【課題】研磨工具を被加工面に圧接して回転させ、微粒子を含むスラリー状の研磨液を供給しながら研磨加工を行う研磨装置において、研磨液が装置内部へ侵入して回転精度の低下等を招くのを防ぐ。
【解決手段】研磨工具１の回転軸に形成された中空部１ａから微粒子を含むスラリー状の研磨液１１を導入し、被加工物２２との圧接部位２３に供給しながら研磨する。他方、研磨工具１を回転支持する軸受の隙間８ａ、８ｂには、研磨液１１の溶媒と同じ液体１６を供給し、研磨液１１の微粒子が軸受の隙間８ａ、８ｂに侵入するのを防ぐ。研磨液導入穴３と軸受の隙間８ａとは連通しており、液体１６の供給圧力は、研磨液１１の供給圧力より高くする。 （もっと読む）

【課題】メタルボンド砥石の外周面が均等に電解ドレッシングされ、ワークの加工精度及び安定した研削品質が確保できる研削加工装置を提供する。
【解決手段】メタルボンド砥石３を回転してワークＷを研削加工すると共に、研削液の存在下で回転するメタルボンド砥石３と電解ドレッシング用電極２０に通電して電解ドレッシングする研削装置１において、電解ドレッシング用電極２０に形成した第１〜第５研削液吐出孔２７ａ〜２７ｅから研削液をメタルボンド砥石３の外周面４の全幅に亘って直撃するように電解ドレッシング用砥石３と電解ドレッシング用砥石２０との間に供給する。電解ドレッシング用砥石３の外周面４と電解ドレッシング用砥石２０の電極面２５との間に研削液が保持されてメタルボンド砥石３の外周面４が均等に電解ドレッシングされる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハ等の被加工物の研削時における研削砥石のドレッシングを不要として研削の生産性をより向上させる。
【解決手段】研削液供給手段２２から研削砥石２１３ｂに研削液を供給しながらチャックテーブル２０に保持された被加工物に対して研削砥石２１３ｂを作用させて研削を行う被加工物の研削方法において、研削砥石２１３ｂは、ダイヤモンド砥粒をビトリファイドボンドで固めたビトリファイド砥石とし、研削液供給手段２２から供給される研削液は、ビトリファイドボンドを浸食して研削砥石の自生発刃作用を促進する二酸化珪素溶融液とする。 （もっと読む）

【課題】加工液を供給しながらレンズを加工する加工技術において、加工液の供給経路の保守管理を容易化する。
【解決手段】スピンドル４に支持された砥石ホルダ３に固定された加工砥石２に加工液１０ａを供給しつつレンズ１を押圧して研磨加工するレンズ加工装置Ｍ１において、加工液１０ａの供給路であるスピンドル４の軸貫通穴４ａに隙間ｇをなして非接触に加工液供給管５の挿入端部５ａを挿入し、ポンプ９から加工液供給管５、軸貫通穴４ａ、砥石ホルダ３の貫通穴３ａ、加工砥石２の加工液供給穴２ａを通じて加工液１０ａを供給する構成とした。加工液１０ａの供給経路にスピンドル４の回転による摩擦や摩耗を伴う構成が存在しないため、メンテナンスを大幅に簡易化できる。 （もっと読む）

【課題】被研磨物のスクラッチの原因となっている乾燥固化したスラリの研磨パッド上への落下を防ぐことができるＣＭＰ装置を提供する。
【解決手段】廃液槽２内に配置され、円周方向に回転自在な所定の厚みを有するプラテン３と、前記プラテン３に貼着された研磨パッド４と、被研磨物５を前記研磨パッド４に押し付け自在なキャリア６と、前記研磨パッド４上にスラリを滴下自在なスラリ供給装置と、を有し、前記プラテン３の周縁部外方に位置する前記廃液槽２の側壁２ｃの内側が、外方に膨出するように湾曲されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 加工水を節約可能な加工装置のアイドリング方法を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物に加工水を供給しながら加工を施す加工手段とを備えた加工装置のアイドリング方法であって、加工水を間欠的に供給しながらアイドリングを遂行する。好ましくは、間欠的に供給される加工水は１０秒の間に１〜２秒供給される。 （もっと読む）

【課題】希土類磁石のマルチ切断において、従来に比べて少量の研削液を効果的に切断加工点に供給し、高精度な切断を高速に行う。
【解決手段】薄板円板状又は薄板ドーナツ円板状の台板の外周縁部に砥石外周刃を備える切断砥石ブレードを回転軸にその軸方向に沿って所定の間隔で複数配列してなる希土類磁石を切断するためのマルチ切断砥石ブレードに研削液を供給するための研削液供給ノズル２であって、一端側に研削液の導入口が形成され、他端側に各々の切断砥石ブレードに対応する複数のスリット２１が形成され、かつ各々のスリットに各々の切断砥石ブレードの外周部を挿入可能に構成されてなる研削液供給ノズル。 （もっと読む）

【課題】低コストで簡易な構成でありながら高い熱除去性能をもつクーラント供給システムを提供する。
【解決手段】砥石Ｇと、工作物Ｗとを相対移動させて工作物Ｗを砥石Ｇにより研削点Ｐにクーラントを供給しながら研削加工する研削装置１におけるクーラント供給システムにおいて、クーラント供給システム５を構成する第１クーラント供給装置３７が研削点Ｐに供給するクーラントは飽和水蒸気を所定温度まで加熱した過熱水蒸気とする。 （もっと読む）

【課題】 遠心分離機の脱水槽から加工屑を容易に取り出すことができ、脱水槽の回転時に異常な振動の発生を抑え、作業者の手を汚す可能性を低減できる加工屑処理装置を提供する。
【解決手段】 眼鏡レンズ加工装置からの加工屑を含む研削水が排出される脱水槽を持ち、脱水槽の回転により研削水と加工屑を分離する遠心分離機を有する眼鏡レンズ加工用の加工屑処理装置は、脱水槽の内部に入れられ、眼鏡レンズ加工装置からの加工屑を含む研削水が排出される加工屑回収容器を備え、加工屑回収容器は脱水槽の内側側面及び内側底面の内部形状に略一致する外形形状の側壁部及び底面部であって、脱水槽の内側側面の内径より小さな外径の側壁部及び底面部と、底面部の略中央又は前記側壁部の上端に設けられ、操作者が手で持つ取出治具のフックが引っ掛けられるか、または操作者の指に係合される係合部と、を有する。 （もっと読む）

【課題】作業者の作業性を改善したり、ベッドの熱変形状態を均一にして加工精度を高めることができるセンタレス研削盤を提供する。
【解決手段】センタレス研削盤１は、ベッド１１、砥石車２０、調整車２１、砥石台２２、調整車台２５、支持刃１３、研削液を吐出するノズル体３０、研削液を機外に排出する排出機構４５を備えており、排出機構４５は、砥石車２０とワークＷとの接触部よりも下方で調整車台２５の周縁部に固設された受け部材４６と、ベッド１１の砥石台２２側の端部に長手方向が砥石車２０の軸線方向に沿うように配置され、研削液を機外に排出する樋状の排出部材５０と、ベッド１１に長手方向が砥石車２０及び調整車２１の対向方向に沿うように配置され、一端が受け部材４６に接続するとともに他端が排出部材５０に接続して、受け部材４６側から排出部材５０側に向けて研削液を流通させる複数の樋状の接続部材５１とから構成される。 （もっと読む）