【課題】幅広部と微細部とを有する膜パターンの膜厚を簡単に制御して均一化することが可能な膜パターン形成方法、及びこのような膜厚が均一な膜パターンを備えることにより、高性能なデバイスの製造方法、表示品質の高い電気光学装置、並びに電子機器の提供をする。
【解決手段】機能液を基板上に配置して所定の膜パターンを形成する方法であって、前記基板上に、幅広部と、当該幅広部と接続された微細部とを有するパターン領域を形成するパターン領域形成工程と、前記幅広部に前記機能液を選択的に吐出することにより、前記パターン領域に機能液を配置する機能液配置工程と、前記幅広部から前記微細部に向かう方向に温度勾配を付与しながら機能液を乾燥させることにより、膜パターンを形成する乾燥工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】被塗布面上の異物に起因する膜厚ムラを十分に低減させることができるスピンコート装置およびスピンコート方法を提供する。
【解決手段】被塗布物９が載置され、前記被塗布物９と一体化された状態で回転されるテーブル２と、前記被塗布物９に塗布液を供給する塗布液供給手段４と、前記テーブルを回転させる回転手段５と、塗布液供給手段４内の塗布液を加熱する塗布液加熱手段６と、前記被塗布物９を加熱する被塗布物加熱手段８とを備えているスピンコート装置とする。 （もっと読む）

【課題】吐出した液滴の位置ズレや基板の熱的損傷を回避して、液滴からなるパターンの均一性を向上させたパターン形成方法、液滴吐出装置及び液晶表示装置を提供することである。
【解決手段】第一ヒータＨ１と第二ヒータＨ２が、それぞれ吐出ヘッド４０の主走査方向（反Ｘ矢印方向）と主走査方向の反対方向（Ｘ矢印方向）に配設される。そして、第一ヒータＨ１が相対向する第一加熱領域ＨＡ１を第一加熱温度（吐出温度の近傍）に昇温する。また、第二ヒータＨ２が、相対向する第二加熱領域ＨＡ２を第一加熱温度よりも低い第二加熱温度に昇温する。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を防止しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１７の駆動による液滴吐出に伴って、供給流路１０４を介して機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する真空パック形式のパック容器１１１と、パック容器１１１を密閉状態で収容する密閉容器１１５と、密閉容器１１５に連通し、密閉容器１１５内の圧力を調整する圧力調整手段１４２と、密閉容器１１５内の圧力を検出する圧力検出手段１１６と、圧力検出手段１１６の検出結果に基づいて、密閉容器１１５内の圧力が一定になるように圧力調整手段１４２を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】離型剤塗布よる金型に対する冷却を適正に行い、離型性を高める。
【解決手段】鍛造成形加工用の下型１および上型３が成形加工後に型開きした状態で、これら相互間に離型剤噴射ノズル５を配置し、その各噴射口９ａ〜９ｅおよび１１ａ〜１１ｅから、下型１および上型３の対応する各部位１ａ〜１ｅおよび３ａ〜３ｅに向けて離型剤を噴射する。この際、下型１および上型３の各部位１ａ〜１ｅおよび３ａ〜３ｅに個別に設けた温度センサ１３の検出温度に応じて、離型剤の噴射時間や噴射圧力、離型剤噴射ノズル５の配置といった噴射条件を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 インク吐出部近傍における空間の煩雑化を抑制することで、それぞれの配管やケーブル類の取回し及び脱着、インク吐出ヘッドの手動位置調整等を容易に行うことを可能とする。
【解決手段】 吐出部は、複数のインク吐出ヘッド１に対して低温流体の供給経路および排出経路を並列式でなく直列式にし、隣接するインク吐出ヘッド１の間をつなぐ低温流体直列用配管１５を設け、両側のインク吐出ヘッド１に低温流体ヘッド供給配管２と低温流体ヘッド排出配管３を接続した。このように、低温流体直列用配管１５を複数のインク吐出ヘッド１に対して直列数珠繋ぎ状に接続することで、複数のインク吐出ヘッドを１本の冷却配管系統により冷却することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】隔壁を備えた基板が伸縮し寸法精度の低い基板でも、着弾位置がずれることなく描画できる、機能液滴を所望の量にコントロールし描画が可能となる塗工装置の制御方法を提供することである。
【解決手段】配列された複数のインク吐出部と、直交する方向にステージ上の基板とインク吐出部を相対移動させ、一定距離移動する毎に、データトリガー信号が出力され、各インク吐出部から、インクを吐出するともに、仮想的に分離された個別領域毎にインク吐出位置を補正及びインク吐出量を補正するようにしたインクを吐出する塗工装置の制御方法であって、特定の個別領域のインク吐出に際、基板上に形成したパターンの位置情報を抜き出し、位置のズレ量及びインク吐出領域の面積のズレ量の特徴値を演算、記憶された特徴値に基づいてインク吐出位置及びインク吐出量を補正し、塗工するカラーフィルタ用の塗工装置の制御方法。 （もっと読む）

【課題】凝集異物の少ない硬化性組成物を適切に評価することのできる硬化性組成物の塗布適性評価方法、並びにこれにより評価された凝集異物の少ない硬化性組成物、さらには、これにより形成された高品質なカラーフィルター、及び液晶表示装置を提供する。
【解決手段】下記（１）〜（３）工程を含むことを特徴とする硬化性組成物の塗布適性評価方法。
（１）硬化性組成物中に、試験片を浸漬する工程
（２）浸漬した試験片を、硬化性組成物から取り出し、乾燥する工程
（３）工程（１）及び（２）を繰り返し、試験片上に硬化性組成物由来の付着物を形成させる工程 （もっと読む）

【課題】装置自体が大型化することなく、またローラ自体に高い加工精度を必要としない予備吐出装置、洗浄液の消費量が比較的少量で済み、ランニングコストが安価な予備吐出装置を実現する。
【解決手段】基板Ｗへの塗布に先立って、スリットノズル３からの塗布液を吐出させるための予備吐出装置において、スリットノズル３と対向して配置され、スリットノズル３のスリット開口の延在方向と同一の方向に延在する予備吐出面２０と、予備吐出面２０の近傍に、予備吐出面２０の表面に存在する塗布液を除去する除去機構２１が設けられている構成とする。 （もっと読む）

【課題】電子写真感光体用塗布液の固形分濃度や混合溶媒の混合比率を、リアルタイムでかつ正確に測定できる電子写真感光体用塗布液の検査方法と、電子写真感光体用塗布液を所定の組成に調整、管理することのできる管理方法と、かかる電子写真感光体形成用塗布液の検査方法および管理方法を用いた電子写真感光体の製造方法と、を提供すること。
【解決手段】少なくとも２種以上の溶媒と、固形分とからなる電子写真感光体用塗布液の粘度および密度を、インライン分析により測定し、上記塗布液の粘度および密度の測定値に基づいて、上記塗布液の組成を検査し、さらに、かかる検査方法により得られた粘度および密度の測定値に基づいて、上記塗布液の組成を調整、管理する。 （もっと読む）