【課題】接着剤の初期温度に応じて加熱モードを選択し、加熱手段に電力を印加することで短時間にかつ正確に設定温度に制御する。
【解決手段】接着剤を収納する容器に加熱手段の加熱温度を制御する温度制御手段を設ける。この温度制御手段に、加熱手段への供給電力及び供給時間が異なる複数の加熱モード設ける。そして装置起動時或いは装置待機後の再起動時に容器内の接着剤の温度をセンサ手段で検出し、その検出温度に応じて１つの加熱モードを選択して実行する。これによって、接着剤が固化した状態のときには供給電力と供給時間が最大となるモードで加熱溶融し、接着剤が低い温度で液化した状態のときには供給電力と供給時間が第２の大きさとなるモードで加熱溶融し、接着剤温度が高い状態のときには供給電力と供給時間が最小となるモードで加熱溶融することとなり接着剤の状態に応じて装置のウォームアップ時間が設定される。 （もっと読む）

【課題】線状に塗布された粘性流体に、その終端位置において膨らみが生ずることのない粘性流体の塗布方法および粘性流体の塗布装置を提供する。
【解決手段】塗布ノズル２１から吐出させた粘性流体Ｓを、水平に保持されたワークＷの表面に線状に塗布する粘性流体Ｓの塗布方法であって、塗布動作の終了点となる終端位置の手前で、塗布ノズル２１への粘性流体Ｓの供給を停止させるようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】コーティング表面の特性を改善し、コーティング処理を円滑かつスムーズに安価に行うことができるコーティング装置及び方法を提供する。
【解決手段】供給ユニット１３は、予熱されたコーティング粉末とキャリアガスを噴射ノズル１６とに供給する。噴射ノズル１６は、供給ユニット１３から供給されたコーティング粉末とキャリアガスを、被コーティング部品１１の表面に臨界速度より速い速度で噴射する。回収ユニット１９は、回収パイプ１８を介して、プレート状仕切りメンバ１２により閉じられたコーティング処理空間１７に滞留（残留）しているコーティング粉末とキャリアガスを回収する。分離ユニット２０は、回収ユニット１９により回収されたコーティング粉末とキャリアガスを分離し、ガス圧縮ユニット２１と、粉末測定ユニット２２および粉末調整ユニット２３を経由して、再び供給ユニット１３に供給する。 （もっと読む）

【課題】 ダイヘッドを使用した塗布方法において、どんな塗布液でも対応でき、「塗り始め」のロスを減らすことを課題とする。
【解決手段】 塗布開始時のダイヘッド先端と基材表面の間隙距離を６０μｍ以下にし、塗布液が基材上に付着したら塗布定常時の間隙距離まで広げる塗布装置を用いる。また、塗布開始時の設定減圧度を塗布定常時の設定減圧度よりも０．１ＫＰａ以上０．５ＫＰａ以下高めに、設定送液流量を塗布定常時の設定送液流量よりも５％以上５０％以下高めにし、間隙距離の変化と同時に定常値にする塗布装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】長尺形ノズルを用いるスピンレス塗布法においてサックバック法を用いる際の膜厚制御性を改善し、塗布品質を向上させること。
【解決手段】塗布走査の終盤で、ノズルの処理液吐出レートを一瞬増大させることにより、基板上の所定位置に、好ましくは膜厚保証領域と非保証領域との境界付近に、基板上の塗布膜に盛り上がり部を形成する。そして、走査終了直後に基板上の走査終点位置でノズルに処理液の吸い取りつまりサックバックを行わせることにより塗布走査終端部の余分な処理液を取り除き、その際にサックバックの影響（吸い取り作用）を上記処理液盛り上がり部でキャンセルすることによって、基板上の膜厚保証領域内の膜厚が許容範囲以下になるのを防止する。 （もっと読む）

【課題】回転ドラム内面やバッフル表面へのコーティング基材物質の付着を防止し、付着物質の剥落による不良品の発生を防止する。
【解決手段】コーティング装置１は、回転軸を中心に回転可能に配置された中空の回転ドラム３と、回転ドラム３内に収容された被処理物２に対しコーティング用物質を供給するスプレーガン１５と、回転ドラム３内の被処理物２の転動流中に配置されるバッフル２２とを備える。回転ドラム３内には、回転ドラム３の内面３ａに対し直接冷水を噴射するドラム冷却用スプレーガン３１ａ,３１ｂと、バッフル２２に対し直接冷水を噴射するバッフル冷却用スプレーガン３２が設けられている。コーティング処理中は、スプレーガン３１ａ,３１ｂ,３２によってドラム内面３ａやバッフル２２を冷却し、それらへのコーティング基材物質の付着を抑制する。 （もっと読む）

【課題】被塗布物に対してコート材を短時間に薄く均一に塗布することが可能な樹脂塗布方法及びその装置を提供する。
【解決手段】ワーク１０を浸漬する塗布タンク１とは別に、塗布タンクにコート材９を供給する供給タンク２と、塗布タンク内のコート材を引き抜くと共に、引き抜いたコート材を供給タンクに戻す引抜シリンダ装置３を備えていて、ワーク１０を浸漬した塗布タンクからコート材を強制的に引き抜くようにしている。引抜シリンダ装置は、速度調整装置４を備えていて、ワークの形状に合わせてコート材の引き抜き速度は調整される。 （もっと読む）

【課題】光ディスク基板表面に安定した量の色素材料を塗布することができる塗布装置及び塗布方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る塗布装置１０は、所定の量の色素材料Ｌを貯蓄可能な加圧タンク１２と、加圧タンク１２内の色素材料Ｌを所定の圧力を有する空気で押し出し、吐出させる圧空レギュレータ１３と、加圧タンク１２内の色素材料Ｌの液面高さを検出する液面計１１と、加圧タンク１２に補充するための色素材料Ｌを貯蓄するストックタンク１７と、ストックタンク１７内の色素材料Ｌを加圧タンク１２に補充する送液ポンプ１８とを備え、液面計１１によって検出された加圧タンク１２内の色素材料Ｌの液面高さが所定の高さに満たないときに、送液ポンプ１８から加圧タンク１２に補充する色素材料Ｌの量を制御する制御部３１を備えている。 （もっと読む）

ナノメートル寸法の二酸化チタン懸濁液を適用することにより、チタン表面に抗菌特性を付与し得る方法について、述べる。 （もっと読む）

【課題】従来１８００ｍｍや２０００ｍｍといった大型基板の場合、基板の端部をエッジセンサーで粗く認識したり、倍率の低い低倍率アライメントカメラと精密アライメントカメラとの２系統を持つ等、２回にアライメントを分けて実施していた。しかし、この方法によると、アライメントを１回の動作で済ませることができないため、多大な時間や手間、コストがかかり、タクトタイム等生産性が低下する問題があった。
【解決手段】基板上に格子状の隔壁を設け、この格子状の隔壁を基板上部にカメラを設置し、このカメラを隔壁の格子パターンの縦方向又は横方向に平行方向に移動させながら、このカメラにより隔壁を観察したところ、このカメラより形成される画像には格子パターンは特定の規則性をもって写しがされた。 （もっと読む）