【課題】ウェーハの研削時に研削水として純水を使用することにより増大している生産コストを低減する。
【解決手段】粗研削を行う第一の研削手段と仕上げ研削を行う第二の研削手段とを有する研削装置において、第一の研削手段においては第二の研削手段で使用した研削水の廃液を回収して研削水として使用し、第二の研削手段においては純水を研削水として使用する。このように構成することにより、純水の使用料を実質的に従来の半分とする一方、廃液に混入している研削屑等がウェーハに混入したとしても、第二の研削手段による仕上げ研削においてそれを除去することができるため、ウェーハの品質にも影響を及ぼさない。 （もっと読む）

【課題】
面取り用砥石の研削用溝底部に砥石の回転を利用して十分な研削水を供給し、面取り加工の加工品質を向上させるとともに、砥石の寿命を延ばし製造コストを低減させるウェーハ面取り装置及びウェーハ面取り方法を提供すること。
【解決手段】
砥石中心部１６から外周粗研削用溝１５底部に向って放物線状の研削水流路１７が内部に形成された外周加工砥石３へ、回転ジョイント１３を介して接続された配管１４より研削水を供給し、外周加工砥石３を回転させることで研削水流路１７に遠心力を発生させて研削水を吸引するとともに外周粗研削用溝１５底部の研削水噴射口１８より研削水を噴射する。 （もっと読む）

【課題】 脱臭が外部に拡散することを抑制できる脱臭システムを提供する。
【解決手段】 加工室にて研削水を供給しながらレンズを加工した際に発生する臭気を脱臭する眼鏡レンズ周縁加工の脱臭システムで、加工室に接続された排水管を通して使用済みの研削水が導入される空間を持ち，研削水を蓄えると共に，空間が略密閉されたタンクと、レンズ加工時の臭気を脱臭する脱臭装置であって，タンクの上部に接続されるか又は加工室に接続される吸引管と，吸引管の他端側が接続された脱臭フィルタと，フィルタを介して空気を排出する排出口と，臭気を排出口へと導く気流を発生させるブロアと，を備える脱臭装置と、排出口に接続されると共に加工室に接続され、脱臭装置から排出された空気を再び加工室に送る送気管と、を備え、加工室の臭気が脱臭装置に送られ，脱臭装置で排出された空気を再び加工室へ戻す構成とした。 （もっと読む）

【課題】二種類の研削砥石を必要に応じて同時に又は別個に装着可能な研削装置の研削ホイール装着機構を提供する。
【解決手段】研削ホイールは第１の寸法の内径を有する環状の第１ホイールベース３２に取り付けられた複数の第１研削砥石３４とから構成される第１研削ホイール３０と第１の寸法より小さな第２の寸法の外径を有する第２ホイールベース４０に取り付けられた複数の第２研削砥石４２とから構成される第２研削ホイール３８とを含む。ホイールマウント２８は第１ホイールベースが装着される環状の第１装着面２８ａと第１装着面の内周部に設けられ第２ホイールベースが装着される第２装着面２８ｂとを有し、第１研削ホイール及び第２研削ホイールをそれぞれ第１装着面及び第２装着面に装着した際第２研削ホイールの第２研削砥石の端面が第１研削ホイールの第１研削砥石の端面より所定距離突出する。 （もっと読む）

【課題】
ダイシングの際に発生するコンタミを効率よく除去し、ワークに再付着させない高品質なダイシングを行うダイシング装置を提供すること。
【解決手段】
ブレード１０の回転方向に対向し且つ加工点Ｂに向かって開口した吸引口を一端に備え吸引口から排出口に向って拡張するように内部が傾斜した筒状部材１３Ａ、及び筒状部材１３Ａの吸引口近傍に取り付けられ流体を噴射することにより加工後の切削液を吸引し筒状部材１３Ａの内部に向って排出する1つ以上のノズル１４、１５を備えたバキュームユニット１３により、回転方向へ向かって飛散する切削液が強制的にワークに影響しない離れた場所または装置外へ排出され、コンタミがワークＷへの再付着することの無い高品質なダイシングを可能とする。 （もっと読む）

【課題】 加工装置によるウエーハの加工の際に、加工水が適当な領域に適量供給されているか、又は適正な分布をもって適量供給されているかを確認可能な加工水の確認方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに加工水を供給する加工水供給手段と、加工水が供給される領域に加工を施す加工手段とを備えた加工装置における加工水の確認方法であって、水による侵食層が基板上に積層されたウエーハを該チャックテーブルに保持するウエーハ保持工程と、該チャックテーブルに保持された前記ウエーハに加工水を供給する加工水供給工程と、前記ウエーハの表面に積層された前記侵食層の侵食状態によって加工水の掛り具合を確認する加工水確認工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加工装置によるウエーハの加工の際に、加工水が適当な領域に適量供給されているか、又は適正な分布をもって適量供給されているかを確認可能な加工水の確認方法を提供することである。
【解決手段】 ウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハに加工水を供給する加工水供給手段と、加工水が供給される領域に加工を施す加工手段とを備えた加工装置における加工水の確認方法であって、複数の圧力センサが表面に配設された検出基板を該チャックテーブルに保持する検出基板の保持工程と、該チャックテーブルに保持された該検出基板に加工水を供給する加工水供給工程と、前記検出基板の圧力センサからの情報を表示手段に表示し、加工水の掛り具合を確認する加工水確認工程と、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加工屑が含まれる排水が遠心分離機からできるだけ排出されないように、研削水の濾過及び加工屑の脱水を適切に維持管理できる装置を提供する。
【解決手段】砥石により加工される眼鏡レンズの加工部分に研削水を供給する加工装置本体１と、加工装置本体から排出された加工屑を含む排水が投入される脱水槽を持ち、脱水槽を回転するとより加工屑と研削水とを分離し、研削水を脱水槽の外へ排出する遠心分離機６５０と、を備える眼鏡レンズ周縁加工装置で、加工枚数をカウントする計数手段と、カウントされた加工枚数が予め設定された所定枚数に達した場合に遠心分離機の脱水槽に溜まった加工屑を取り出す必要がある旨を警告する警告手段と、脱水槽から加工屑が取り出された後に計数手段によりカウントされた加工枚数をリセットする信号を入力するリセット信号入力手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】対象物より反射して戻る超音波振動を原因とする超音波振動子の特性変化という現象に対して、根本的な解決策を提供する。
【解決手段】内部に有する液室１０８に振動輻射面１０６ａが接するように超音波振動子１０６を内蔵するケーシング１０２の液室１０８に給液パイプ（供給口配管１１０、給液用配管２０３）を介してクーラント２０１を供給し、液室１０８に連通するようにケーシング１０２に形成されたノズル１０７からクーラント２０１を噴射させ、この際、超音波発振回路によって超音波振動子１０６を駆動してノズル１０７から噴射されるクーラント２０１に超音波振動を重畳させる。そして、超音波振動子１０６を駆動するための超音波発振回路の出力に基づいて超音波振動中の超音波振動子１０６の特性（例えばインピーダンス）を測定するに際して、ノズル１０７から吐出されるクーラント２０１の流れに別経路からの液体を注入する。 （もっと読む）

【課題】サイクルタイムの短縮による生産性の向上と、製品歩留まりの向上を図ることのできるアンギュラ玉軸受の差幅研削方法及び装置を得る。
【解決手段】 回転軸２１に連動して回転する内輪１４又は外輪１３の回転軸２１とは逆側の端面の実際の差幅を差幅検出手段５１によって検出しつつ、回転軸２１とは逆側からその端面に当接される砥石６１で内輪１４又は外輪１３の端面研削を行う際には、回転軸２１内に穿設された研削水流路２４を介してアンギュラ玉軸受１１の回転軸側端面に供給される研削水により、アンギュラ玉軸受１１の内部洗浄を行いつつ研削を実施することで、研削くずが軸受内部に進入することを防止できる。 （もっと読む）