【課題】 ＱＦＮ基板の電極枠を切削ブレードで切断して電極端子をデバイス毎に分離しても、隣接する電極端子同士が延性によって短絡することのない切削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する円形の切削ブレードがフランジに支持されてスピンドルに装着された切削手段とを備えた切削装置であって、該切削手段は、該切削ブレードの切刃の第１の側面をカバーする第１カバーと、該切刃の第２の側面をカバーする第２カバーとから構成されるブレードカバーを含み、該第１カバー及び該第２カバーには、前記フランジの外周から突出する該切削ブレードの切刃の根元部分に切削水を噴射する切削水噴射孔が切刃の円周に沿って複数形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの凹凸部分や特定の場所にコンタミが残留するのを防止することができるダイシング装置を提供すること。
【解決手段】ワークＷを載置するワークテーブル３１には、外周に沿って一定の間隔で複数のノズル７１Ａ〜７１Ｆが設置される。各ノズルは、洗浄液噴射の開始及び停止のタイミングがコントローラによって個別に制御される。コントローラは、ワークＷの加工位置の変化に対応させて、洗浄液を噴射させるノズルの選択と、噴射の開始及び停止のタイミングとを制御し、ワークＷの加工位置の変化に対応させて、ワーク上を流れる洗浄液の液流方向を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 ワークの研削面を冷却液によるウオータールーム雰囲気を形成し、研削効率を飛躍的に向上させた研削ホイールとその冷却方法と冷却装置等を提供する。
【解決手段】 両縁フランジ１Ｆを備えた環状基台１と、上記環状基台の外周面１Ｂに装着された環状砥石２とからなる研削ホイール１０にして、上記環状基台１と回転主軸５の外周壁５Ａとに連絡孔Ｈが穿かれ、上記回転主軸の軸芯に穿かれた通路孔（通路）Ａから高圧冷却液Ｋを環状砥石２の内周面２Ａに供給可能に構成させたものである。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】研削液の吐出ノズルの微妙な位置を容易に調整できる研削液供給装置及び研削液供給ノズルの提供。
【解決手段】本発明に係る研削液供給装置１００は、回転することによって被加工物を研削する円周表面が形成された研削砥石３０を用いた研削加工機に備えられ、被加工物の研削点Ｐに向けて研削液を供給する。研削液供給装置１００は、研削液が供給される供給管１１０と、供給管１１０に連結され研削液が吐出される吐出ノズル１２０と、供給管１１０と吐出ノズル１２０との間に設けられる自在継手部１３０と、供給管１１０と吐出ノズル１２０とに接続される可撓性の中継管部１４０とを備える。自在継手部１３０は、研削砥石３０の軸線方向視において、供給管１１０に対する吐出ノズル１２０の角度を変更可能であり、中継管部１４０は、自在継手部１３０と対応する部分において供給管１１０と吐出ノズル１２０とを接続して研削液を中継する。 （もっと読む）

【課題】設置コストを抑制しつつ、研削砥石の回転に伴って連れ回される空気流に影響を受けずに研削液をより確実に研削点に向けて供給できる研削液供給装置及び研削液供給ノズルを提供すること。
【解決手段】本発明に係る研削液供給装置１００は、高速で回転することによって被加工物を研削する円周表面３２が形成された研削砥石３０を用いた研削加工機に備えられ、被加工物の研削点Ｐに向けて研削液を供給する。研削液供給装置１００は、研削液が供給される供給管１１０と、供給管１１０に連結され、研削液が吐出される吐出ノズル１２０とを備え、吐出ノズル１２０は、研削砥石３０の円周表面３２に隣接して設けられ、研削砥石３０の回転に伴って連れ回される空気流を遮断する遮断壁部１２２と、遮断壁部１２２よりも研削砥石３０の回転方向Ｒ寄りに設けられ、研削砥石３０の円周表面３２に向けて研削液を吐出する吐出口部１２４）とを有する。 （もっと読む）

【課題】研削に使用された研削水とチャックテーブルに保持された被加工物またはチャックテーブルの保持面の洗浄に使用された洗浄水を分離して排水することにより汚染度が低いチャックテーブルに保持された被加工物またはチャックテーブルの保持面の洗浄に使用された洗浄水を再利用可能にした研削装置を提供する。
【解決手段】排水パン１０は研削域２５および被加工物着脱域２４の両側に設けられた底壁１０１ａ、１０１ｂと、底壁１０１ａ、１０１ｂの外周から立設する側壁を具備し、底壁１０１ａ、１０１ｂは研削域２５と被加工物着脱域２４との中間部に対応する位置から研削域２５および被加工物着脱域２４に向けて下方に傾斜する山形に形成されており、研削域側の端部領域に第１の排水口１１１が設けられ、被加工物着脱域側の端部領域に第２の排水口１１２が設けられている。 （もっと読む）

切断ホイールを具備する砥石切断機は、物体を切断するために使用される。切断機は、ベース部と、ベース部に作動的に取付けられた切断装置と、制御装置とを含む。切断装置は、旋回シャフトと、旋回シャフトに取付けられた駆動シャフトと、駆動装置と、駆動ホイールとを含む。柔軟な駆動要素が駆動シャフトと駆動ホイールを連結している。駆動ホイールの回転軸と駆動シャフトの回転軸の間の距離は、柔軟な駆動要素の張力を増減するために可変である。送りテーブルが、ベース部に作動的に取付けられており、かつ、切断ホイールの回転方向へ前後に移動可能である。切断ホイールは、切断位置に固定可能であり、かつ、送りテーブルは、制御装置により、切断ホイールに向かって自身に固定された物体と共に移動し、物体を切断する。エンクロージャーが、切断装置を取り囲んでおり、かつ、静止した側部と、開放可能な前面パネルおよび上部パネルと、を具備し、開放可能な前面パネルおよび上部パネルは、切断装置へのアクセスのために一体的な組立体として開くように、相互に、かつ、側部パネルのうちの１つのものの一部分に、ヒンジで取付けられている。
（もっと読む）

【課題】 円柱形の鉄系金属部品の稜角部の丸み付け加工をするための加工方法において、外周面側ダレ量と端面側ダレ量との近似化が容易で、更には、短時間で丸み付け加工が済む鉄系金属部品の加工方法を提供すること。
【解決手段】 円柱形の鉄系金属部品（ワーク）の両側の端面Ｗ1の角部Ｗ２に丸みＲ付けをするための加工方法。ワークＷの多数本を同時処理するバレル研磨工程により行う。該バレル研磨工程を、
１）ワークＷの角部Ｗ２を塑性変形させて、該端面Ｗ１の外周端部に、湾曲凸部ａを、前記端面Ｗ１に前記ワークの外径より小さい径の平面部ｂを残して形成する第一工程、及び、２）湾曲凸部ａを研磨除去して、端面Ｗ１の角部Ｗ２に丸みＲが形成されるようにする第二工程、とで行なう。 （もっと読む）

【課題】研磨工具を被加工面に圧接して回転させ、微粒子を含むスラリー状の研磨液を供給しながら研磨加工を行う研磨装置において、研磨液が装置内部へ侵入して回転精度の低下等を招くのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具１の回転軸に形成された中空部１ａから微粒子を含むスラリー状の研磨液１１を導入し、被加工物２２との圧接部位２３に供給しながら研磨する。他方、研磨工具１を回転支持する軸受の隙間８ａ、８ｂには、研磨液１１の溶媒と同じ液体１６を供給し、研磨液１１の微粒子が軸受の隙間８ａ、８ｂに侵入するのを防ぐ。研磨液導入穴３と軸受の隙間８ａとは連通しており、液体１６の供給圧力は、研磨液１１の供給圧力より高くする。 （もっと読む）