【課題】液体吐出ヘッド間における吐出特性のばらつきを抑制することのできる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】成膜手段により導電層の形成されたシリコンウェハ上に強誘電体前駆体膜を成膜する成膜工程（Ｓ２０３）と、加熱手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して強誘電体層を形成する加熱工程（Ｓ２０４，Ｓ２０５，Ｓ２０７）と、冷却手段により前記加熱されたシリコンウェハを冷却する冷却工程（Ｓ２０８）と、を、一連の処理工程として１枚の前記シリコンウェハごとに所定回数繰り返すように有し、前記加熱工程は、加熱焼成手段により前記強誘電体前駆体膜を加熱して焼成する焼成工程（Ｓ２０７）を含み、前記焼成工程の前に、位置調整手段により前記加熱焼成手段に対する前記シリコンウェハの板面回転方向の位置を前回までの焼成処理のときの該シリコンウェハの位置とは異なるように調整する位置調整工程（Ｓ２０６）をさらに有する。 （もっと読む）

【課題】連続した被記録媒体に対する空吐出動作で消費される無駄な液体消費量が増加する。
【解決手段】第２微駆動（駆動パルスＰ６）を与えたときのノズルのメニスカスの振動の振幅は、第１微駆動パルス（駆動パルスＰ１）を与えたときのノズルのメニスカスの振動の振幅よりも相対的に大きくなり、空吐出動作として第１空吐出動作（ラインフラッシング動作）を行う場合には第１微駆動パルス（駆動パルスＰ１）によって微駆動を行わせ、第２空吐出動作（スターフラッシング動作）を行う場合には、第２微駆動パルス（駆動パルスＰ６）によって微駆動を行わせる。 （もっと読む）

【課題】電気−機械変換膜がインクジェット工法で安定して形成でき、熱処理においても密着性が低下しない電気−機械変換素子と液滴吐出ヘッド及びインクジェットプリンタを提供する。
【解決手段】電気-機械変換素子は、基板３０１または下地膜上に形成された、一般式ABO₃(但し、Aは、Sr、Ba、Ca、La、から選択される元素を示し、Bは、Ru、Co、Ni、Mn、Al、Crから選択される元素を示す。）で表されるペロブスカイト構造を有する酸化物から成る密着層３０３と、その上に形成された金属から成る第１の電極３０４と、電極３０４上に形成された導電性酸化物から成るパターン化された第２の電極３０５と、第２の電極３０５上に第１の電極３０４表面のみを疎水性領域とする改質処理を介してインクジェット工法により形成された電気-機械変換膜３０６と、その変換膜３０６上に形成された導電性酸化物から成る第３の電極３０７とを備える。 （もっと読む）

【課題】圧電素子をより高いエネルギ利用効率で駆動する。
【解決手段】駆動信号生成回路は、予め定められた波形の駆動信号を生成する。駆動信号生成回路から出力される駆動信号は、駆動信号線を介して圧電素子に伝送される。駆動信号生成回路の出力と駆動信号線との間に第１のスイッチを設ける。また、駆動信号線と第１のスイッチとの接続点に対して、誘導素子を介して接地レベルに接続させる第２のスイッチを設ける。第１のスイッチをＯＮ、第２のスイッチをＯＦＦとして駆動信号生成回路から出力される駆動信号で圧電素子を充電させた後、第１のスイッチをＯＦＦ、第２のスイッチをＯＮとして駆動信号線を誘電素子を介して接地レベルに接続させる。 （もっと読む）

【課題】ノズルへの異物詰まりを防止する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル４と、該ノズル４に連通する個別流路６と、液体が個別流路６に至る途中に設けられたフィルタ１０と、を少なくとも備えた液滴吐出ヘッド１において、フィルタ１０は、ノズル４から液滴を排出する方向に液体を流した場合と、ノズル４から液体を供給する方向に液体を流した場合とでは、捕捉できる異物のサイズが異なるものとしている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でクロストークを抑制し、滴吐出性能を確保することができない。
【解決手段】複数の個別液室６の配列方向を短手方向、複数の個別液室６の配列方向と直交する方向を長手方向とするとき、短手方向の断面において、隣り合う個別液室６、６間の液室間隔壁３０の隔壁面３１と、個別液室６の振動板部材２に対向する対向面としての天面３２とは、第１の傾斜面３３、３３で繋がれて、第１の傾斜面３３は個別液室６の長手方向に沿って個別液室６のほぼ全域にわたって形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＦＰＣとＦＦＣとを接合接続したフレキシブル配線部材の接合部における亀裂破損を低減する。
【解決手段】フレキシブル配線部材は、ＦＰＣ１５の後端側とＦＦＣ１６の先端側で配線電極３０２と配線電極３１２とが半田にて接合されて電気的に接続され、ＦＰＣ１５には、ＦＰＣ１５とＦＦＣ１６の接合端６８の延長線７０上であって、ＦＦＣ１６の配線電極３１２の並び方向両側部に、ＦＰＣ１５を補強する補強部材７１、７１が延長線７０に沿う方向設けられている。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの電極に電流を供給する配線部の電気抵抗を低減できるインクジェットヘッドを得ることにある。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズルプレート、ヘッド本体、複数のアクチュエータおよび複数の中継電極を備えている。複数のノズルがノズルプレートに形成されている。ヘッド本体は、ノズルプレートに積層されているとともに、ノズルに個々に連通されたインク圧力室を有している。各アクチュエータは、圧電素子に電気的に接続された第１の電極および第２の電極と、第１の電極および第２の電極から引き出された配線部とを有し、第１および第２の電極から圧電素子に電圧が印加された時に、インク圧力室に供給されたインクを加圧してノズルから吐出させる。中継電極は、第１の電極の配線部および第２の電極の配線部の少なくともいずれか一方に電気的に接続されている。中継電極は、ヘッド本体を厚み方向に貫通してヘッド本体の外に露出された端子部を有している。 （もっと読む）

【課題】圧電部材と配線部材の電気的接続信頼性を確保するために生産性が低下する。
【解決手段】ＣＳＰ１６の出力端子１６２と駆動柱１２Ａの個別外部電極２３とははんだバンプ１６４による半田４１Ｂで接合され、ＣＳＰ１６の入力端子１６１とＦＰＣ１５の配線電極とははんだバンプ１６３による半田４１Ａで接合され、ＣＳＰ１６の出力端子と圧電部材１２の個別外部電極２３とを接合する半田４１Ｂの厚みは、ＣＳＰ１６の入力端子とＦＰＣ１５の配線電極１５Aとを接合する半田４１Ａの厚みよりも薄くしている。 （もっと読む）

【課題】液体吐出ヘッドの上記のような現状に鑑み、インクジェットヘッドを構成するため接着された複数の異なる部材間の剥離強度が充分であり、かつ、水性及び油性のインク浸透による劣化のない液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】液体流路を形成する複数の異なる部材が接着剤により接合されてなる液体吐出ヘッドにおいて、該吐出ヘッドは、アミド系有機溶剤を含む水系液体の吐出用のものであり、前記接着剤が、メソゲン骨格を有しエポキシ基を有する成分と、熱潜在性硬化剤からなる硬化成分とを含む接着剤であり、かつ接着剤からなる層は液晶状態を有していることを特徴とする液体吐出ヘッド。 （もっと読む）