【課題】
塗布膜厚ムラが小さなウェブを得ることができる塗料塗布装置を提供すること。
【解決手段】
ウェブ上の塗布膜厚を検出する塗布膜厚計と、その結果に基づいて塗布装置上流側にある搬送ロールの高さを調整して塗布膜厚を自動制御する塗布装置からなる構成を有する。 （もっと読む）

【課題】記録媒体に発生する筋むらを容易かつ確実に抑制することができる描画装置及び描画方法を提供する。
【解決手段】描画装置は、ワークＰに対して液体Ｌを噴射する走査型液体噴射ヘッド９と、ワークＰを吸着支持しつつ副走査方向に搬送するワーク搬送テーブル６と、ワーク搬送テーブル６に形成された吸引開口３０の内部に配置されて、ワークＰのうち吸引開口３０に接する領域の温度を他の領域における温度に近接させる温度調整手段３１，３２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】テーブルの温調を行う加熱機構と冷却機構として安価な装置を備えることにより、テーブルの温度が目標温度に集束する時間を短縮することのできる液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体噴射装置は、支持体上に液体を吐出する液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドの近傍に対向配置され支持体を支持するテーブル１９と、テーブルに接続された加熱装置および冷却装置１８を有し、テーブルの温度調整を行うテーブル温調機構６と、液滴吐出ヘッドおよびテーブル温調機構に駆動信号を供給する制御装置８と、を備え、制御装置は、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に高い場合には冷却装置を駆動させ、テーブルの温度が設定温度に対して相対的に低い場合には加熱装置を駆動させることにより、テーブルの温度が設定温度になるよう温度調整を行う。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の乾燥効率を高めて乾燥時間を短くすることができる乾燥装置および該乾燥装置を組み込んだ熱処理システムを提供する。
【解決手段】乾燥部４０のチャンバ４１内には、５個の上側熱風噴出部４５、６個の上側排気ボックス５６、５個の下側熱風噴出部５１および６個の下側排気ボックス５５が設けられている。塗布膜が形成された基材５は搬入口４１ａから搬出口４１ｂに向けて搬送される。上側熱風噴出部４５および下側熱風噴出部５１によって基材５の上下から熱風を吹き付けるとともに、上側排気ボックス５６および下側排気ボックス５５によって排気を行う。乾燥部４０のチャンバ４１内に供給する熱風の流量よりもチャンバ４１から排気する気体の流量を大きくすることにより、チャンバ４１内を大気圧よりも低い減圧雰囲気とし、溶剤の蒸発を促進して塗布膜の乾燥効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】基板の姿勢を安定に保ちつつ浮上搬送のゆらぎやうねりを補償して塗布膜の膜厚均一性を改善する。
【解決手段】このレジスト塗布装置では、浮上ステージ上で基板の左右両側の縁部を保持する各吸着パッド４２から見てパッド支持部材４０の反対側つまり外側の面に、各吸着パッド４２と同じ形状および同じ材質を有する被測定部材としてのダミーパッド４６を同じ高さ位置に取り付けている。そして、搬送方向（Ｘ方向）においてレジストノズル１８の吐出口１８ａ付近に監視点が設けられ、この監視点を通過する吸着パッド４２の吸着面高さ位置のプロファイルを光学的に監視するための監視部４８が備えられている。 （もっと読む）

【課題】洗浄時に洗浄液が環状フレーム押さえに当たってウエーハ上面に飛散することのない保護膜塗布装置を提供することである。
【解決手段】環状フレーム押さえ手段４９は、強磁性体からなる錘部９２と、錘部に連結され環状フレームを抑える爪部９４とを含む振り子体９０と、スピンナテーブルの外周部に配設されて振り子体を回動可能に支持する支持部８８と、爪部が環状フレームを押さえる押さえ位置と爪部が環状フレームを解放する解放位置との間で回動可能なように振り子体を支持部に回動可能に取り付ける振り子軸９５と、錘部に対面して支持部に固定され、爪部が解放位置に位置付けられた状態で錘部を所定の磁力で固定する永久磁石からなる錘固定部９６とを有する。スピンナテーブルの回転速度が所定速度以下の時には、永久磁石の磁力が振り子体の遠心力に打ち勝って錘固定部が錘部を固定することにより爪部が解放位置に位置付けられる。 （もっと読む）

【課題】成膜装置のメンテナンスの頻度を低減するとともに成膜材料の利用効率を向上することにより成膜コストの低減を図りつつ、高品質の膜を成膜する。
【解決手段】微粒子化した成膜材料１６０を基板２００上に堆積させて成膜する成膜装置１００である。筐体１５０と、筐体１５０内に成膜材料１６０を微粒子化した成膜ガスを噴霧する噴霧機構と、成膜材料１６０が筐体１５０の壁面の所定箇所に付着しないようにこの所定箇所の近傍に電界を生成させる電界生成機構とを備えている。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化及び基材の安定搬送に寄与できる印刷装置を提供する。
【解決手段】複数の処理装置と、複数の処理装置の間で基材を搬送する搬送部とを有する。搬送部による基材の搬送経路に臨んで設けられた除電部２０と、搬送部を制御して、処理装置に基材を搬送する際に、除電部を経由する搬送経路Ｒ１〜Ｒ５を辿らせる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】ダイコータで、ガラス基板とダイ間のクリアランスを全幅に渡って略均一に非常に小さくすることで、ガラス基板に非常に薄い塗布膜を形成できる塗布装置および塗布方法、並びにディスプレイ用部材の製造方法を提供する
【解決手段】スリット状の吐出口を有する塗布器から、塗布液を被塗布部材上に吐出して塗布膜を形成する塗布方法で、被塗布部材表面が高さＨだけエアー浮上されて保持されている被塗布部材に、塗布器の吐出口面がＨ−６０μｍ〜Ｈ＋５０μｍの高さに位置するよう塗布器を近接させ、吐出口より塗布液を吐出しながら、塗布器および被塗布部材の少なくとも一方を相対的に移動させて、被塗布部材上に塗布膜の形成を行う塗布方法。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける基板の浮上高や姿勢を最適化しつつ、浮上用高圧気体の消費効率を改善すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置における浮上ステージ１０は、搬送方向において塗布領域Ｍ_CTの前後に延びる搬入領域Ｍ_INおよび搬出領域Ｍ_OUTの浮上面をそれぞれ多数の浮上エリアに区画している。これらの浮上面には多数の噴出口１２配置されている。各々の浮上エリアにおける高圧気体の噴出圧力は噴出圧力制御部により独立に可変ないしオン・オフ制御されるようになっている。 （もっと読む）