【課題】 薬液の噴射に邪魔しない軟質回路板の運び装置を提供する。
【解決手段】 下伝動部材は、下伝動軸を有し、該下伝動軸が順序に下伝動リングと、下伝動部材位置決めブロックと、下歯車と、下歯車位置決めブロックと、上伝動歯車を貫通し、下伝動リングの一側に下伝動リングプレートが設けられ、上伝動部材は、上伝動軸を有し、該上伝動軸が順序に上伝動リングと、上伝動部材位置決めブロックと、上歯車と、上歯車位置決めブロックとを貫通し、上伝動リングの一側に上伝動リングプレートが設けられ、上伝動部材の上伝動リングと、上伝動部材位置決めブロックと、上歯車と、上歯車位置決めブロックが夫々下伝動部材の下伝動リングと、下伝動部材位置決めブロックと、下歯車と対して設置され、上伝動リングの上伝動リングプレート及び下伝動リングの下伝動リングプレートとの間に形成する隙間が回路板を挟持する。 （もっと読む）

【課題】 安価で流れ不良が発生しない複合ホィールコンベアおよび物品収納棚を提供する。
【解決手段】 多数の合成樹脂ホィール２，…を遊転自在に配列支持するフレーム４の一部に、複数のベアリング入りスチールホィール５，…を組み合わせ遊転自在に配列支持させた始動容易化部分１０１を設けている。 （もっと読む）

【目的】 プリアライメント動作を短時間で行なえ、しかもプリアライメント動作の際における基板表面へのスリ傷の発生を抑制する。
【構成】 露光装置１００の基板供給部２００は、Ｘ軸に沿って移動するＸ軸センタリングユニット２３０，２５４とＹ軸に沿って移動するＹ軸センタリングユニット２６０，２８０を有する。各センタリングユニットには、Ｘ軸ガイドピン２１２，Ｙ軸ガイドピン２２０等が突出して設けられている。基板供給部２００に基板Ｋが搬送されると、各軸のセンタリングユニットを中央に移動し、基板Ｋを基板供給部２００の中央にプリアライメントする。２枚目以降の基板Ｋのプリアライメントに際しては、一旦各軸のセンタリングユニットをプリアライメント位置から僅かに後退させておき、この位置から各軸のセンタリングユニットを移動して２枚目以降の基板Ｋのプリアライメントを行なう。 （もっと読む）