【課題】気密室８の設備の製造コスト及び置換ガスＧのランニングコストを低減できると共に、シート上に位置ズレさせることなく正確に重ね塗りできること。
【解決手段】シートの巻出装置２と、エンドレス状のシート搬送用外周面３ａを所定シート走行速度で走行するシート搬送装置３と、シートの巻取装置４と、シート案内用ガイドロール５と、シート搬送装置３の外周面３ａより外側に、シート走行方向Ｅへ間隔を開けて配置した複数台の塗工装置６と、シート搬送装置３の外周面３ａの外側で、塗工装置６から離れて塗工装置６よりもシート走行方向下流側に配置した定着装置７と、外部Ｆと気密状態に区画した室内８ａにこれら巻出装置２乃至定着装置７を収納配置して置換ガスＧを充満させる密封室８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ジェットエンジンシャフト等のように径に対して長い長さを有する筒体の特に内表面に一定膜厚の塗装膜を安定して形成できるようにする。
【解決手段】防爆ブース５内の支持台２上に水平に支持した筒体１を内面塗装機３及び外面塗装機４により塗装する筒体の塗装設備であって、筒体１の一端延長上における防爆ブース５の天井部に外部の空気を供給する給気口２８を設け、防爆ブース５における筒体１の他端延長上に吸引口２９を備えた隔壁３０を介して吸引室３１を形成すると共に、吸引室３１に吸引ファン３２を設け、吸引ファン３２の駆動により防爆ブース５内に吸引口２９に向かうガス流れを形成する。 （もっと読む）

【課題】 塗装室に供給する空気の加熱及び乾燥炉に供給する乾燥用空気の加熱に対する熱源供給方式を改良することで省エネルギーを図った塗装装置を提供する。
【解決手段】 塗装室３と、乾燥炉５と、塗装室３に温度と湿度を調整した空気を供給する給気装置８と、乾燥炉５に高温の乾燥用空気を供給する乾燥用空気循環供給装置１０とを備え、乾燥用空気循環供給装置１０は、乾燥炉５から吸引した乾燥用空気をバーナーユニット１３の燃焼ガスにて加熱し、加熱された乾燥用空気を熱交換器１５に通して温度調整した後乾燥炉５内に供給し、給気装置８は、外気を冷水と熱交換する冷却用熱交換器２０に通して冷却した後、乾燥用空気循環供給装置１０の熱交換器１５に通して加熱し、その後蒸気源３１から水蒸気が供給される加湿器２９にて加湿して塗装室３内に供給するようにした。 （もっと読む）

【課題】吐出ヘッドにより液体を吐出する方法を用いて、半導体デバイスの配線を適切に形成する。
【解決手段】導電性の配線が形成される半導体デバイス５２の製造工程において、配線の少なくとも一部を形成する配線形成装置１０であって、導線性物質を含む液体を吐出するノズルを有し、半導体デバイス５２において配線が形成される領域へ当該ノズルから液体を吐出する吐出ヘッド１８と、吐出ヘッド１８及び半導体デバイス５２を内部に収容するチャンバ部１２と、チャンバ部１２内の気圧を大気圧よりも低い圧力に減圧する減圧手段である真空ポンプ１６とを備え、吐出ヘッド１８は、チャンバ部１２内が減圧された状態で、半導体デバイス５２へ液体を吐出する。 （もっと読む）

【課題】大型基板の塗布処理において低コストで適切なダウンフローを形成する技術を提供する。
【解決手段】ＦＦＵ６１の外側周囲に第１板状部材６２を設置する。また、ステージ３の周囲に排気容器７１を配置するとともに、当該排気容器７１の外側周囲に第２板状部材を配置する。また、大型基板９０を搬送するハンド９０１の基板搬送経路と干渉しないように、搬送側（−Ｙ側）に設けられる第１板状部材６２の下端の位置を搬送経路よりも上方となるように設定する。このような基板処理装置１において、大型基板９０の塗布処理を行う際には、ＦＦＵ６１から供給するエアの気流（ダウンフローＤＦ）の勢いが載置面でほぼ消失するように、エアの供給量を調整する。この勢いが消失したエアは、下方に設置された排気容器７１に導かれて排気される。 （もっと読む）

【課題】引火性の溶媒を用いた基材表面への成膜において、基材表面へのゴミの付着を抑制する成膜方法および成膜装置を提供する。また、検出欠陥を少なくする放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】成膜装置６００は、膜成分および引火性の溶媒を含む溶液を基材６０１の表面に塗布し、基材表面に膜を形成する。この成膜装置６００では、基材表面に溶液を塗布する塗布室６０２が略密閉され、クリーンエア供給手段６１３から塗布室６０２にクリーンエアが供給される。そして、塗布室内の溶媒の蒸気濃度が燃焼下限値未満の状態で、コロナ放電器６１１により生成されるイオンが基材表面に吹き付けられて基材表面が除塵され、除塵された基材表面に溶液が塗布される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、インクジェット法を用いて基板上にレジスト薄膜を形成するフォトレジスト塗布装置及びフォトレジスト塗布方法並びにこれにより薄膜構造体を製造する方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、溶液容器から供給したレジスト溶液を下方へ吐出するノズルを一定間隔で複数設けたインクジェット・ヘッドを２列互い違いに配置したインクジェット吐出機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出対象であるウエハを載置した搬送テーブルを水平に移動させる基板搬送機構と、前記インクジェット吐出機構の吐出と前記基板搬送機構の移動を制御する制御機構とからなり、前記ウエハの特定の回路部分にのみ１回の塗布動作でレジスト薄膜を形成することを特徴とするフォトレジスト塗布装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】閉空間内に流れる気流の影響を受けて、塗装ムラが発生したり、前記気流中の異物が被塗工物に混入したり、また、塗料中における固形分の凝集によって発生した異物が被塗工物に付着したりすることを防止した、局所クリーン方式による塗膜形成装置を低コストで供給する。
【解決手段】塗膜を形成するエリアとその外部とを遮断して閉空間１Ａをつくり出す横断面矩形の筺体１で構成される、無端状ベルト形状の被塗工物の外周に塗料で塗膜を形成する、塗膜形成装置１００において、前記筺体１の上壁の中央部分から前記閉空間１Ａ内にクリーンな空気を給気するファンフィルタユニット３と、前記ファンフィルタユニット３から給気された空気を前記筺体１Ａの側壁の内側へ流すように配置された第１の整流板１８ａと、前記第１の閉空間１Ａ内の空気を外部に排気する排気ファン４と、が設けられているものとする。 （もっと読む）

【課題】サブキャリッジの交換作業開始から各キャリッジを描画位置に配置するまでに要する時間を短縮するとともに、チャンバ内を効率よく温度調節できるパターン形成装置を提供する。
【解決手段】液滴吐出装置１の部屋２を第１室Ｚ１と第２室Ｚ２とに区画する隔壁３を設けた。隔壁３は、第１室Ｚ１と第２室Ｚ２との間を各キャリッジが往復移動可能に、且つ、重量測定ユニット５４と第１キャッピングユニットＣＵ１とを第２室Ｚ２に配置させる位置に設けた。第１ドアＤ１が解錠状態のとき、第１室に位置しているキャリッジと、第２〜第６キャッピングユニットＣＵ２〜ＣＵ６と停止状態にした。従って、第２室Ｚ２における機能液の初期充填などの描画準備と第１室Ｚ１における作業者によるサブキャリッジの交換作業とを同時期に行うことができる。また、温度調節を行う空間が第２室Ｚ２だけで済むので温度調節を効率よく行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 ノズルの詰まりが低減された微細液滴塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 容器と、容器内に設けられ、溶質と溶媒とを含む塗布液を微細液滴に加工して前記容器内に置かれた基板上に塗布する微細液滴塗布手段と、容器内を、溶媒の蒸発を抑制する雰囲気に保持する雰囲気調整手段とを具備する。 （もっと読む）