【課題】柔らかく剛性の低い物体でも大きな変形をさせることなく浮上させることができる物体浮上装置の提供。
【解決手段】基台表面２ａに対して斜めに延びて開口する空気噴射流路４で囲った所定領域Ｘにおいて空気溜まりを形成し、基台表面２ａに対しワークを浮上させる物体浮上装置１であって、所定領域Ｘは、平面視で６角形状を有して、基台表面２ａ上を充填するように複数設けられているという構成を採用する。 （もっと読む）

【課題】電気的対象物を検査するための装置および方法において、対象物、装置を損傷させることのない装置および方法を提供する。
【解決手段】対象物の複数の画像を獲得するための装置は、横方向画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に対象物を横方向で移送するようになされた複数の横移送機部分を含む横移送機１１０，１２０，１３０，１４０であって、各横移送機部分は、対象物レシーバおよび移送要素を含み、移送要素は、所定の抵抗を超えた抵抗を受けない限り、対象物レシーバを画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に向けて移動させる、横移送機１１０，１２０，１３０，１４０と、対象物が横方向画像化領域５１０，５２０，５３０，５４０に配置されたとき、対象物の２つの逆向きの側面の画像を得るように構成された撮像装置３０とを含む。 （もっと読む）

【課題】基板を浮上搬送する際に、基板との接触を回避して搬送することができる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】浮上プレート２上に浮上した基板Ｇの下面の一部と面接触可能な表面を有する接触部材４と、搬送部３による基板Ｇの搬送方向に沿って延び、接触部材４が有する表面を浮上プレート２の上面よりも高い位置であって浮上プレート２上に浮上した基板Ｇの下面と接触する位置に配置し、基板Ｇと接触部材４とを接触させながら接触部材４の移動を案内する案内部５とを備える。 （もっと読む）

【課題】搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮すること。
【解決手段】支持台５に複数の浮上ユニット４３が搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設され、各浮上ユニット４３の内部が供給ファン３９に接続され、各浮上ユニット４３の上面に圧縮空気を噴出するノズル５７が形成され、複数の浮上ユニット４３は、樹脂の射出成形により製作された複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように専用浮上ユニット４３Ａよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂが混在するようになっていること。 （もっと読む）

【課題】板状体の汚染を抑制できる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】板状体１の下面に向けて清浄空気を供給して板状体１を非接触状態で支持する送風式支持手段２と、板状体１の下面における横幅方向の端部を接触支持する複数の回転ローラ１０を駆動手段１１にて回転駆動させて板状体１に対して搬送方向での推進力を付与する推進力付与手段３と、横幅方向における内方側に複数の回転ローラ１０が位置するように複数の回転ローラ１０を回転自在に支持する支持体１８とを設け、支持体１８の横幅方向の内方側と外方側とを連通させて、搬送される板状体１の下面に沿って横幅方向に流動した空気を複数の回転ローラ１０の間で且つ搬送される板状体１の下面と同高さにおいて支持体１８の横幅方向の内方側から外方側に通流させる導入部２３を形成する。 （もっと読む）

【課題】板ガラスの中央部分に損傷が発生されない状態で板ガラスが搬送されるようにする。
【解決手段】作業台１０と、上板９の長さ方向にエア吐出孔２４が設けられた第１エア浮上部と、前記第１エア浮上部と直角で交差配置されて前記上板９の幅方向に沿ってエア吐出孔３４が設けられた第２エア浮上部と、上、下回動される回動手段と、上、下に昇降される昇降手段と、前記板ガラスを長さ方向に搬送する二重ローラーを備えた第１ローラー支持部及び第２ローラー支持部が前記回動手段及び前記昇降手段に支持されて互いに対向されるように配置される搬送方向ローラー部と６０ａ、前記板ガラスを幅方向に搬送する二重ローラーを備えた第１ローラー支持部６０−１、６０−３及び第２ローラー支持部６０−２、６０−４が前記回動手段及び前記昇降手段に支持されて互いに対向されるように配置される方向転換ローラー部６０ｂと、から構成される。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗと浮上ユニット１７等との干渉を回避して、基板Ｗの割れ又は傷等の損傷を十分に防止すること。
【解決手段】各浮上ユニット１７は、チャンバー１３の上面に設けられた中空状の浮上ユニット脚３１と、浮上ユニット脚３１の上部に設けられかつ浮上ユニット脚３１の横断面よりも大きい横断面を有した浮上ユニットヘッド３３とを備え、いずれかの浮上ユニット１７（Ｅ）は、浮上ユニットヘッド３３が対応関係にあるチャンバー１３の側面に対して外方向へ突出するように浮上ユニット脚の中心に対して偏心して構成されている。 （もっと読む）

【課題】搬送物の姿勢を変更できるものでありながら、搬送能力の高い搬送装置を提供すること。
【解決手段】制御手段が姿勢変更手段２４における保持部２５の保持作動、移動手段２７の移動作動、及び、回転手段の回転作動を制御して、非接触状態で支持された状態の搬送物Ｗを保持位置Ｐ３において保持部２５により保持し、移動手段２７により保持部２５を移動させて搬送方向に沿って保持位置Ｐ３より下流側の保持解除位置Ｐ４まで非接触状態で支持された状態の搬送物Ｗを搬送する間に、移動手段２７により保持部２５を移動させながら回転手段により保持部２５を回転させて保持している搬送物Ｗの搬送姿勢を縦軸心周りに所定角度回転させ、保持解除位置Ｐ４にて搬送物Ｗの保持を解除する搬送装置。 （もっと読む）

【課題】浮上する基板を確実に保持することができ、しかも、保持した基板を、簡単な構成により全体として平坦とする。
【解決手段】基板Ｗを搬送する搬送装置４０は、基板Ｗを浮上させる浮上ステージ１と、浮上させた基板Ｗの側部下面９を吸着する吸着機構３と、吸着機構３を移動させることにより当該吸着機構３が吸着した基板Ｗを所定高さｈに浮上させた状態で搬送する搬送駆動手段とを備えている。吸着機構３は、基板Ｗの側部下面９を接触させることで当該基板Ｗの側部を前記所定高さｈに位置決めする接触面１１を有しているストッパ１０と、基板Ｗの側部下面９を吸着可能であり、吸着前は接触面１１よりも上に所定寸法Ｓについて突出し吸着すると当該所定寸法Ｓについて下に収縮する吸着パッド２０とを有している。 （もっと読む）

【課題】搬送幅方向に隣接関係にある浮上ユニットの間隙を大きくしても、基板と浮上ユニット等との干渉を回避して、基板の割れ等の損傷を十分に防止すること。
【解決手段】基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、搬送幅中心線ＴＣＬよりも搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラ２３は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向に対して搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、搬送幅中心線ＴＣＬよりも搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラ２３は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向対して搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていること。 （もっと読む）