【課題】研削時に発生する研削屑の除去効果を向上させること。
【解決手段】回転軸４２には、液体を供給する液体源に連通する液体連通路４２１が上下方向に伸びるように形成され、工具マウント４４は、液体連通路４２１に連通する第１流路４４１と、第１流路４４１の下側先端部から回転軸４２に対して放射方向に分岐して形成され、ワークＷに向かって液体を噴出する噴出口５２２に連通する第２流路４４２と、第２流路４４２の中間部に気体を取り込む気体流入口４４３と、を有し、液体源から供給された液体が、回転軸４２の回転により第２流路４４２内で生成される遠心力によって気体流入口４４３から取り込まれた気体と第２流路４４２内で混合され、噴出口５２２からワークＷに向かって混合流体が噴出するようにした。 （もっと読む）

【課題】迅速にワイヤの断線を検出可能なワイヤソー切断装置を得ること。
【解決手段】ワイヤ２が複数回掛け回されるガイドローラ１と、ガイドローラ１を回転させてワイヤ２を走行させるモータ９と、ワイヤ２の表面に通電性を有するアルカリ性スラリー４を付着させるスラリーノズル７と、を有し、アルカリ性スラリー４が表面に付着したワイヤ２によってシリコンインゴット６を切断するワイヤソー切断装置であって、アルカリ性スラリー４が表面に付着した走行中のワイヤ２がシリコンインゴット６を切削している際の切削抵抗を測定し、切削抵抗の検出結果に基づいてワイヤ２の断線の有無を判断する演算機１５とを有する。 （もっと読む）

【課題】低コストでしかも高精度な内面を有する筒状金型の製造方法を提供する。
【解決手段】筒状金型を形成するに際し、鋳鉄製パイプ８の内面８ｂを機械加工したあと、鋳鉄製パイプ８の内面８ｂにメッキを施し、その後、研削加工する。 （もっと読む）

【課題】照明機器で照らしたワークをカメラで撮影して、その撮影データを利用してワークの研削加工を行う研削装置において、照明機器の照射した光が外部に漏れるのを確実に防いで、ワークの位置が撮影データで明確に分かるようにすることで、研削加工の精度を高めることができ、また、照明機器が研削用冷却水の影響を確実に受けないようにすることで、照明機器の照明性能を維持できるようにした、研削装置を提供する。
【解決手段】照明枠５２を、照明移動ユニットによって、ワークＷの撮影時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの内方側に位置させて、ワークＷの研削加工時にはキャッチパン３６の側壁３６ａの外方側に位置させるようにしている。 （もっと読む）

【課題】 研削加工において、安全性を重視して作業性も損なわずに、加工時の発熱を抑制して、生産性及び加工時の精度を向上させる冷却装置が求められていた。
【解決手段】 研削盤の冷却液用の配管に三方継手１を備え、直進する冷却液の流れに交錯する側に圧縮空気の供給用バルブ４とノズル２を配し、減圧弁３にて冷却液の流体圧力より低く調整された圧縮空気をバルブ４で空気量を調整可能にして、吐出口６に至る隙間において、冷却液と空気を混ぜ合わせ、吐出口６より加工物７の研削面と砥石８に噴き付けるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤーの断線率が低減されるワイヤーソー装置を提供すること。
【解決手段】 表面に砥粒が固着されたワイヤー３と、ワイヤー３の上に設置される被加工物を接着するスライス台２と、スライス台２を保持するベースプレート１０と、ベースプレート１０を固定する装置固定体１１と、被加工物１の切断部分に加工液を供給する供給ノズル４と、を備え、ワイヤー３の走行方向において、被加工物１の端部より外側に、スライス台２、ベースプレート１０または装置固定体１１の一部を位置させた突出部を有し、被加工物１とスライス台２との界面ｅから突出部までの距離ｄが、加工液の跳ねを受けない距離に設定されていることを特徴とするワイヤーソー装置Ｓ１とする。 （もっと読む）

【課題】固定砥粒ワイヤーソーを用いてシリコンインゴットをスライス加工するに際し、スライス加工に要する固定砥粒ワイヤーの使用量を極力低減し、製造コストを大幅に削減することが可能なシリコンインゴットの切断方法およびワイヤーソーの提供。
【解決手段】複数本のローラーの周面に対して一定のピッチで螺旋状に巻き回された固定砥粒ワイヤーを、該ワイヤー上にクーラントを供給しながら走行させるとともに、前記ワイヤーがシリコンインゴットの切断加工時に通過する前記シリコンインゴットの加工側面部にも前記クーラントを供給した状態で、該ワイヤーに対して前記シリコンインゴットを相対的に移動させ、前記シリコンインゴットをスライス加工して複数枚のシリコンウェーハとすることを特徴とする、ワイヤーソーによるシリコンインゴットの切断方法。 （もっと読む）

【課題】砥石に向けて切削水を吐出するノズルの位置調節を高精度な位置調節機構を用いることなく粗く行なった場合でも、加工装置の加工精度を高い状態に維持することができる。
【解決手段】加工装置において、回転して被加工物Ｗを切断もしくは被加工物Ｗに対して溝入れする円板状の砥石１と、砥石１の外周部に設けられた切削部５に砥石１の径方向から対向するとともに切削部５の幅方向に位置調節可能に設けられ、砥石１に向けて切削水Ｌを吐出するノズル７と、を備え、ノズル７の断面形状は、切削部５の幅方向に沿った方向の寸法“ａ”が、切削部５の周方向に沿った方向の寸法“ｂ”より大きい矩形状、もしくは楕円形状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】機械構造が複雑にならずに一定位置にクーラントを容易に供給し研削焼けを防止できる内面研削装置を提供する。
【解決手段】主軸１と、主軸１と一体に回転可能に取り付けられたバッキングプレート３と、該バッキングプレート３の支持部３１に当接させた環状被加工物の内周面を研削する回転砥石５と、を備え、クーラント供給路からクーラントを供給しながら環状被加工物を研削する内面研削装置１０であって、クーラント供給路は、環状被加工物の加工点とその円周上に向けて指向している。 （もっと読む）

【課題】クーラントの流量切替え時に発生する径方向の切込みを防止でき、しかも、端面方向の切込みによる発熱を抑制できる研削盤を提供する。
【解決手段】工作物Ｗの粗研削時に大流量のクーラントを工作物に供給するとともに、工作物の仕上研削時にクーラント流量を小流量に切替えるクーラント供給手段４９と、粗研削終了後であってかつクーラント流量が大流量から小流量に切替えられる前に砥石台１７をバックオフさせるバックオフ実行手段（Ｓ４）とを備えた。 （もっと読む）