【課題】ワークの浮上高さのバラツキを抑えた浮上ユニット及び浮上装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る浮上ユニットは、空気が吸引される負圧室を形成しているチャンバと、チャンバの天井壁６０に形成された横溝６４及び縦溝６２と、横溝６４の溝底を貫通する気体供給管５６と、天井壁６０を貫通し負圧室と連通するように配設された吸気孔７０と、天井壁６０に固定され吸気孔７０と連通する吸引孔を有する多孔質板と、を備えている。横溝６４には、天井壁６０の外周部６０Ｅに向けて延び出して閉じている横閉溝６４Ｓが配設されている。横閉溝６４Ｓの溝先端６４Ｔは他の溝には繋がっていない。本発明に係る浮上装置は、この浮上ユニットを並列に複数配置してなるものである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 気体を噴出させて、基板を浮上させる浮上ユニットを有する押圧搬送ユニットと、受け搬送ユニットとを備えた第１の浮上搬送装置に連接して、気体を噴出させて、基板を浮上させる浮上ユニットを有する押圧搬送ユニットと、受け搬送ユニットとを備えた第２の浮上搬送装置とを具備したことを特徴とする浮上搬送装置。 （もっと読む）

【課題】ワーク中央領域に搬送方向への空気流が当たることを回避しつつ、ワークの浮上と搬送の両者を良好に行うことができる浮上装置を提供する。
【解決手段】浮上装置１１は、浮上ユニット１０Ｍと、その両側にそれぞれ配置された浮上ユニット１０Ａ、１０Ｂと、を有する。浮上ユニット１０Ａは、正圧室を形成するチャンバー３６と、チャンバー３６の天井壁に固定されワーク搬送面を上面に形成する多孔質板７６と、チャンバー３６のサイド側であって浮上装置１１のサイド側に設けられたサイド搬送部８０Ａと、を備えている。チャンバー３６の天井壁には、溝部と、溝部の溝底を貫通し正圧室と連通する通気孔と、が形成されている。サイド搬送部８０Ａには、ワーク搬送方向斜め上方に気体を噴き出す気体噴出ノズル９０が配置されている。浮上ユニット１０Ｂも同様の構成である。 （もっと読む）

【課題】ガス噴流によって容器を搬送する際に、容器を破損させてしまうことなく安定して容器を搬送することを可能にする。
【解決手段】搬送装置３０は、容器９０をガス噴流によって搬送する。搬送装置は、搬送される容器の側方を容器の搬送経路に沿って延びるサイドガイドレール３５と、容器の搬送経路に設けられ、容器の搬送速度を低下させる減速手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ガス噴流によって容器を搬送する際に、容器を破損させてしまうことなく安定して容器を搬送することを可能にする。
【解決手段】搬送装置３０は、容器をガス噴流によって搬送する。搬送装置は、搬送される容器の側方を容器の搬送経路に沿って延びる一対のサイドガイドレール３５と、一対のサイドガイドレールを互いに向けて接近可能かつ互いから離間可能に支持する支持手段３６と、搬送経路内において停止している容器を検出する検出手段４１と、を備える。支持手段は、検出手段の検出結果に基づいて一対のサイドガイドレールを移動させるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板を第１搬送方向へ浮上搬送して、第２搬送方向へ浮上搬送する搬送時間を短縮すること。
【解決手段】各第１方向転換用ローラケース内に第１方向転換用ローラ６３が第２搬送方向Ｄ２に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第２方向転換用ローラケース内に第２方向転換用ローラ７５が第１搬送方向Ｄ１に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、各第１方向転換用ローラ６３及び各第２方向転換用ローラ７５の高さ位置が基準の浮上高さ位置よりも低くなっていること。 （もっと読む）

運搬位置において、空気圧供給ライン（４０）および空気圧コンベヤライン（１６）に密閉様式で接続されたコンベヤハウジング（１０）に入り、押出材料が、コンベヤライン（１６）を通じて、特に過熱蒸気により、そこから空気圧で除去できる押出機（２）を備えた押出および状態調節装置であって、押出機（２）を運搬位置から、コンベヤハウジング（１９）の外部につながる側路位置に動かすことができ、ここで、コンベヤハウジング（１９）は、押出機（２）が運搬位置および側路位置にあるときに、外界に対して供給およびコンベヤライン（４０，１６）並びにコンベヤハウジング（１０）を密封するための手段（６）を有することを特徴とする押出および状態調節装置が開示されている。
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【課題】上下流工程への基板受け渡し時間を短縮することによる生産性向上と従来のプリベーク装置に起因する昇降ピンムラや吸着穴ムラなどの品質不良を生じることなく、プリベーク処理と同時に搬送可能なプリベーク搬送装置を提供する。
【解決手段】前工程ロボット１からガラス基板２を受け取る直前に加熱されたエアが浮上用加熱エアブローブロック５から吹き出され、ガラス基板２は浮上用の加熱エアブローブロック５上で浮いた状態となっている。投入部基板アライメント１６を用いてガラス基板のアライメントを実施する。加熱部チャックスライダー３の加熱部チャック４によりガラス基板２の搬送方向辺の片側を把持して、ガラス基板を固定する。次に後工程ロボット１０側へ浮上搬送する。ポジションＢでは、ポジションＡの浮上用加熱エアブローブロック５の搬送垂直方向配列と異なり、シフトさせて浮上用加熱エアブローブロック６を配置する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を平面状に矯正する。
【解決手段】ガラス基板２４を搬送する基板搬送ステージにおいて、前記ガラス基板２４の搬送方向に沿って各々両側に配列され、エアーを吹出して前記ガラス基板２４を浮上させる浮上ブロック２、３と、これら浮上ブロック２、３の間に配置され、エアーの吸引により前記ガラス基板２４を非接触で引き込む複数の吸引ブロック４とを備え、吸引ブロック４には、エアー吸引孔１７を設けた溝底部１５の外周縁の全周に亘ってパッド壁１６を有する長方形状の吸引パッド１４を設け、パッド壁１６の上面は浮上ブロック２、３の上面よりも低く配置し、前記ガラス基板２４の反りを検査するために、前記ガラス基板２４の搬送方向に対して直角に横切るライン状の検査領域を配置した。 （もっと読む）

【課題】複数の浮上ユニット側から基板カセットに基板を直接的に保管したり又は基板カセットから複数の浮上ユニット側に基板を直接的に送り出したりすることを可能にして、基板の浮上搬送を含む基板の一連の処理の能率向上を図る。
【解決手段】搬送路Ｐの所定領域Ｐｄにおける搬送幅方向の両側に支持フレーム３９がそれぞれ立設され、各支持フレーム３９に基板カセットを支持するカセットサポータ４３が昇降可能に設けられ、搬送路Ｐに沿って隣接関係にある浮上ユニット１９間に基板支持部材５１が進入できるようになっている。 （もっと読む）