【課題】全印刷装置の塗工機（ロールによる印刷機、インクジェット、スリットコートすべての印刷）に対して、環境を調整することができ、液状原料により形成される高機能な機能膜や電気光学部品に、雰囲気中の物質が不純物としての混入や、酸化等の機能劣化を防ぐことができる液状原料塗工装置、液状原料塗工方法、およびそれを用いた基体を提供する。
【解決手段】基体上に液状原料を塗工して機能性膜もしくは電気光学機能を有する積層構造体を形成する液状原料塗工部と、前記基体を固定する台座と、前記液状原料塗工部と前記台座とを相対的に移動させる移動機構とを備えた液状原料塗工装置であって、前記液状原料塗工部と前記台座を覆う気密容器とにより塗工領域を形成し、該塗工領域内の雰囲気を調整する雰囲気調整機構を有し、前記気密容器が液状原料塗工部から隔離できることを特徴とする液状原料塗工装置、液状原料塗工方法、およびそれを用いた基体。 （もっと読む）

【課題】比較的に簡単な構成の空調ユニットを用いて塗装時と非塗装時とで空気の流量を的確に切り替え、塗装を効率よく行うことができる塗装ブースを提供すること。
【解決手段】塗装ブース１における天井部に空調ユニット２０が配置される。空調ユニット２０のベースパネル２３における中央部に第１開口部材２４が配置されるとともに両端部には第２開口部材２５が配置されている。各開口部材２４，２５にはその開口面積を変更する空調用ダンパー２６，２７が設けられている。空調用ダンパー２６，２７は連結棒２９を介してエアシリンダ２８に接続されており、エアシリンダ２８によって、連結棒２９が第１位置及び第２位置の間を可逆的に移動される。その移動に伴い各空調用ダンパー２６，２７が変位することで各開口部材２４，２５の開口面積が変更される。 （もっと読む）

【課題】キャリッジ周辺の空気を排気するとともに、該キャリッジ周辺を簡素化したパターン形成装置を提供する。
【解決手段】Ｙ軸ガイドレール１８に沿って設けられているとともに、液滴吐出ヘッドから吐出された液滴の検査を行う描画検査カメラ装置８０において、検査カメラＣＡに電気的に接続されたケーブル８７を収容するケーブルベアダクト部８１Ｂの両端部に排気ポートＰ１を設けた。また、カメラ移動テーブル部８１Ａの両端部に排気ポートＰ２を設けた。そして、排気ポートＰ１及び排気ポートＰ２から空気を吸引させた。従って、引き出し孔８５とガイド孔８２からキャリッジ周辺の空気を吸引して排気することによって、液滴吐出装置周辺の空気をキャリッジ周辺に導入することができる。その結果、液滴吐出ヘッドの温度上昇を抑制し、機能液の温度を一定にすることによって、液滴吐出ヘッドの吐出量を均一にすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、ワークを破損、変形させることなくセットテーブルに対しワークを浮かせることができる液滴吐出装置を提供することを課題としている。
【解決手段】ワークＷに対し、機能液滴を吐出して描画処理を行うインクジェット方式の機能液滴吐出ヘッド１７と、描画処理に際し、ワークＷをセットするセットテーブル２１と、セットテーブル２１に組み込まれ、セットテーブル２１の表面から放出ガスを放出してワークＷに吹き付けることでワークＷを浮上させるワーク浮上手段と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】記録媒体の塗布領域境界部で生じる輝度ムラを良好に抑制する記録装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】記録装置１０は、基板１１を配置する処理ステーション１６と、インクジェット方式で記録媒体を塗布する複数の記録素子１８を備えた記録媒体塗布部１３と、記録媒体の塗布雰囲気を制御する雰囲気制御ユニット１４と、を備える。雰囲気制御ユニット１４は、処理ステーション１６を囲むように設けられた処理室２０と、供給された主溶媒３０を気化させる主溶媒気化部２１と、処理室２０と主溶媒気化部２１との間で気化された主溶媒３０を循環させる循環経路部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に塗布した塗布液を風紋などを生じることなく短時間の内に乾燥せしめる塗布装置を提供する。
【解決手段】密閉チャンバー１内に基板Ｗを載置する支持ピン２上と天板（整流板）３を設け、密閉チャンバー１は側面に外部に配置したロボット４との間で基板Ｗの受け渡しを行うための開口が形成され、この開口をシリンダユニット６の駆動で上下する蓋体７で開閉するようにし、前記天板３は複数に分割されており各々独立してシリンダユニット１２，１３によって昇降動せしめられる。 （もっと読む）

【課題】新品の処理液に交換せずに、吸湿性薬液の水分上昇率を抑制することができる吸湿性薬液による浸漬処理方法を提供すること。
【解決手段】メタノールを含むようなコート液や洗浄液のような吸湿性薬液による浸漬処理方法。浸漬槽１２が配された浸漬処理ステーションに被処理物を搬入し、浸漬槽に貯留された吸湿性薬液を用いて被処理物の浸漬処理をして、浸漬処理室から被処理物を搬出する浸漬処理方法。吸湿性薬液の上面空気層Ａの湿り空気を、大気を除湿処理して調製した乾燥空気に置換して、吸湿性薬液の上面空気層Ａを設定絶対湿度に維持する。 （もっと読む）

【課題】スループットの向上及び塗布膜厚の均一性の向上を図れるようにした基板処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板であるウエハＷを回転可能に保持するスピンチャック５０と、スピンチャックによって保持されたウエハの表面にレジスト液を供給する塗布液供給ノズル５２と、スピンチャックと塗布液供給ノズルを収容する処理室４０と、ウエハに塗布液を供給する前のウエハを所定の温度に冷却する冷却プレート５６と、塗布液が塗布されたウエハを所定温度に加熱する加熱プレート５８と、処理室、冷却プレート及び加熱プレートとの間でウエハを搬送する搬送手段と、を具備する基板処理装置において、処理室、冷却プレート及び加熱プレートを外気と区画し、少なくとも処理室に、空気より動粘性係数の高いガス（Ｈｅガス）の供給源６８ｂを有するガス供給機構６０を接続して、処理室内をＨｅガスの所定濃度に維持する。 （もっと読む）

【課題】機能液滴吐出ヘッドによる液滴吐出処理に影響を与えることなく、装置カバー内の換気を行うことができる処理装置および処理装置の換気方法を提供する。
【解決手段】インクジェット方式の機能液滴吐出ヘッドにより、前部で液滴吐出処理を行なう処理装置本体と、処理装置本体を支持する機台２１と、機台２１上に組み上げられたカバー枠およびカバー枠の各面に取り付けた複数のパネル体を有し、処理装置本体を収容する装置カバー２６と、排気手段に連なり、装置カバー２６内の雰囲気を排気する排気口２３４と、を備え、各パネル体は、カバー枠に対し隙間２１９を存して取り付けられ、排気口２３４は、処理装置本体の後方に配設されている。 （もっと読む）

【課題】車両の塗装に使用する塗料が溶剤系から水性系塗料に変ったのに伴い、塗装面の乾燥に時間が掛かるようになったので、乾燥むらを生じないと共に効率良く乾燥できるような車両用塗装ブースの乾燥装置を提供する。
【解決手段】横長の空気吹き出し口３ａを有するノズル３を、該吹き出し口３ａを上下に揺動可能にノズル保持器５に枢着し、更に該ノズル保持器５を上下及び左右に移動可能に枠体２に係着した車両用塗装ブースの乾燥装置を形成した。 （もっと読む）