【課題】ダストケース内に収容された粉塵が満量になった状態で、運転が継続されてしまうという事態を好適に回避することができるコンクリート等の切削装置を提供する。
【解決手段】集塵装置によって回収された粉塵を収容するダストケース４が機体２内に保持されるように構成され、ダストケース４の内側には、インナートレイ６が配置され、インナートレイ６は、ダストケース４の底面の上方において弾性的に支持されることにより、粉塵の蓄積量に応じて下降するように構成され、インナートレイ６内の粉塵が満量となり、インナートレイ６が満量位置まで下降した場合に、この状態を検知する満量検知手段（接近スイッチ８、マグネット９）、及び、この状態を報知する満量報知手段を有していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】切断部位に注水してカッタの冷却若しくは切断粉の飛散防止を図るための注水タンクを備えた注水カッタが提供されている。従来、ハンドル部に対するタンク本体の位置によりその重量バランスが損なわれる問題があった。本発明では、この重量バランスの問題を解消する。
【解決手段】平面視でタンク本体２１をハンドル部１０に対して鋸刃とは反対側に配置する。また、平面視でタンク本体２１をハンドル軸線Ｈに対して傾斜配置することにより、その重心位置を従来の平行配置よりもハンドル部１０に接近した位置に設定する。 （もっと読む）

【課題】エアーカッターの圧縮エアーＡの排出を利用することで、比較的安価なコストで集塵機構を一体に設け、且つ効率よく粉塵を回収できるようにする。
【解決手段】圧縮エアーＡで作動する駆動装置２により駆動されて回転するカッター刃４がケーシング３内に設けられ、ケーシング３の円周面カバー部３２に一体に集塵ダクト１１が設けられ、圧縮エアー排気口６と集塵ダクト１１との間に、第１排気管路７と第２排気管路８が設けられ、第１排気管路７の第１エアー吐出口７２及び第２排気管路８の第２エアー吐出口８２が集塵ダクト１１の下流方向に向かって開口されて、集塵ダクト１１内のエアーの流れ方向に沿って並んで配置されている。 （もっと読む）

【課題】 装置サイズが大型化することなく、回転刃の刃先にかかる荷重の微調整ができると共に、スクライブ工程でパーティクルが発生した場合であっても、基板の表面へのパーティクルの付着を防止することができるスクライブ装置を提供するものである。
【解決手段】 スクライブ装置１００は、基板２００に対向させる開口１２ａを有し、回転刃１の刃先１ａが当該開口１２ａから露出する位置に当該回転刃１を内包する筒状の吸込口部１２と、吸込口部１２に連通され、吸込口部１２を陰圧にする減圧装置７０と、吸込口部１２の内部の圧力を検出する第１の圧力検知部８１と、第１の圧力検知部８１の検出結果に基づいて吸込口部１２の内部の圧力を調整する第１の圧力制御部８２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の粒径のシリコン微粒子の比率を抑えた再生クーラント、及びクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、遠心分離ユニット２に使用済クーラント３を供給するクーラント供給工程Ｓ１と、使用済クーラント３を遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、分離した遠心分離液１９を回収する遠心分離液回収工程Ｓ３と、遠心分離液５を膜分離ユニット７に供給する遠心分離液供給工程Ｓ５と、遠心分離液１９を膜分離する膜分離工程Ｓ６と、分離された膜濾過液２１を回収する膜濾過液回収工程Ｓ７とを具備し、再生クーラント４は、残存シリコン成分が再生クーラント全体の０．０１重量％以上、３．０重量％以下であり、残存シリコン成分に含まれる０．１μｍ以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の０．０１重量％以上、３０重量％以下になる。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでクーラントを再生し、回転体に付着したスラッジを除去する機能を有するクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１は、縦型遠心分離装置に洗浄液を吐出する洗浄液吐出工程Ｓ０’と、洗浄液の吐出される縦型遠心分離装置の回転体を遠心分離工程時の回転数よりも低速で回転させ、縦型遠心分離装置に付着したスラッジを洗浄及び除去するスラッジ洗浄工程Ｓ０”と、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに使用済クーラントを供給するクーラント供給工程Ｓ１と、遠心分離ユニットに供給された使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、遠心分離ユニットの縦型遠心分離装置を稼動させた状態で使用済クーラントの供給を間欠的に制御する間欠制御工程Ｓ３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 本発明はシリコンインゴットの切削工程において、従来品より加工熱の冷却性、浸透性、水とシリコンとの反応抑制性、抑泡性が良好であるため、切削加工効率を向上させることができる。また、シリコンウエハの平坦性も良好であるため、過酷なスライス条件下でも被加工面の表面精度を高く維持できる切削液を提供する。
【解決手段】 下記一般式（１）で表される３〜８個の水酸基を有する化合物（ａ）のポリオキシアルキレン付加物（Ａ）と水を必須成分として含有し、該ポリオキシアルキレン付加物（Ａ）のＨＬＢが６．０〜２０．０であることを特徴とするシリコンインゴットスライス用含水切削液。
【化１】


［式（１）中、Ｒは３〜８個の水酸基を有する化合物から水酸基、（Ａ^１Ｏ）は炭素数が２〜４のオキシアルキレン基を除いた残基を表す。ｍは炭素数が２〜４のアルキレンオキサイドの平均付加モル数を表し１〜３５０の数、ｆは３〜８の整数である。］ （もっと読む）

【課題】切削刃による切削にともなって発生する切削粉塵を、切削刃の近傍位置から効果的に吸引除去することができて、切削粉塵が飛散するおそれを抑制することができるカッタ及びカッタ装置を提供する。
【解決手段】カッタ２７のボディ３２を周壁３２ａと底壁３２ｂとよりなる有底円筒状に形成する。ボディ３２の底壁３２ｂの端面には切削刃３３，３４を設ける。ボディ３２の底壁３２ｂには切削粉塵を吸引するための集塵孔を透設する。 （もっと読む）

【課題】小さな駆動力により、コンクリート等の構造物の表面を能率良く剥離することができるとともに、粉塵の飛散を抑制できるコンクリート等の構造物の表面剥離方法及び表面剥離装置を提供する。
【解決手段】ホールカッタを用いて、コンクリート、アスファルト等の構造物Ｓの表面部Ｓａに凹部Ｃを形成する。その後、円盤カッタ４４を用いて、構造物Ｓ上の凹部Ｃの内側面を切り込んで、構造物Ｓの表面部Ｓａを剥離する。 （もっと読む）

【課題】 円筒状インゴットの四側面剥ぎ切断加工を行って角柱状インゴットに形成する際の切断屑の発生量を低下させたい。
【解決手段】 切断装置１の薄い厚みの回転切断刃９１ａ，９１ｂを挟む外周刃横揺れ自己補償機構９６を新たに設けるとともに、インゴットの切断方法を予め回転切断刃９１ａ，９１ｂで１／２カットする溝切加工を行った後、インゴットを回転させて残りの１／２の溝を回転切断刃９１ａ，９１ｂで加工し、側面を切断するハーフカット方法に変更した。 （もっと読む）