【課題】易酸化性の金属を含む塗布膜の膜質の低下を抑えることができる塗布装置及び塗布方法を提供すること。
【解決手段】易酸化性の金属を含む液状体を基板に塗布する塗布部と、前記塗布部によって前記液状体の塗布を行う塗布空間及び前記液状体の塗布された前記基板の塗布後移動空間を囲むチャンバと、前記チャンバ内の酸素濃度及び湿度のうち少なくとも一方が閾値を超えたときに前記液状体を前記チャンバ内雰囲気から隔離させる隔離機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布により発生する汚染物質の拡散を防止しつつ、塗布スペースのクリーン度を確保し、基板へのパーティクルの付着を抑制する塗布装置を提供する。
【解決手段】基板１およびノズルヘッド１３のノズル噴出口を囲むように第１のブース１２を設け、かつ第１のブース１２を囲むように第２のブース１４を設置し、第１のブース１２内の圧力を第２のブース１４内の圧力より高くすると共に、第２のブース１４内の圧力を第２のブース１４外の圧力より低くする。 （もっと読む）

【課題】待ち時間による生産性の低下を招くことなく、吐出ヘッドの温度変化に起因する吐出バラツキを防止した、製膜装置及び製膜方法を提供する。
【解決手段】基板Ｐを載置するステージ２と、吐出ヘッド３と、吐出ヘッド３のメンテナンスを行うメンテナンス装置５、６、７と、これらを収容するチャンバー８とを備えた製膜装置１である。チャンバー８内には、描画エリアＥ１とメンテナンスエリアＥ２とが設けられ、描画エリアＥ１とメンテナンスエリアＥ２との間に吐出ヘッド３を移動させる搬送装置２５が設けられている。チャンバー８には、吐出ヘッド３がメンテナンスエリアＥ２に位置させられている間のメンテナンスエリアＥ２の温度を、吐出ヘッド３が描画エリアＥ１に位置させられている間の描画エリアＥ１の温度に対して、同じかこれより高くなるように調整する温度調整手段５６が設けられている。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される機能液の吐出量を安定化させて、製品品質の低下を防止する。
【解決手段】機能液を吐出するノズルを有する液滴吐出ヘッド５を備えると共に、気流供給手段２００から供給される気流Ｙに晒される液滴吐出装置であって、動作することによって発熱する発熱部１１を備え、該発熱部１１が上記気流供給手段２００と上記液滴吐出ヘッド５との間を避けて配置されている。 （もっと読む）

【課題】特別な窒素ガスチャンバー等を用いることなく、簡易な構成で、不活性ガスの使用量を少なくすることができる電子線照射装置を提供する。
【解決手段】照射室２０の内部には、被処理物に電子線を照射する処理が行われる照射空間２１が含まれている。電子線発生部１０で発生した電子線は、照射窓部３０を介して照射空間２１内に取り出される。被処理物は、搬送装置４０により、照射空間２１を通過するように搬送される。照射空間２１は、照射窓部３０と、照射空間２１を通過した電子線を捕捉するビームキャッチャー５０と、被処理物の搬送を妨げることなく、電子線の照射方向に略平行に設けられた外枠部２１０とにより囲まれた空間として構成される。ガス供給部６０は、電子線照射処理の際、照射空間２１内に不活性ガスを供給することにより、照射空間２１内の照射雰囲気を不活性ガス雰囲気とする。 （もっと読む）

【課題】ノズルが吐出した接着剤から生じるガスを効率よく除去することができる布接着装置を提供する。
【解決手段】支持部４０には、透明な板状のカバー部材５１が設けてある。カバー部材５１の板面は、布の接着作業時に、ノズル４５と操作者との間に位置する。カバー部材５１は、ノズル４５から操作者側への気体の直接の流動を遮断する。また、カバー部材５１には第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサを取り付けている。台座部１１は、ノズル４５の正面側下方に送出ファン５６を備えている。送出ファン５６は、操作者側から空気を取り込み、ノズル４５へ向けて送出する。送出ファン５６の出力を制御するＣＰＵは、第一ガスセンサ５３及び第二ガスセンサが検出したガスの濃度の少なくとも一方が所定のしきい値以上となると、送出ファン５６の出力を大きくする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、作業員が作業する作業エリア部が高温化することを抑制できる塗布装置を提供する。
【解決手段】塗装工場１０では、作業員５が作業する作業エリア部３１は、塗料４３が塗布されたボデー２０を乾燥する乾燥炉５１と乾燥炉５１を出たボデー２０の熱を放熱する待避エリア部５２とが設けられる階よりも下の階に設けられる。 （もっと読む）

【課題】塗布液などのアンダーフィル剤の物性の変化を最小限に安定化してチップ部品と基板の間隙にアンダーフィル剤を充填することができるディスペンス装置を提供する。
【解決手段】チップ部品と基板の間隙に充填される塗布液４が貯留されている液貯留部１０と、前記液貯留部１０に配管１２を介して接続され、チップ部品が実装された基板に前記塗布液４を充填するディスペンサー１１を備えたディスペンス装置１であって、前記液貯留部１０に貯留される塗布液４の保管温度を一定にする温度調整手段２２を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外気の温湿度を調整して塗装ブース３０に供給する空調空気を生成する場合において、外気の状態点が目標温湿度線に対して低湿度側にある場合に、目標状態点を適切に設定して、エネルギーの消費量を出来る限り低減する。
【解決手段】外気のエンタルピと当該外気に噴霧される水のエンタルピとが異なるときに、該水のエンタルピに応じて、外気のエンタルピと等しい等エンタルピ線と目標温湿度線との交点に設定した目標状態点を補正する。 （もっと読む）

【課題】処理室内部の雰囲気が外部に漏洩することを確実に防止することができるとともに、処理室内のメンテナンスを外部から容易に行うことができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】塗布処理室２１は、縦フレームＦａを含むフレームにより形成された開口部２１ｚを有する。フレームには開口部２１ｚを開閉可能にメンテナンス用扉Ｄが設けられる。開口部２１ｚを取り囲むように、フレームに溝付きトリム５０１が設けられる。溝付きトリム５０１は、開口部２１ｚがメンテナンス用扉Ｄにより閉塞された状態でメンテナンス用扉Ｄに接触することによりメンテナンス用扉Ｄに対向する溝５０１ｇを有する。開口部２１ｚがメンテナンス用扉Ｄにより閉塞された状態で、溝付きトリム５０１の溝５０１ｇとメンテナンス用扉Ｄとにより形成された空間の雰囲気が吸引ユニットにより吸引される。溝５０１ｇの内側の空間が外部に対して陰圧に保たれる。 （もっと読む）