【課題】 切削ブレードの状態を正確に検出可能な切削方法を提供することである。
【解決手段】 切削ブレードで被加工物を切削する切削方法であって、切削ブレードを切削開始位置に位置づけて被加工物へ切り込ませつつ、該切削ブレードと被加工物とを相対的に加工送りして被加工物を一方向に切削する切削ステップと、該切削ステップを実施した後、該切削ブレードを被加工物へ切り込ませない退避位置に位置づけて該切削ブレードと被加工物とを該一方向と反対方向に相対移動させ、更に該切削ブレードを該切削開始位置に位置づける切削ブレード戻しステップと、該切削ブレード戻しステップの実行時に、該切削ブレードの外周縁を挟んで配設された発光部と受光部とを備えたブレード検出手段で該切削ブレードの状態を検出するブレード検出ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加工品質の悪化や加工不良、ウエーハの破損を抑制可能なリチウムタンタレートの加工方法を提供することである。
【解決手段】 リチウムタンタレートを研削又は研磨するリチウムタンタレートの加工方法であって、リチウムタンタレートをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該チャックテーブルで保持されたリチウムタンタレートを加工手段で研削又は研磨する加工ステップとを備え、該加工ステップでは、低温の加工水をリチウムタンタレートと該加工手段へ供給しつつ、研削又は研磨を実施する。 （もっと読む）

【課題】薄板状の被加工物の端面を的確且つ安全に研削加工を行うことができる研削装置を提供する。
【解決手段】外周に被加工物Ｗの端面を研削可能な研削面を有し回転する砥石６１と、この研削面で被加工物Ｗの端面を研削するよう砥石６１及び被加工物Ｗを相対的に移動する移動手段と、砥石６１の周囲に略等角度間隔に配設され研削面に液体を微粒子化して噴射する複数の噴射ノズル１１２と、被加工物Ｗに接触する砥石６１の研削加工位置を基準として砥石６１の回転方向後方に液体が噴射されるよう複数の噴射ノズル１１２の噴射を制御する制御手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】バルブの開閉操作部材を誤操作するおそれを少なくして操作性も良好とする。
【解決手段】ホース１４と、レバー１３を有するバルブ１２とを備えてホース１４から供給される水を回転軸４から噴出可能としたディスクサンダ１において、ハンドル８の下部に、トリガー９を含むハンドル８の下側空間を囲んでハンドル８とループ状に繋がるガード部１０を延設して、ガード部１０内にホース１４の一部を挿通させると共にバルブ１２を収納して、レバー１３を下側空間内に突出させた。 （もっと読む）

【課題】ボンディング工程でのボンディング不良を低減可能な切削方法を提供する。
【解決手段】第１分割予定ラインＳ１及び該第１分割予定ラインＳ１に交差する第２分割予定ラインＳ２と、該第１分割予定ラインＳ１上に形成された特性評価用金属素子と、各領域に形成された複数のデバイスとを備え、ボンディングパッドは該特性評価用金属素子に比べてイオン化傾向が大きい金属から形成されているデバイスウエーハＷへ純水を含む切削水を供給しつつ該分割予定ライン上を切削ブレードで切削する切削方法であって、該デバイスウエーハＷに該切削水を供給しつつ、複数の該第２分割予定ラインＳ２を該特性評価用金属素子とともに切削ブレードで切削する第１切削ステップと、該第１切削ステップを実施した後に、該デバイスウエーハＷに該切削水を供給しつつ、複数の該第１分割予定ラインＳ１を切削ブレードで切削する第２切削ステップと、を具備した。 （もっと読む）

【課題】管理の負担軽減およびコストの低減が図られる研削加工ツールとする。
【解決手段】複数の砥石４１９が配設されるとともに研削液供給用のノズル４２２が形成される基台部４０を、砥石４１９が配設された第１の部位４１と、第１の部位４１から分離可能でノズル４２２が形成された第２の部位４２とからなる構成とし、消耗する砥石４１９が配設された第１の部位４１のみが消耗品として扱われ、ノズル４２２が形成されている第２の部位４２は交換せずに使用できるものとする。 （もっと読む）

【課題】表層酸化物を効率よく除去する高張力鋼板の製造方法を提供する。
【解決手段】質量％で、Ｓｉ及びＭｎをそれぞれ０．５％以上含有する高張力鋼板を連続焼鈍した後に鋼板表面粗さＲａを測定し、該鋼板に対して、酸洗処理を行い、続いて、表面研削し、表面研削後の鋼板表面粗さＲａを測定し、その測定値が前記連続焼鈍後の鋼板表面粗さＲａよりも小さくなるように、前記表面研削時に供給されるクーラントの流量を調整することを特徴とする化成処理性に優れた高張力鋼板の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 加工工具（研削砥石や研磨バフ等）の中心内部から外周面に低温の冷却気体や高圧冷却液を浸透噴出して加工点を直接冷却するものにして、冷却気体や高圧冷却液が効率良く加工点に集中して噴出誘導する加工制御装置を提供する。
【解決手段】 通気性の気泡状砥石１０Ａ又は台金部分１０Ｘに通気回路・通液回路Ｊを設けた電着砥石１０Ｂや研磨バフ１０Ｃ等の加工手段１０と、上記加工手段はこの回転軸中心にあけた通孔４Ａから内部を浸透して外周縁部の加工点Ｐへ冷却気体Ｋ１を供給する冷気供給部材ＬＫと、上記加工手段を包囲しこの外周縁部から噴出する冷却気体Ｋ１をワークＷの被研削面の加工点Ｐに集中誘導する開口部２０Ｚを有する円筒カバー体２０と、を備えた加工制御装置１００。 （もっと読む）

【課題】マグネシウム合金板の表面を平滑に湿式研磨した場合に、その表面に研磨焼けが生じにくく、縞模様が目立たないようにすることができるマグネシウム合金板の研磨方法およびその研磨方法によって作製されたマグネシウム合金板を提供する。
【解決手段】マグネシウム合金板の研磨方法は、搬送されるマグネシウム合金板Ｐの表面を、研磨液１３の使用下で研磨ベルト１Ａ（研磨材）により研磨する研磨工程を具える。そして、研磨液１３は、研磨ベルト１Ａの幅方向の局所に噴射されることなく、マグネシウム合金板Ｐの上に噴射される。そうすることで、研磨液１３をマグネシウム合金板Ｐの表面幅方向全体に均一に広げられ、マグネシウム合金板Ｐの幅方向に対して、研磨液１３の濡れ状態に局所的な差が生じることを緩和することができる。 （もっと読む）

【課題】研削の際に高速回転されるホイールマウント及び研削ホイールの結合部から研削液が漏出することなく、そしてまた結合部の腐食が回避される研削装置を供給する。
【解決手段】回転スピンドル３２と、ホイールマウント３４と、基台４０と、砥石４２から構成されホイールマウント３４の下面３４ｂに装着される研削ホイール３６とを含む研削手段を備える。ホイールマウント３４の下面外周部には、研削ホイール３６の基台４０の上面４４aが当接される上面被装着面と基台４０の内周面４４ｃが嵌合される内周面被装着面とが形成されている。ホイールマウント３４には砥石４２に研削液を供給する研削液供給路５８が形成され、研削液供給路５８から流出した研削液を砥石４２に導く研削液案内路４８を規定するための円環形状の研削液案内路規定部材５０が、ホイールマウント３４の下面３４ｂで且つ内周面被装着面の内周側に配設されている。 （もっと読む）