【課題】基板面に塗布剤を塗布する際の塗布異常の発生を防止し、検査工程を塗布工程と並行して行うことで、生産時間全体の短縮を図ることができる塗布方法及び検査機能付塗布装置を提供する。
【解決手段】基板の塗布位置に塗布剤を噴射する塗布ヘッドと、該塗布ヘッドを基板上で縦横に移動させる移動装置と、該移動装置の動きを制御する制御装置とを有する噴射式塗布装置において、前記塗布ヘッドに設けられた撮像手段により、該塗布ヘッドによる塗布前に、前記塗布位置を撮像して確認する塗布位置確認工程と、確認された前記塗布位置に塗布剤を塗布する塗布工程とを備えた。 （もっと読む）

【課題】クリア塗装を効率よく行い、生産効率を向上させることができる上塗り塗装設備を提供すること。
【解決手段】上塗り塗装設備１０は、２列の塗装ライン１１と乾燥炉１２と検査部１３と返車コンベア１４と乗換装置１５とを備える。塗装ライン１１は、ベース塗装エリア２１とプレヒートエリア２２とクリア塗装エリア２３とを有する。塗装ライン１１には、自動車ボディ２５を各エリア２１〜２３内を通過させながらライン順方向に搬送する第１搬送コンベア２７及び第２搬送コンベア２８が設けられている。乗換装置１５は、プレヒートエリア２２のホットエアゾーン３１とクーリングエアゾーン３２との接続部分において、返車コンベア１４により搬送されてくる自動車ボディ２５を第２搬送コンベア２８上に乗せ換えさせる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、１枚の基板上に形成された機能膜間の膜厚のばらつきを抑制すると共に、基板上に多数形成されるそれぞれの機能膜における膜厚の不均一を抑制することができる膜形成方法、電気光学基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法、並びに機能膜、電気光学基板、及び電気光学装置を提供する。
【解決手段】本発明による膜形成方法は、機能膜を構成する材料を含む液状材料を基板上の機能膜形成領域に配置し、当該液状材料を減圧環境下で乾燥させることで機能膜を形成する膜形成方法であって、液状材料を機能膜形成領域に充填する液状材料配置工程と、機能膜形成領域に対応する位置にマスク穴が形成された乾燥マスクを、基板と隙間を隔てて対向する位置に、マスク穴が機能膜形成領域に対向するように設置するマスク設置工程と、液状材料を減圧環境下で乾燥させて機能膜を形成する乾燥工程と、を有する膜形成方法である。 （もっと読む）

【課題】製造コストの低減のために洗浄液の循環液を使用しつつも、予備塗布に用いられる回転ロールの清浄性を大幅に向上させて、塗布器であるスリットノズルの予備塗布による初期化再現性を向上させ、スリットノズルにより常に均一な塗布膜形成を多数枚にわたって実現できる塗布方法ならびに塗布装置を具現化し、それによって低コストで高品質のカラーフィルターやＴＦＴアレイ基板等の液晶ディスプレイ用部材を製造できる液晶ディスプレイ用部材の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布液を吐出するために一方向に延在または配列された吐出口を有する塗布器から塗布液を回転ロール上に塗布吐出して予備塗布を行っ後、被塗布部材に塗布を行う塗布方法において、回転ロールの洗浄を、第１の洗浄液の回転ロールへの供給、回転ロールに付着した第１の洗浄液と塗布液のかき取り除去、第２の洗浄液の回転ロールへの供給、回転ロールに付着した第２の洗浄液と残存物のかき取り除去、および回転ロールへの気体の供給、の順に行うことを特徴とする塗布方法。 （もっと読む）

【課題】シャットオフバルブと吸引バルブを同一方向に移動させて、シャットオフバルブが塗布剤の供給を遮断後、さらに移動させて塗布ノズルに残留している塗布剤を吸引させるようにした塗布方法とその塗布装置を提供すること。
【解決手段】塗布ノズル４０に塗布剤６０を供給する工程と、塗布剤６０を吐出させつつ、塗布ノズル４０を移動させて被塗布面に塗布剤６０を塗布する工程と、塗布ノズル４０と塗布剤供給源２０との間に設けられたシャットオフバルブ３０の作動により、塗布ノズル４０への供給を遮断する工程と、バルブ３０が塗布剤６０の供給を遮断する方向に移動するのに伴って吸引バルブ５０も同一方向に移動し、かつバルブ３０が塗布剤６０の供給を遮断した後も移動し続けることで、塗布ノズル４０に残留した塗布剤６０を吸引バルブ５０で吸引することにより塗布ノズル４０から塗布剤６０が垂れ落ちるのを防止する工程と、を備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】着弾する固体微粒子の個数のばらつきが少ない液滴吐出方法を提供する。
【解決手段】吐出開始までの時間が所定時間よりも短い場合、吐出駆動パルス信号よりも電圧レベルが低く設定された微振動駆動パルス信号を圧力発生手段86に印加して、オリフィス71内の塗布液に微振動を与える工程と、その後に吐出駆動パルス信号を圧力発生手段86に印加して液滴を吐出する工程を実行し、吐出開始までの時間が所定時間よりも長い場合、捨て打ち工程と微振動工程と吐出工程とを実行することを特徴とする。 （もっと読む）

本発明は、塗布構造体、好ましくは接着剤ビード又は接着剤トレースを基材（３０）に塗布してこれを監視する方法及び装置に関する。塗布構造体の塗布に先立って較正を少なくとも１つのカメラ（１２）、特に２つ又は３つ以上のカメラ（１３，１４）及び塗布装置（１１）によって実施する。第１の塗布構造体を塗布装置によって基材上に配置し、カメラによってこれを監視する。カメラにより得られた画像を画像処理装置に伝送し、この画像処理装置は、第１の塗布構造体の各部分領域を、補修を必要とする部分領域として又は補修を必要としない部分領域として分類し、補修を必要とする部分領域を、塗布装置の位置又は正確な移動経路に従って補修リストにファイルする。次いで、補修リストにしたがって、塗布装置により第２の塗布構造体を基材に塗布し、塗布装置の画像処理装置は、第１の塗布構造体に対する補修を必要とする各部分領域の開始部と終了部を塗布装置に伝送し、画像処理装置は又、塗布装置を制御する。
（もっと読む）

【課題】カートリッジの交換が容易で、使い勝手が良好な液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】タンク6，7を有するカートリッジ部3と、塗布液を液滴として被着体に吐出するヘッド部4と、タンク6の塗布液をヘッド部4に供給して、ヘッド部4を通過した塗布液をタンク7に戻す塗布液供給循環部2と、塗布液供給循環部2を介して洗浄液をヘッド部4に供給する洗浄液供給部29と、塗布液供給循環部2の一部から廃液を排出する廃液排出部33と、洗浄液供給部2から供給する洗浄液で塗布液供給循環部2とヘッド部4を洗浄する際に洗浄液供給部内を加圧ガスで加圧し、塗布液供給循環部2により塗布液を循環する際にタンク6，7内を減圧する圧力切替部を備え、カートリッジ部3が塗布液供給循環部2に交換可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】機能液への気泡の混入および機能液の変質を抑制しつつ、機能液滴吐出ヘッドへの機能液の供給圧力を一定に保つことができる機能液供給装置および液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供する。
【解決手段】供給流路１０３を介して機能液滴吐出ヘッド７に機能液を供給する機能液供給装置１８において、供給流路１０４に連通すると共に機能液を貯留する密閉型の貯留タンク１１１と、貯留タンク１１１内の機能液上に浮き、且つ浮いた状態で機能液を閉蓋する蓋体１１２と、貯留タンク１１１に連通し、貯留タンク１１１内の圧力を調整する圧力調整手段１０７と、貯留タンク１１１の圧力を検出する圧力検出手段１１３と、圧力検出手１１３段の検出結果に基づいて、貯留タンク１１１内の圧力が一定になるように圧力調整手段１０７を制御する制御手段と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】幅広部と微細部とを有する膜パターンの膜厚を簡単に制御して均一化することが可能な膜パターン形成方法、及びこのような膜厚が均一な膜パターンを備えることにより、高性能なデバイスの製造方法、表示品質の高い電気光学装置、並びに電子機器の提供をする。
【解決手段】機能液を基板上に配置して所定の膜パターンを形成する方法であって、前記基板上に、幅広部と、当該幅広部と接続された微細部とを有するパターン領域を形成するパターン領域形成工程と、前記幅広部に前記機能液を選択的に吐出することにより、前記パターン領域に機能液を配置する機能液配置工程と、前記幅広部から前記微細部に向かう方向に温度勾配を付与しながら機能液を乾燥させることにより、膜パターンを形成する乾燥工程とを有する。 （もっと読む）