【課題】基板と基板に実装された電子部品との接合部の温度を搬送中も維持できるようにした基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板３の搬送経路の下方にヒータブロック１０を配置し、ヒータブロック１０の上面に複数の直接加熱面１３を形成した。直接加熱面１３は基板３の搬送方向に適宜間隔を置いて配置されており、搬送中の基板３が鉛直上方に到達するとヒータブロック１０を上昇させて直接加熱面１３を基板３の裏面に接触させる。これにより基板３は直接的に加熱されるので、輻射熱によって間接的に加熱するだけの場合より温度の維持管理が容易である。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置、基板搬送方法及びクリーニング方法において、ガラス基板の破損を防ぎながら、ガラス基板を確実に吸着保持する。
【解決手段】ガラス基板１０を浮上させる浮上ステージ２と、ガラス基板１０を吸着保持する吸着保持部３ａと、ガラス基板１０を吸着保持部３ａに対し押付ける吸着補助部４と、を備える基板搬送装置１において、吸着補助部４、吸着保持部３ａ、及び、ガラス基板１０、のうち少なくとも１つのクリーニングを行うクリーニング機構５を更に備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】浮上搬送装置１の構成の簡略化を図りつつ、基板Ｗの一部分と浮上ユニット３３等の干渉を極力回避して、基板Ｗの損傷を抑えること。
【解決手段】一端部が対応するチャンバー２５に連通するようにそれぞれ接続された複数の接続回路４１と、複数の接続回路４１の他端部が連通するようにそれぞれ接続された共通の検出回路４３と、共通の検出回路４３内の圧力を検出する圧力センサ４７と、圧力センサ４７の検出値に基づいていずれかのファンフィルタユニット３７の異常の有無を判定するファン異常判定部５１と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】搬送トラブルのおそれを防止することのできる基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】ＬＬ／ＵＬチャンバー１およびプロセスチャンバー２の第１〜第３ガイドプレート５，６，７には、複数の浮上用ガス噴出孔８，……，８が形成されている。第１ガイドプレート５および第２ガイドプレート６は、上下２段に、かつ、昇降機構４５により基板載置面５ａ，６ａの高さが変化するように構成されている。第２ガイドプレート６における第３ガイドプレート７を臨む端部には、基板４を第３ガイドプレート７の基板載置面７ａから第２ガイドプレート６の基板載置面６ａへ誘導する誘導部６ｂが設けられている。同様に、第３ガイドプレート７における第１ガイドプレート５を臨む端部には、基板４を第１ガイドプレート５の基板載置面５ａから第３ガイドプレート７の基板載置面７ａへ誘導する誘導部７ｂが設けられている。 （もっと読む）

全体的に不規則な形状の物体のための気送管搬送システムが開示される。本システムは、気送管と、搬送対象の物体を収容するようになっている一連の１つ又は複数の可撓性のシール可能な袋とを備える。袋は、穴あきであってもよいが、所望であれば、充填されてシールされると全体的に膨張した形状を帯びることができるように設計及び製造されてもよい。袋は、食料品店の青果売場又は会計エリアで見られるような薄い材料製であってもよい。袋提供装置が、圃場にいる摘み取り作業者個人に、又は気送管への入口付近の領域に供給されてもよい。所望であれば、膨張装置及び袋シール装置を設けてもよい。
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【課題】ワークの表面に僅かな起伏があったとしても、非接触パッドに接触することなく、あるいは、ワークに変形を生じさせることなく、安定して搬送する。
【解決手段】非接触パッド１０は、ハウジング１２の内部に形成され、エア供給部から供給されたエアが流通する環状通路５２と、前記ハウジング１２の端部に設けられ、ワークに臨む保持面４２と、前記保持面４２の内側に設けられ、前記ワークに臨んで開口すると共に前記環状通路５２に連通する旋回室７２と、前記旋回室７２に連通して該旋回室７２の接線方向に臨むエア導出孔６８とを備え、前記ハウジング１２に前記旋回室７２に連通する大気を導入するための第１開口部１８と第２開口部４８とを設ける。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの搬送ラインの分岐に要する時間を短縮化して、多数の基板Ｗの浮上搬送する際における基板Ｗの搬送効率を十分に向上させること。
【解決手段】第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓに複数の第１浮上ユニット８３が設けられ、第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓに複数の第２浮上ユニット９５が設けられ、複数の第１浮上ユニット８３の内部における浮上ガスの圧力を、基板Ｗを浮上搬送する際の基準圧力と、この基準圧力よりも大きくかつ基板Ｗを第１分岐コンベア本体６５の第１傾斜部６５ｓ側から第２分岐コンベア本体６７の第２傾斜部６７ｓ側へ受け渡し可能な受渡圧力に切替える圧力切替手段１０１を具備したこと。 （もっと読む）

【課題】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重なられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置を提供すること。
【解決手段】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられている。 （もっと読む）

【課題】ネック部に鍔部が形成されている軽量容器を推進動圧により搬送する容器搬送装置において、コーナー搬送部に発生する摩耗などの経年変化による搬送障害を軽減させることのできる容器搬送装置のネックレールを提供する。
【解決手段】ネック部ｓに対向する位置に配置されて、鍔部ｔを案内するネックレール２であって、帯電防止機能を有する合成樹脂からなり鍔部ｔの下面側を平坦面で係止するレール本体３と、これを保持するレールホルダ４を有している。レール本体３は、ネック部ｓに臨む先端部３ａが平坦面に対して鋭角に形成された断面形状を有する第１のレール本体と、ネック部ｓに臨む先端部３ａが、平坦面に対して矩形に形成された断面形状を有する第２のレール本体とからなる。第１のレール本体は、容器搬送装置の直線搬送部の搬送方向に延設されるとともに、第２のレール本体は、容器搬送装置のコーナー搬送部の搬送方向に延設されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、大型のガラス基板に対しても、均一な塗膜を安定して付与することのできる基板処理装置を提案することを目的とする。
【解決手段】基板の表面に塗液を塗布するための基板処理装置であって、基板を水平に浮上させる浮上ステージと基板を保持し移動させる基板移動手段と基板表面に所定量の塗液を供給する塗工ノズルとを有し、浮上ステージ上に浮上された基板を基板移動手段によって保持移動させながら、塗工ノズルから塗液を供給して、基板表面に塗液を塗布することを特徴とする基板処理装置。 （もっと読む）