【課題】従来加工基板上の粉塵を除塵する方法として高圧エアーをスリット状のノズルから加工基板に噴射させ、ブロアーの負圧により吸い込む方法がとられていたが、このエアーのみ吹き付ける方法では基板上に付着した１ミクロン以下の微細な粒子や基板に付着した汚れを除去することができなかった。
【解決手段】加工基板上に近接するように設置された内部をブロアー等により負圧にした負圧ボックス内の負圧により発生する基板又はシート上の粉体の流れにより基板上の１ミクロン以下の微細な粉塵や基板に付着した汚れを除去することが可能となった。 （もっと読む）

本発明は、微粒子を吸い上げるためのフッドに関し：壁（2）に近く配置されることを目的とした開口（3b）、レーザー・ビーム（6）が通り抜けることができる窓（3）を有する基盤（3a）、開口（3b）と基盤（3a）との間の中間部分（5a）、及びフッド（1）の中間部分（5a）に置かれ、微粒子を吸い上げるように設計された吸引出口（5）、を含む。当該フッドは、基盤（3a）の近くに配置された少なくとも1つの空気吸入口（110）を含み、作動中に、微粒子が窓（3）の堆積することを防止するように、そのフッド（1）の基盤（3a）で気流を生成することが可能であることを特徴とする。

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【課題】配管内部に異物を残存させない、異物を分別して捕集、個別の集塵機ごとにメインテナンスを実行、複数箇所で乾式、湿式の吸引を同時に実行することを可能にする分散集塵システムを提供する。
【解決手段】１箇所の吸引装置１１及び上記吸引装置に通じる主配管１２と、主配管に設けられている複数個の配管分岐部、各配管分岐部に接続される接続部を一端に備え、他端にて集塵機に接続される複数個の吸引配管１４と、吸引口と排気口とを有し、かつ吸引口から吸引された気流に含まれている異物を捕えて気流から分離する分離手段を内蔵し、気流を排気口から吸引配管に排出する上記の集塵機１７と、基端部にて上記吸引口に接続され、先端部に吸引ノズルを備えた吸引部３５と、上記吸引装置と集塵機を吸引可能な状態に接続し、その操作によって任意の吸引配管に通じる集塵機を作動させる吸気制御部１８を具備した構成。 （もっと読む）

本発明は、微粒子を吸い込むフードに関し、微粒子を発射できるように壁２に接近して配置されることを意図され、前記フードの内部３１と外部３２とを定める稜３ｂを含む空気吸入口３０と、前記微粒子を吸い込むための吸引出口５とを有する。前記フードは、前記空気吸入口が、前記吸入出口の方に延び、前記稜に関して前記吸入出口と同じ側に位置する先端４１を含む外部リップ４０を有し、その結果、前記フードの動作中に、吸い込まれた空気８が前記外部リップで分離されず、空気分離地帯が前記フードの内部にのみ位置する。
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【課題】洗浄液が周囲に飛散しにくく、磁気記録面上での磁気ヘッドの低浮上化に対応できる高い清浄度を有する磁気記録媒体用基板の得られる磁気記録媒体用基板の洗浄装置および洗浄方法を提供する。
【解決手段】磁気記録媒体用基板１上に洗浄液を供給する洗浄液ノズル４と、多孔質材料からなる洗浄具３、３と、洗浄具３、３、を磁気記録媒体用基板１上で摺動させる摺動手段と、磁気記録媒体用基板１上から洗浄具３、３を介して洗浄液を吸引して排出する洗浄液排出手段７とを備える磁気記録媒体用基板１の洗浄装置とする。 （もっと読む）

【課題】 温水漏洩検査において缶容器の外面に付着した水分をエアブローにより除去するのに加えて、エアブローだけでは除去しきれないビード部に侵入（付着）した水分を真空乾燥により蒸発除去することにより、完全に除去し、もって、除去しきれなかった残存の水分が原因となる錆の発生を防止し、より高品質な缶容器を提供することができる缶容器の水滴除去方法及び装置を得る。
【解決手段】 缶容器５０の開口部５１のビード部５２を覆うように開口部５１に真空パッド５４を吸着させる吸着工程と、真空パッド５４に接続された真空ポンプ５６で減圧して、ビード部５２に侵入した水分を真空乾燥で蒸発除去するビード部侵入水分蒸発除去工程とを備えている。 （もっと読む）

【課題】フィルターに付着した粉塵を簡便且つ確実に取除くことができ、しかも、集塵機を稼動させたままの状態においてもフィルターに付着した粉塵を取除くことができる集塵機を提供する。
【解決手段】空気を吸込む吸気ファンと、周方向に蛇腹状で内部の中空部分に蛇腹の内側が露呈する円筒状のフィルター材３６を有し、前記吸気ファンの上流側に設けられ、吸気ファンに吸込まれる空気中の塵埃をろ過するフィルター３２と、該フィルター３２の軸線部分に挿通され、回転駆動される回転軸３３と、該回転軸３３の径方向に突設され、回転軸３３の回転に伴って前記フィルター材３６の内方に露呈する蛇腹（内側の蛇腹部分３６ａ）を叩き弾く突片３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】間紙に付着している粉塵等の付着物を効果的に除去することができると共に、省設置スペースとし、且つメンテナンスを容易とすることができる間紙クリーニング装置を提供する。
【解決手段】ブラシクリーニング手段４は、縦方向に形成された搬送路３５の左右に対配置された搬送ローラ２１により前記間紙Ｐを縦立させて上方に搬送する間紙搬送手段と、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置されたロールブラシ２３を回転させることにより除塵処理するロールブラシ手段と、前記ロールブラシ手段により除塵処理され、前記間紙搬送手段により上方に搬送される間紙Ｐの表裏面に対し、前記搬送路３５の左右に対配置された直線ブラシ２４を摺接させて除塵処理する直線ブラシ手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】除塵作業後の被除塵物に粉塵が再付着するのを抑止する。
【解決手段】粉塵拭き取り用又は粉塵掃き取り用のワイプ部材４を備える除塵ロボット６を設け、搬送手段により搬送される被除塵物２をワイプ部材４で除塵する除塵用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にするとともに、被除塵物２から離れた位置に設定した清掃域でワイプ部材４の清掃が実施可能なように、除塵用動作後のワイプ部材４を清掃域に移動させる清掃用動作を除塵ロボット６に実行させる構成にする。 （もっと読む）

【課題】パレット上に打抜かれた段ボールを積重ねてその切断端面を掃除機のアタッチメントによって吸引して紙粉を除去する従来の工程を省略することが可能であって、新たな紙粉の除去工程を設けることなくしかも打抜かれた段ボールから紙粉を除去する。
【解決手段】打抜かれた段ボールの抜きズレの検査のための検査台１０のケース２２の内部を空洞にし、吸引用ブロア３０によって吸引除去して内部を負圧にしておき、上面板１５の小孔１６、１７によって段ボール１１に付着している紙粉を吸引除去し、フィルタ３３によって捕捉して空気から分離する。そのときに上方に配置された除電機３７および送風機４２によって上方からイオン化された空気を吹きかけ、段ボール１１の静電気を中和する。 （もっと読む）