【課題】改良されたスピンコーターシステムを提供する。
【解決手段】再循環スピンコーターシステムは、スピンコーティングボウル１２を備え、このスピンコーティングボウル１２は、再循環排液口２２、およびこのスピンコーティングボウル１２の内側壁２８の上端に付随する湿潤流体チャンバ３０を備える。この湿潤流体チャンバ３０は、側壁湿潤流体を、このスピンコーティングボウル１２の内側壁２８に分配するように構成されている。映像システムは、品質管理および加工片の位置決めのために、スピンコーティングボウル内の加工片の画像を捕捉するように構成されている。光源の環状アレイが、スピンコーティングボウル１２の面を囲み、そして光学制御のためにスピンコーティングボウル１２の内部を照射するように構成されている。映像システムは、品質管理と加工片位置決めとの両方のために利用され得る。 （もっと読む）

【課題】露光装置の生産効率を落とさない塗布、現像装置を提供すること。
【解決手段】塗布膜が形成された、露光前の基板を一旦仮置きする仮置き部と、基板の搬送経路における、基板が置かれるモジュールについてメンテナンスを行うために、当該上流側の基板の搬送を停止する時間の長さを設定するための停止時間設定部と、前記仮置き部に置かれた基板の枚数が前記停止時間の長さに応じた、前記処理ブロックによる基板の処理枚数に達したか否かを監視し、達した後に仮置き部の上流側の基板の搬送を停止するように制御信号を出力する制御部と、を備えるように塗布、現像装置を構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、長尺状のシートの蛇行を修正することができる蛇行修正方法を提供する。
【解決手段】 本発明の蛇行修正方法は、塗布乾燥層1c、1dが形成されている長尺状の中間シート１の蛇行を修正する蛇行修正方法であって、乾燥炉４内に中間シート１を挟んだ両側位置にガス供給部材５を配設し、このガス供給部材５からガスを中間シート１に向かって吹き付けると共に、蛇行検知手段６によって中間シート１の幅方向における適正移行位置Ｂからのずれを検出し、この検出されたずれに基づいてガス供給部材５を変位させて、ガス供給部材５から放出されたガスが中間シート１の表面において中間シート１が適正移行位置Ｂに修正、移動される方向に気流を生じさせて中間シート１を適正移行位置Ｂに復帰するように移動させて蛇行を修正することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】塗布ユニットが固定されている場合であっても、口金部の交換を容易に行うことができ、また、口金部の交換に伴うコストアップを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を浮上させる浮上ステージと、浮上ステージから基板を浮上させた状態で浮上ステージに沿って基板を搬送する基板搬送部と、塗布液を吐出する口金部が着脱可能に支持されるとともに、口金部が浮上ステージに対向した状態で固定して設置された塗布ユニットと、を備えており、浮上ステージ上に浮上した基板を基板搬送部により塗布ユニットに対して移動させつつ口金部から塗布液を吐出することにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、口金部を載置可能な口金移載ユニットをさらに備え、この口金移載ユニットが口金部と対向する口金受取位置と口金部を交換する口金交換位置とに移動可能である構成とする。 （もっと読む）

【課題】焼結体に希土類化合物を含むスラリーを塗布した場合に、焼結体の場所によるスラリーの厚みのばらつきを低減すること。
【解決手段】ノズルヘッド８０は、スラリー流出通路８２と、キャビティ８３と、スラリー導入通路８８と、スラリー供給通路８９とを含む。キャビティ８３は、複数の壁面で囲まれており、スラリーを溜めるとともに、スラリー流出通路８２が開口している。そして、キャビティ８３は、幅方向両側の壁面が、それぞれ２つの曲面を一つの平面で連結した形状である。また、スラリー供給通路８９は、スラリー導入通路８８と交差して接続される。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で安価なボルト用緩み止め剤の塗布に供するボルト支持装置を提供すること。
【解決手段】往復駆動機構Ｃを構成するエアシリンダ１６が作動してロッド１７が伸張すると、支持装置本体部Ｂに設けた左右移動体７が複数のボルト１０の頭部１０Ａを支承した状態で右方へ移動する。そして、タイマが所定時間を計時すると、前記エアシリンダ１６が作動してロッド１７が収縮すると、前記左右移動体７が左方へ移動する。このとき、左右移動体７の左右方向への移動に伴い、各ボルト１０の頭部１０Ａが転がることとなって、各ボルト１０は正転方向又は逆転方向に回動する。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける吸引口の目詰まりを自動的かつ確実に検出する。
【解決手段】浮上ステージの塗布領域において吸引口１８が内奥の比較的狭いガス通路１８ａに異物Ｑが挟まって目詰まりを起こしているときは、その付近で基板浮上高Ｈ_Gが局所的に設定値Ｈ_Sよりも高くなる。浮上高監視部は、監視ライン上のどこかで基板Ｇの浮上高Ｈ_Gが浮上高設定値Ｈ_Sを定常的に（基板Ｇが通過している間）超えているときは、光ビームＬＢが基板Ｇにより遮られることから、この異常事態を検知してコントローラに通報することができる。コントローラは、浮上高監視部からそのような基板浮上高に関する異常通報のモニタ信号を受け取った時は、浮上ステージの塗布領域において少なくともスリットノズル１４の直下付近で相当な数の吸引口１８が目詰まりを起こしていると判定する。 （もっと読む）

【課題】水系塗料を用いて給紙ローラーを塗装する塗装方法を提案すること。
【解決手段】給紙ローラーの塗装方法は、水平な姿勢の給紙ローラー本体１００をその中心軸線回りに回転させながら、第１ノズル４１を用いて略水平方向から水系塗料を吹き付けて、当該給紙ローラー本体１００の外周面に下地塗膜層を形成する。次に、水平な姿勢に保持した給紙ローラー本体１００Ａをその中心軸線回りに回転させながら、その下地塗膜層の表面に第２ノズル４２を用いて水平方向から粉体を吹き付けて粉体層を形成する。次に、水平な姿勢に保持した給紙ローラー本体１００Ｂをその中心軸線回りに回転させながら、粉体層の表面に第３ノズル４３を用いて略水平方向から水系塗料を吹き付けて、当該粉体層の表面を覆う表面塗膜層を形成する。 （もっと読む）

【課題】整列コンベヤの全長が長く成ってしまう。
【解決手段】整列コンベヤ１は、正逆駆動が可能で駆動距離を制御可能とし、下流側にストッパー10を有し、上記整列コンベヤ１の上方に配設された塗布手段２は、移動手段３と、該移動手段３の下部に上下方向に移動可能に配設された昇降部４と、該昇降部４の下部に配設された複数の刷毛５、5a…と、上記整列コンベヤ１側に設置された貯留槽６、6a…とを有し、上記整列コンベヤ１の長さを、天板Ｔ、Ｔａ…の搬送方向の幅と同一又は若干短いストロークだけ移動可能に設定すれば、複数枚の天板Ｔ、Ｔａ…を隙間無く配列しても、整列コンベヤ１により天板Ｔ、Ｔａ…を往復移動させることで、全ての天板Ｔ、Ｔａ…の全ての生地Ｗ、Ｗａ…に艶出し液を塗布することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】塗布膜の膜厚のバラつきを抑えること。
【解決手段】第一浮上量で基板を浮上させる第一浮上部、及び、第一浮上量よりも小さい第二浮上量で基板を浮上させる第二浮上部、を有し、第一浮上部と第二浮上部との間で基板を連続的に搬送する基板搬送部と、第二浮上部において第二浮上量で浮上する基板に液状体を塗布する塗布部と、第一浮上部と第二浮上部との間を移動する基板の浮上量を調整する浮上量調整部とを備える。浮上量緩和領域ＲＣは、塗布浮上領域ＴＣの上流側に設けられた上流側緩和領域（上流側調整部）ＲＡと、塗布浮上領域ＴＣの下流側に設けられた下流側緩和領域ＲＢとを有している。浮上量緩和領域ＲＣは、第一浮上部である基板搬入領域と第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣとの間、及び、第二浮上部である塗布浮上領域ＴＣと第一浮上部である基板搬出領域との間、でそれぞれ基板の浮上量が急激に変化するのを緩和する部分である。 （もっと読む）