【課題】基板にキズが発生するのを防止しつつ、安定して基板を洗浄することができる、基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄板１と、洗浄板１を振動させる振動部２と、基板に非接触な状態で基板上を吸引し、洗浄板１の先端部１ａの近傍に吸込み口を有する吸引部３，４と、洗浄板１を基板に対して相対的に移動させる移動手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】花粉や塵芥を撒散らすことなく吸取ることができるとともに、湾曲した清掃対象面から花粉や塵芥を容易に吸取ることができる、吸取具を、提供することを課題とする。
【解決手段】吸引装置３に接続されて、清掃対象面から花粉や塵芥を吸取る吸取具１Ａであって、筒状に形成されるとともに、外周面から内周面にかけて貫通する複数個の吸取孔１２・１２・・・を有する吸取部材１０と、吸取部材１０を回転可能に支持する支持部と、吸引装置３に接続可能な接続部２２と、吸引装置３に接続された際に吸引装置３と吸取部材１０における筒状の内部１１とを連通させる連通路２３と、を有する支持部材２０と、を具備し、吸取部材１０は、湾曲した清掃対象面２に押付けられた際に、湾曲した清掃対象面２に合わせて湾曲可能に構成される。 （もっと読む）

【課題】異物を確実に把持し、短時間で除去することが可能な異物除去装置を提供する。
【解決手段】異物除去装置１０１は、基板１の表面に付着した異物を除去するための異物除去装置であって、前記異物を把持するための把持手段としてのピンセット２と、前記表面を観察するための観察光学系３と、ピンセット２を観察光学系３とは別に前記表面に対して垂直な方向に移動させるための第１駆動部としてのＺ′軸機構と、ピンセット２および観察光学系３を一体的に保持した状態でピンセット２および観察光学系３を前記表面に対して垂直な方向に移動させるための第２駆動部としてのＺ軸機構７と、基板１を前記表面に平行な方向に移動させるための第３駆動部としてのＸ軸機構５１およびＹ軸機構５２と、ピンセット２で把持した前記異物を吸引回収するための回収部８とを備える。 （もっと読む）

【課題】被清掃物の損傷を防止して簡単に清掃を行うことのできる清掃用具を提供する。
【解決手段】被清掃物の表面に付着した異物を除去する清掃用具１であって、下端に開口部２ａを有する筒状の外筒２と、外筒２に内嵌して軸方向に可動のピストン４と、ピストン４を上方に可動する付勢手段７と、押圧によりピストン４を押し下げる押圧部８と、押圧部８により押し下げられたピストン４を係止する係止部２ｃと、外筒３内に可動に配されるとともに軸方向に貫通した貫通孔５ａを有して開口部２ａから突出するノズル５とを備え、ノズル５の押圧によってピストン４と係止部２ｃとの係合を解除してピストン４が上昇し、貫通孔５ａから吸気されるようにした。 （もっと読む）

【課題】フィルム状又はシート状に成形された基材に層をなした状態で付着した付着物を有効に剥離新規な付着物の剥離装置を提供する。
【解決手段】被処理物が投入される投入口１１と、付着物が剥離された基材が排出される基材排出路６９とにそれぞれ連通してなり内部において上記被処理物が収容される処理槽３１と、この処理槽３１内に配置され、駆動モータ２１により回転駆動する回転軸７２と、複数の回転羽根８１・・・８４と、上記処理槽３１に多数形成され上記付着物が通過する開口３２ｄと、を備え、上記処理槽３１の下方には、該処理槽３１の長さ方向に亘って複数の受け部材１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃが連続して配置され、これらの受け部材の下端には該受け部材と連通してなる吸引ホース１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃがそれぞれ形成され、吸引ホース１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃには、基端が吸引装置１１２に接続された接続パイプ１７の一端が接続されてなる。 （もっと読む）

【課題】清掃対象面を自転させる第１回転機構と、前記清掃対象面を前記自転の軸と異なる軸周りに回転させる第２回転機構と、を備える回転台において、清掃対象面に付着する塵埃を除く。
【解決手段】清掃対象面を自転させる第１回転機構と、前記清掃対象面を前記自転の軸と異なる軸周りに回転させる第２回転機構とを備える回転台であって、前記回転台は、清掃対象面に付着した塵埃を取除く清掃手段を備える。 （もっと読む）

【課題】ホースを引き回す等の操作の際にも、ホース内に電源コードの挿入路を固定する状態を保つことができ、操作性にも優れたコード付きホースと、該コード付きホースを接続可能な集塵機とを提供する。
【解決手段】集塵機の吸込口と電動工具の集塵通路との間に接続されるホース２内に、集塵機から電動工具に電源を供給する電源コード５を通過させたコード付きホース１であって、ホース内に、ホースの内面に固定されて電源コードが挿入されるゴムチューブ４を設けた。 （もっと読む）

【課題】貯溜タンク内の貯溜物の液分や固形分が気体中に混入して負圧発生装置に吸引される逆流現象を防止する。
【解決手段】吸引回収装置は、吸引した汚泥等の対象物を貯留する貯留タンク１と、貯留タンク１内に一端部が挿入された吸入管２と、貯留タンク１の上部に設けられた連通弁部３と、連通弁部３に吸引管４を介して接続される真空ポンプ５とを備えている。連通弁部３は、気体の旋回流を発生させる環状空間１０を有する旋回流発生部１１と、旋回流発生部１１から下方に延びた遠心分離部１２と、旋回流発生部１１に気体を導入する気体導入部１３と、旋回流発生部１１の内径側に形成される排気空間部１４と、排気空間部１４と貯留タンク１の内部空間との間の連通を遮断可能な弁体１５と、排気空間部１４内に一端が挿入され、他端が吸引管４に接続される気体排出部１６とを備えている。気体導入部１３の気体導入口１３ａと遠心分離部１２の下端開口部１２ａは、ともに貯留タンク１の内部に位置している。 （もっと読む）

【課題】例えば固形製剤である医薬品の製造工場にて使用されるコンテナ（容器）を洗浄するにあたって省エネルギー化を図ることができ、またコストを削減すること。
【解決手段】容器内の上端側の開口部からノズルを進入させ、容器内の壁部にノズルからドライアイスの粉体を吹き付けてドライアイスの衝突及び昇華のエネルギーにより壁部から付着物を剥離すると共に、容器の下端側の開口部に接続した吸引排気路から吸引して容器内に気流を形成し、飛散している付着物をこの気流に乗せて開口部から吸引排出して再付着しないようにする。 （もっと読む）