【課題】動作時の騒音の発生を抑えつつ薬剤の残留分を効率的に除去することのできる薬剤の残留分除去方法、薬剤の残留分除去装置及びその装置を備えた薬剤供給システムを提供する。
【解決手段】この薬剤の残留分除去装置６０は、薬剤が通過する例えばホッパー４０の壁面に付着した薬剤の残留分を除去するものであって、ホッパー４０の壁面付近に配置された磁石手段６１としての永久磁石と、ホッパー４０の壁面から前記残留分を浮かせて除去するように、永久磁石で発生した磁力を時間的に変化させる磁力変化手段６２としての永久磁石をホッパー４０の壁面に対して前後、上下または左右方向に相対的に移動させるか、あるいは相対的に回転させるものである。 （もっと読む）

【課題】 高速搬送される大型ガラス基板の搬送速度を落とさず、乾燥するエアの使用量を低減した基板乾燥装置を提供する。
【解決手段】 大型ガラス基板１０が搬入される入口から搬出される出口に向かって開口が次第に大きくなる台形状のフード２０と、大型ガラス基板１０の両面に乾燥エアを噴射するエアナイフ３０−１、３０−２と、大型ガラス基板１０の片面に位置しイオンを発生するイオナイザー４０とを含む。 （もっと読む）

【解決手段】基板の表面上に形成された金属ゲート構造の周囲からポストエッチング洗浄工程中にポリマ残渣を除去するためのシステム及び方法は、金属ゲート構造に及び除去されるべきポリマ残渣に関連する複数のプロセスパラメータを決定することを含む。１又は複数の製造層が、金属ゲート構造を画定し、プロセスパラメータは、これらの製造層の及びポリマ残渣の特性を定める。第１及び第２の洗浄化学剤が特定され、プロセスパラメータに基づいて、第１及び第２の洗浄化学剤に関連する複数の適用パラメータが定められる。ゲート構造の構造的完全性を維持しつつポリマ残渣を実質的に除去するために、第１及び第２の適用化学剤は、適用パラメータを使用して制御方式で順次適用される。 （もっと読む）

【課題】テープ状部材の両側の面に付着した異物を除去する効果の高い異物除去装置を実現する。
【解決手段】本発明の異物除去装置２０は、２つのクリーナ部２を備え、上記２つのクリーナ部２は、各クリーナ部２の清掃機能面３が上記テープ状部材１のそれぞれ異なる面に対面するように対置され、各クリーナ部２は上記清掃機能面３に、対面する上記テープ状部材１の面にエアを吹き付けるエア吐出口４と、エアと共に異物３０を吸い込むエア吸引口５とを備え、上記クリーナ部２は超音波発振部６を備え、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吐出口４は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置され、上記２つのクリーナ部２の互いの上記エア吸引口５は、上記テープ状部材１を挟んで対向する位置に配置されている。それゆえ、柔軟なテープ状部材１の両側の面に付着した異物３０を除去でき、かつ効果の高い異物除去装置２０を実現できる。 （もっと読む）

【課題】ほぼ自動的にロールスクリーンを洗浄し、作業能率の向上と、均質な作業ができるロールスクリーンの洗浄装置並びにロールスクリーンの洗浄用車両を提供する。
【解決手段】ロールスクリーンの洗浄装置Ａは、適宜の機枠１に対し、ロールスクリーンユニットＳにおけるスクリーン本体ｓ３を洗浄する洗浄ユニット３が具えられ、この洗浄ユニット３は、スクリーン本体ｓ３の送り方向上流側に洗浄剤Ｌを噴出する洗浄スプレーボックス３１を配置し、更にその近傍に吸引ボックス３６を具えた。 （もっと読む）

【課題】洗浄力を向上させたバキュームクリーナを得る。
【解決手段】上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄはワーク２８を挟んで搬送する。支持部１６ａ，１６ｂは上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄを支持する。バイブレータ３４ａ，３４ｂは、それぞれ支持部１６ａ，１６ｂに振動を与える。上搬送ロール２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ及び下搬送ロール２６ａ，２６ｂ，２６ｃ，２６ｄがワーク２８を挟み、かつバイブレータ３４ａ，３４ｂが支持部部１６ａ，１６ｂに振動を与えている状態で、バキュームブロック２０ａ，２０ｂ，２０ｃはワーク２８に付着したゴミを吸引除去する。 （もっと読む）

【課題】洗浄媒体の飛翔方向と姿勢を制御して運動速度と清浄度とを高めることにより洗浄品質と洗浄効率とを向上させると共に、幅の小さな溝が形成された複雑な形状の部品でも傷付けたり洗浄残しを発生したりすることなく洗浄可能な乾式洗浄装置を実現する。
【解決手段】本発明の乾式洗浄装置１は、可撓性洗浄媒体を収容した洗浄槽２と、飛翔した薄片状の可撓性洗浄媒体８を高速気流により洗浄対象物９に衝突させて洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去する洗浄媒体加速手段４と、洗浄対象物に衝突した洗浄媒体に付着した付着物を吸引して除去して洗浄媒体を再生する洗浄媒体再生手段５と、洗浄槽に収容した洗浄媒体を洗浄媒体加速手段まで搬送させる循環手段３とを備えた構成であり、さらに、洗浄媒体加速手段４からの高速気流により搬送された洗浄媒体８を整流し、洗浄媒体加速手段以外からの外乱を防ぐ洗浄媒体整流手段６を備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】吸引する範囲を分散させることなく所定の範囲に集中させることによって靴底面に衝突する空気の流速と流量を最大限に高め、これによって塵埃の除去効率の高い靴底洗浄装置を提供すること。
【解決手段】
靴底洗浄装置であって、先端を薄く形成した可撓性を有する２個の当接ブレードと、前記２個の当接ブレードを平行に保持するとともに、当該２個の当接ブレード間に形成した吸気口と、当該吸気口と連通する接続口を設けた吸気ハウジングと、前記当接ブレードを上方に向かって突出するように配置した床状の架台を有する。また、靴底を浸せる程度の水を貯留するとともに、靴底面に当接するブラシ状の清掃具を設けた浴槽を前記架台上に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 スティック型掃除機のような吸込具の吸い込み口が下を向いて床や台と接するようにして立てて置くタイプの掃除機でも、埃・ゴミ吸引用掃除機として使える静電気クリーナー用除埃器を提供する。
【解決手段】本発明の静電気クリーナー用除埃器は、静電気クリーナーを入れるための開口部（１）を持つ箱（２）と、前記箱の下部に取り付けられ、上面に開口した掃除機用吸い込み口（３）を持ち、その上に掃除機吸込具を設置でき、掃除機のスタンドとしても使える台（４）と、掃除機用吸い込み口の周辺部に置かれた柔軟性をもつ樹脂やゴムよりなるシール材（５）より構成される。箱（２）と台（４）と掃除機用吸い込み口（３）は仕切り板（６）で作られた通風路（７）により空間的に繋がっており、またスライド式掃除機用吸い込み口により掃除機用吸い込み口の位置を変えることができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】摩耗粉を除去して電極リング間の絶縁抵抗の劣化を防止し、摩耗粉の発生量を人がモニタ可能なスリップリングを提供する。
【解決手段】外筒体と、この外筒体内に設けられ、それぞれ絶縁体１４を介して外筒体の軸方向に積層配置された複数段の電極リング１２、１３から成り、この軸周りに回転駆動される電極リング部４と、この電極リング部４に圧接保持された導電性のブラシ５と、電極リング部４の胴部外周部の近傍に吸い込み口６，９を有し、このブラシ５と電極リング部４との摺動によって発生する摩耗粉をこれら吸い込み口６，９より吸引して除去する摩耗粉吸引除去手段と、を備え、この摩耗粉吸引除去手段は、電極リング部４が回転を開始したときに吸引動作を行う。 （もっと読む）