【課題】装置の稼動を停止する際に、水供給配管内の水分を排出可能な加工装置を提供する。
【解決手段】親配管６８と、子配管７２ａ、７２ｂ、７２ｃと、エア供給源６６からのエアを供給するエア供給配管７８と、親開閉バルブ８２と、エア開閉バルブ８６と、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃと、親開閉バルブ８２、複数の子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃ及びエア開閉バルブ８６の開閉タイミングを制御する制御手段とを具備し、制御手段は、選択された水噴出部位に水を供給する際は、エア開閉バルブ８６を閉じ、親開閉バルブ８２を開け、子開閉バルブを開けるように制御し、親配管６８及び子配管内に残留する水を排出する際は、親開閉バルブ８２を閉じ、エア開閉バルブ８６を開け、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃを全て閉じた後、子開閉バルブ８４ａ、８４ｂ、８４ｃを一つずつ開けてから閉じるように制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークとこのワークを加工する加工工具とが接触する位置に効率良く加工液を供給すること。
【解決手段】ある実施の形態における加工装置は、ワークＷに接触してワークＷを研削加工する研削工具９と、研削工具９を下側先端部に装着し、鉛直方向を回転中心として回転可能に支持する回転軸７２とを有する加工機構を備える。また、加工装置は、ワークＷと研削工具９との接触位置に加工液を供給する加工液供給ノズル１０を備える。回転軸７２は、軸心位置を鉛直方向に貫通する貫通孔を有し、加工液供給ノズル１０は、貫通孔７２１に挿通されて回転軸７２と接触しないように固定された貫通管部１１と、加工液を噴出する噴出口１２３が形成され、貫通管部１１の下側先端部に装着された噴出部１２とを有する。 （もっと読む）

【課題】切削屑の混じった切削水の飛散の影響を受けることなく、環状ブレードの切り刃の摩耗及び欠けの検出を正確に行う切削装置を提供する。
【解決手段】基台１２０から外周側に突出した切り刃１２１を有する環状ブレード１２と、環状ブレード１２に切削水を供給する切削水供給ノズル１３２と、環状ブレード１２の状態を検出するブレード検出手段１４とを備えた切削装置において、ブレード検出手段は、切り刃１２１が進入するブレード進入部において互いに対向して配設される発光体及び受光体を備え、ブレードカバー１３には、切削水供給ノズル１３２より環状ブレード１２の回転方向Ａ下流側でかつブレード検出手段１４より環状ブレード１２の回転方向Ａ上流側に、切削水供給ノズル１３２とブレード検出手段１４との間を仕切るためのブラシ状仕切り部材１５を配設し、環状ブレード１２の高速回転に伴うブレード検出手段１４への切削水や切削屑の回り込みを遮断する。 （もっと読む）

【課題】 ホイールマウントに研削屑が固着することのない研削装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削砥石が環状に配設された研削ホイールを回転可能に支持する研削手段と、被加工物と該研削砥石とに研削水を供給する研削水供給手段とを備えた研削装置であって、該研削手段は、回転駆動されるスピンドルの先端に固定された該研削ホイールが着脱自在に装着されるホイールマウントを含み、該研削ホイールが着脱自在に装着される該ホイールマウントの装着面にはＤＬＣがコーティングされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加工水の温度を所定の温度に調整可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工工具を有する加工手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物と該加工工具に加工水を供給する加工水供給手段と、使用済みの加工水を排水する排水手段と、加工水源に接続され該加工水供給手段に所定の温度の加工水を導入する温度調整手段とを備えた加工装置であって、該排水手段に接続されて加工装置からの廃液を収容する廃液収容器と、該加工水源に接続されて加工水を該廃液収容器に導入して排液と加工水の間で熱交換する熱交換部と、該熱交換部を通過した加工水を該温度調整手段に導入する導入部とから構成された熱交換手段を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
高い加工精度を実現する固定砥粒を用いた研磨装置を提供する。
【解決手段】
被加工物の被加工面を研磨する研磨装置は、第１の回転軸を中心に回転する定盤と、定盤の上面に取り付けられ、被加工物の被加工面と接触する加工面が設けられ、砥粒、結合材及び気孔を有する多孔質砥石と、第１の回転軸とずれた第２の回転軸を中心に回転し、定盤上の多孔質砥石の加工面と被加工物の被加工面を接触させた状態で多孔質砥石と被加工物とを相対的に摺動させながら複数の被加工物を保持する保持部と、定盤に形成され且つ定盤の上面に開口し、多孔質砥石の気孔を介して多孔質砥石の加工面と連通する通水用流体通路と、通水用流体通路と接続し、通水用流体通路に加圧された水を供給するポンプと、定盤と保持部の回転を停止させる停止信号を検出すると、ポンプを作動させ、ポンプから供給された水を通水用流体通路、さらには気孔を介して加工面に吐出させる制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】切削ブレードの状態検出を行う検出手段の発光面及び受光面が加工屑によって汚れるのを抑制する。
【解決手段】切削ブレード３１を覆うブレードカバー３２と、発光面３８０と受光面３８１とを結ぶ光軸３８２が切削ブレード３１の刃先によって遮蔽される量に基づいて切削ブレード３１の状態を検出する検出手段３８と、切削により飛散する切削水を排出する排出手段とを備えた切削装置において、ブレードカバー３２は発光面３８０、受光面３８１にそれぞれ流体を供給する第一、第二の噴出口３９０、３９１を有し、第一、第二の噴出口３９０、３９１は、切削ブレード３１の半径方向外側かつ発光面３８０及び受光面３８１と排出手段との間に形成して発光面３８０、受光面３８１の汚れを抑制し、第一、第二の噴出口３９０、３９１から噴出される流体が発光面３８０、受光面３８１に到達するまでの経路が切削ブレード３１を避けるようにして切削ブレード検出の正確性を確保する。 （もっと読む）

【課題】固定ネジの弛みによる切削液ノズルとワークとの接触を防止することができると共に、高精度な高さ調整を行うことができる切削装置を提供すること。
【解決手段】切削ブレード４１の一部を露出させて囲むブレードカバー４３と、切削ブレード４１を挟んで対向する対向噴射ノズル４７を支持する後方ノズル支持ブロック４８とを備え、後方ノズル支持ブロック４８をブレードカバー４３に回転可能に支持された送りネジ６７に螺合させることで、後方ノズル支持ブロック４８を鉛直方向に移動可能にブレードカバー４３に連結し、固定ネジ８２の締め付けにより後方ノズル支持ブロック４８をブレードカバー４３に対して固定する構成とした。 （もっと読む）

【課題】研磨される基板が載置される研磨ステージから流下する砥液または洗浄液を回収する側溝内で、これらの液が滞留してしまうことが防止される基板研磨装置を提供すること。
【解決手段】研磨される基板Ｗが載置される研磨ステージ３から流下する砥液または洗浄液を回収する側溝１０内に、その側溝１０の下流側に向けて流体を噴出するノズル２０が設けられることにより、側溝１０内の液をノズル２０から噴出される流体の圧力によって押し流すことができ、側溝１０に傾斜が全くないか、傾斜があってもその傾斜が十分に急ではなく砥液や洗浄液が流れにくい場合でも、側溝１０内の砥液や洗浄液の流れをスムーズにしてこれらを十分に回収することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】低コストでしかも高精度な内面を有する導電性ローラ用金型の製造方法、および、それに用いる金型加工機を提供する。
【解決手段】パイプ部材３０の内面を、研削部を有するホーニングツールをパイプ部材３０の一端から他端まで移動させることにより加工するとともに、該加工に際して、前記パイプ部材の他端から一端に向かって潤滑液３５を流動させる。 （もっと読む）