【課題】真円度、円筒度及び研削能率を向上させる配置の砥石を有する研削工具を提供する。
【解決手段】複数スリットを有する円柱状ホルダと、ホルダと同軸的に内包されるテーパコーンと、コーンに支承され複数スリットの各々に内包されるシューと、シューに取り付けられホルダから突出する砥石を備え、コーンの軸方向の進退によりシューが進退自在な研削工具で、ホルダは、ホルダ内部にクーラントを供給する流入口と、ホルダ内に流入したクーラントを排出するスリットに形成された複数の排出溝とを備え、隣接する砥石がなす角のうち少なくとも一箇所は角度が大きく、それ以外の箇所は角度が小さくなるようホルダの回転軸を中心とする円周上に砥石が配置され、砥石数は６枚であり、そのうち４枚の砥石は、回転軸に関して向かい合う９０度以上の二領域を区画するように配置され、残りの２枚の砥石は、各々９０度以上の領域以外の領域に１枚ずつ配置される。 （もっと読む）

【課題】 Ｒｘ０．０１μｍ、Ｒｙ０．１０μｍ前後の鏡面を有する長さが５〜１０ｍのＴ−ダイを製作加工する。
【解決手段】 平面研削装置の機枠６の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管２０ａ，２０ｂよりクーラント液を常時ワークｗを固定する磁気チャック１３表面に供給して磁気チャック表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、ダイヤモンド砥石車３による２ステージ以上の研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】クーラント熱に対する断熱効果を有効に発揮でき、しかも積極的な冷却効果が期待できる工作機械を提供する。
【解決手段】装置本体２上の工作具にクーラントＣを供給してワークに対して工作を行う工作機械である。機械全体が全体カバー１０にて覆われる。クーラントＣを機外へ排出するクーラント排出路１５と、クーラント排出路１５に沿って配設させてミストＭを機外へ排出するミスト排出路１６とを備える。さらに、機内のミストＭをミスト排出路１６を介して機外へ排出することにより、外気を機内に導入して、その外気の循環によって、装置本体２へのクーラントＣの熱の伝達を抑制する断熱機構５０を備える。 （もっと読む）

【課題】 長さが５〜１０ｍのＴ−ダイを真直度１．０μｍ以下の精度に加工したい。
【解決手段】 平面研削装置の機枠６の前後に取り付けた一対のワーク表面クーラント液供給管２０ａ，２０ｂよりクーラント液を常時ワークｗ表面に供給してワーク表面全域にクーラント液膜を形成させてワーク全域温度を一定に保ち、砥石車３による研削加工を行う。 （もっと読む）

【課題】加工体を切削する切削砥石の外周と加工体間の加工点へクーラントを的確に供給し、切削砥石に構成された砥石等の切刃部の磨耗を抑制すると共に加工体の品質向上を図れるようにする。
【解決手段】台金１７の外周部に砥石１８を固着した切削砥石において、台金１７の回転中心部にクーラント供給口２３を設け、台金１７の外周部や砥石１８にはクーラントを噴出するクーラント噴出口２１を設ける。これらクーラント噴出口２１とクーラント供給口２３とを連通する密閉されたクーラント通路２０を切削砥石２内に設ける。クーラント通路２０を通じてクーラント噴出口２１からクーラントを噴出することができるので、切削砥石２を回転して加工体を切削するに際し、切削砥石２の外周と加工体間の摩擦熱の発生する加工点へ的確にクーラントを供給でき冷却及び遊離粉の除去を確実に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】微細バブルを含む切削液を加工具の板状物に対する加工により有効に利用することができる機械加工装置を提供することである。
【解決手段】回転する円盤状の加工具１８が切り込んで板状物Ｗを加工する機械加工装置であって、回転する前記加工具１８の前記板状物Ｗに切り込む側の端面に対して微細バブルを含む第１切削液を吹き付ける第１の機構１４、１５と、回転する前記加工具１８の両側面の少なくとも一方に対して微細バブルを含む第２切削液を吹き付ける第２の機構１６、１７とを有し、前記第２切削液に含まれる微細バブルのサイズは前記第１切削液に含まれる微細バブルのサイズより大きい構成となる。 （もっと読む）

【課題】研削砥石による研削加工部に供給された研削水の流動性を良好にすることにより、脱落した砥粒や研削砥石に詰まった砥粒を流すことができる研削装置を提供する。
【解決手段】被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を研削するための研削手段と、研削手段による研削加工部に研削水を供給する研削水供給手段とを具備し、研削手段がスピンドルハウジングと、スピンドルハウジングに回転自在に支持された回転スピンドルと、回転スピンドルの一端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントに取り付けられたホイール基台とホイール基台の下面外周部に装着された環状の研削砥石とからなる研削ホイールを具備している研削装置であって、研削手段による研削加工部に供給された研削水に超音波振動を付与する超音波振動付与機構を備えている。 （もっと読む）

【課題】工具回転軸端から供給したクーラントを砥石外周面から噴出させて、装置内のどの位置においてもクーラントを用いた研削加工を可能にする。
【解決手段】回転軸の内部を貫通する流路が形成される工具回転軸２と、工具回転軸の流路と連続する流路を供える工具ホルダ３と、工具ホルダ３の流路は装着される砥石内周面４ａに通じており、装着された砥石４は内周面４ａから外周面４ｂに向かって連通する空孔を供える構成で、前記工具回転軸２の一端からクーラントＬを注入して、工具ホルダ３を経由し、次いで、砥石４の内周面４ａから外周面４ｂに向かい、最終的に外周面４ｂから放出される構造の工作機械で、工具である砥石４からクーラントＬが噴出されるので、砥石４が到達できる機械内の範囲であればどの位置でも研削加工が可能となる。 （もっと読む）

【課題】安定した品質のチップを効率よく得ることができる。
【解決手段】レーザー光をウェハＷ内部に照射して、ウェハＷの表面から略６０μｍ〜略８０μｍの深さに切断ラインＬに沿って改質領域を形成し（ステップＳ１０）、ウェハＷの表面から略５０μｍの基準面までウェハＷを裏面から研削する（ステップＳ１２）。このとき、改質領域内のクラックが、基準面とウェハＷ表面との間に進展される。その後、研削によりウェハＷの裏面に形成された加工変質層が除去され、ウェハＷ裏面が鏡面加工され（ステップＳ１４）、ウェハＷ裏面にエキスパンドテープが貼付され（ステップＳ１６）、エキスパンドテープが外側へ拡張されると、ウェハＷが切断ラインで破断されてチップＴに分割される（ステップＳ１８）。 （もっと読む）

【課題】ハウジングを長くしなくても工具カバーをプラグと干渉することなく装着すると共に、装着した工具カバーの回り止め及び抜け止めも低コストで合理的に行う。
【解決手段】工具１０を覆うカバー部１７と、ベアリングボックス７の下部に外装されるリング状のバンド部２０とを含んでなる工具カバー１６を備え、ベアリングボックス７の後面に流体供給口１２を開口する円形突起１３を突設させたディスクサンダ１において、バンド部２０を、前バンド２２と後バンド２３とに分割して流体供給口１２を含むベアリングボックス７の外周部分に沿って外装させると共に、後バンド２３における流体供給口１２との重合部に、ベアリングボックス７への外装状態で円形突起１３が嵌合してバンド部２０の周方向の回り止めと下方への抜け止めとを行う逃げ部２９を形成した。 （もっと読む）