５４とで構成することにより、上記課題を解決できる。 （もっと読む）

【課題】フィードバック制御において、新たに高価な酸性ガス測定装置を導入せずに、酸性ガス測定装置の計測遅れによる酸性ガスの処理不良の改善並びにアルカリ剤の過剰添加を削減すること。
【解決手段】少なくとも２つの酸性ガス濃度の傾きの範囲を設定する工程と、少なくとも２つの傾きの範囲毎に酸性ガス濃度の制御目標値を設定する工程と、少なくとも酸性ガス測定装置の測定信号及び当該制御目標値に基づいてアルカリ剤の添加量を示す制御出力値を算出する工程と、を有し、制御目標値を設定する工程において、酸性ガス濃度の傾きの範囲が大きい場合（酸性ガス増加傾向時）に設定する制御目標値は、酸性ガス濃度の傾きの範囲が小さい場合（酸性ガス減少傾向時）に設定する制御目標値より小さい。 （もっと読む）

【課題】回収プロセス中のキセノン濃度を高める改良した減圧スイング吸着（ＶＳＡ）プロセスを与える。
【解決手段】次の工程を含む、Ｘｅ含有供給ガスからキセノンを回収するための方法：吸着材を有する吸着容器を与える工程；上記Ｘｅ含有供給ガスを上記吸着容器に供給する工程；上記吸着容器を、大気圧から大気圧未満の圧力に減圧することで排気する工程であって、上記排気工程は、次の２つを含む工程：（１）ガスの第一部分を排気すること、及び（２）上記大気圧未満の圧力がＰ１に達したときに、第一のキセノン富化ガスを回収すること；上記大気圧未満の圧力がＰ２に達したときに上記吸着容器をパージして、第二のキセノン富化ガスを回収する工程；及び上記第一のキセノン富化ガスと上記第二のキセノン富化ガスとを混合して、初期キセノン濃度より少なくとも２０倍超高い最終キセノン濃度を有する生成ガスを与える工程、ここで、Ｐ１はＰ２以上である。 （もっと読む）