浮上搬送装置
【課題】搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮すること。
【解決手段】支持台５に複数の浮上ユニット４３が搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設され、各浮上ユニット４３の内部が供給ファン３９に接続され、各浮上ユニット４３の上面に圧縮空気を噴出するノズル５７が形成され、複数の浮上ユニット４３は、樹脂の射出成形により製作された複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように専用浮上ユニット４３Ａよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂが混在するようになっていること。
【解決手段】支持台５に複数の浮上ユニット４３が搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設され、各浮上ユニット４３の内部が供給ファン３９に接続され、各浮上ユニット４３の上面に圧縮空気を噴出するノズル５７が形成され、複数の浮上ユニット４３は、樹脂の射出成形により製作された複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように専用浮上ユニット４３Ａよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂが混在するようになっていること。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術として特許文献１に示すもの（本願の出願人が既に出願したもの）がある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体には、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構が設けられている。また、装置本体には、圧縮空気（浮上ガスの一例）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向及びこの搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設されている。そして、各浮上ユニットの内部は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。ここで、通常、軽量化及び低コスト化（低価格化）の要請により、各浮上ユニットは、樹脂の射出成形により製作されてあって、各浮上ユニットの肉厚は、非常に薄くなっている。なお、複数の浮上ユニットによって、搬送領域（基板を搬送するための領域）が区画形成（形成）されるようになっている。
【０００４】
従って、圧縮空気供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に圧縮空気をッ供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、搬送機構を適宜に動作させる。これにより、複数の浮上ユニットと基板の間に圧縮空気溜まり層（浮上ガス溜まり層の一例）を生成しつつ、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。
【０００５】
なお、本発明に関する先行技術として特許文献１の他に、特許文献２に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【特許文献２】特許４３３３９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前述のように、各浮上ユニットは樹脂の射出成形により製作され、各浮上ユニットの肉厚は薄くなっているため、各浮上ユニットの剛性は低く、基板の浮上搬送に付随する作業（例えば、浮上ユニット等の調整、浮上ユニット等のメンテナンス、破損した基板の回収等）を行う際には、作業者は浮上ユニットに体重をかけないように注意を払う必要がある。一方、近年、基板の大型化に伴い、搬送領域も搬送幅方向に拡大しており、作業者が浮上ユニットに体重をかけないで搬送領域の搬送幅方向の中央側（中央部）にアクセスすることは容易ではない。そのため、搬送領域の搬送幅方向の中央側で基板の浮上搬送に付随する作業を行う場合には、その作業が厄介かつ複雑であり、作業時間が長くなるというという問題がある。
【０００８】
なお、前述の問題は、各浮上ユニットが例えばアルミの板金加工によって製作されて、各浮上ユニットの剛性が低くなっている場合にも、同様に生じるものである。
【０００９】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置本体に設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、前記装置本体に前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、前記複数の浮上ユニットは、複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように前記専用浮上ユニットよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっている（換言すれば、前記複数の浮上ユニットは、前記複数の専用浮上ユニットと前記複数の足場兼用浮上ユニットに分けられるようになっている）ことを要旨とする。なお、前記複数の浮上ユニットによって、搬送領域（基板を搬送するための領域）が区画形成されるようになっている。
【００１１】
ここで、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたこと、及び一体形成されたことを含む意であって、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等を含む意である。
【００１２】
本発明の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる（一般的な作用）。
【００１３】
前述の一般的な作用の他に、前記複数の浮上ユニットは、前記複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように高剛性に構成された前記複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっているため、基板の大型化に伴い、前記搬送領域が前記搬送幅方向に拡大しても、作業者は前記複数の足場兼用浮上ユニットを足場として利用したり、前記複数の足場兼用浮上ユニットに体を乗り上げたりすることによって、前記搬送領域の前記搬送幅方向の中央側（中央部）に容易にアクセスすることができる（特有の作用）。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の大型化に伴い、前記搬送領域が前記搬送幅方向に拡大しても、作業者は前記搬送領域の前記搬送幅方向の中央側に容易にアクセスできるため、前記搬送領域の搬送幅方向の中央側で基板の浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図２】図３における矢視部IIの拡大断面図である。
【図３】図１におけるIII-III線に沿った拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の正面図である。
【図５】図１におけるV-V線に沿った図である。
【図６】複数の足場兼用浮上ユニットの配設パターンを変更した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態について図１から図６を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１７】
図１、図４、及び図５に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上搬送する装置であって、搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）３を具備している。また、装置本体３は、搬送方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数本の支柱７と、複数本の支柱７間に連結するように設けられた複数の連結部材９とを備えている。
【００１８】
支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送機構１１が設けられている。そして、この搬送機構１１の具体的な構成は、次のようになる。
【００１９】
支持台５の左端部付近には、基板Ｗの裏面を支持する複数の第１搬送ローラ１３がブラケット１５を介して搬送方向に間隔を置いて設けられており、各第１搬送ローラ１３は、搬送方向に直交する搬送幅方向（左右方向）に平行な軸心周りに回転可能である。そして、支持台５の左端部付近の適宜位置には、対応関係にある複数の第１搬送ローラ１３を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる複数（１つのみ図示）の第１搬送モータ１７が搬送方向に沿って設けられている。更に、各第１搬送モータ１７の出力軸には、搬送方向へ延びた第１駆動軸１９がカップリング等を介して一体的に設けられており、各第１駆動軸１９は、支持台５にベアリング等を介して軸心（第１駆動軸１９の軸心）周りに回転可能に支持されてあって、対応関係にある複数の第１搬送ローラ１３のローラ軸にウォーム２１とウォームホイール２３を介して連動連結してある。
【００２０】
同様に、支持台５の右端部付近には、基板Ｗの裏面を支持する複数の第２搬送ローラ２５がブラケット２７を介して搬送方向に間隔を置いて設けられており、各第２搬送ローラ２５は、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能である。そして、支持台５の左端部付近の適宜位置には、対応関係にある複数の第２搬送ローラ２５を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる複数（１つのみ図示）の第２搬送モータ２９が搬送方向に沿って設けられている。更に、各第２搬送モータ２９の出力軸には、搬送方向へ延びた第２駆動軸３１がカップリング等を介して一体的に設けられており、各第２駆動軸３１は、支持台５にベアリング等を介して軸心（第２駆動軸３１の軸心）周りに回転可能に支持されてあって、対応関係にある複数の第２搬送ローラ２５のローラ軸にウォーム３３とウォームホイール３５を介して連動連結してある。
【００２１】
なお、基板Ｗの裏面を支持する複数の第１搬送ローラ１３及び複数の第２搬送ローラ２５等を備えた搬送機構１１の代えて、基板Ｗの端部を把持しかつ前後方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送機構等を用いても構わない。
【００２２】
図１、図３、及び図５に示すように、支持台５には、圧縮空気（浮上ガスの一例）を収容する複数のチャンバー３７が搬送方向へ間隔を置いて配設されており、各チャンバー３７は、搬送幅方向へ延びている。また、各チャンバー３７の下面には、圧縮空気をチャンバー３７の内部へ供給する圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）としての供給ファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）３９がブラケット４１を介して設けられている。
【００２３】
各チャンバー３７の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の複数の浮上ユニット４３が搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設されており、換言すれば、支持台５には、複数の浮上ユニット４３が複数のチャンバー３７を介して搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設されている。また、複数の浮上ユニット４３の配設状態は、搬送幅方向及び搬送方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、搬送幅方向に６列、搬送方向に２０以上の列）になっており、複数の浮上ユニット４３によって、搬送領域（基板Ｗを搬送するための領域）Ｔが区画形成（形成）されるようになっている。更に、各浮上ユニット４３は、複数の取付ボルト４５によってチャンバー３７に対して着脱可能であって、換言すれば、チャンバー３７を介して支持台５に対して着脱可能である。そして、各浮上ユニット４３の具体的な構成は、次のようになる。
【００２４】
チャンバー３７の上面には、中空状の浮上ユニット脚４７が設けられており、この浮上ユニット脚４７の内部は、チャンバー３７の内部に連通してあって、換言すれば、各浮上ユニット４３の内部は、チャンバー３７を介して供給ファン３９に接続されている。また、浮上ユニット脚４７の上部には、中空矩形状の浮上ユニットヘッド４９が設けられており、この浮上ユニットヘッド４９の内部は、浮上ユニット脚４７の内部に連通してある。
【００２５】
浮上ユニットヘッド４９は、浮上ユニット脚４７の上部に設けられかつ上側が開口された矩形状の外郭部材５１と、この外郭部材５１の内側に複数本の支持ピン５３を介して設けられた島部材５５とからなっている。そして、外郭部材５１の内縁と島部材５５の外縁の間には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル５７が区画形成されており、換言すれば、各浮上ユニット４３の上面には、矩形枠状のノズル５７が形成されている。ここで、各浮上ユニット４３のノズル５７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向（浮上ユニット４３の上面に垂直は方向）に対して浮上ユニット４３の中心側へ傾斜するように構成されている。
【００２６】
なお、浮上ユニット４３の上面に矩形枠状のノズル５７が形成される代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００２７】
本発明の実施形態の要部について説明する。
【００２８】
図１及び図２に示すように、複数の浮上ユニット４３は、複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように専用浮上ユニット４３Ａよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂ（図中においてグレー着色を施している浮上ユニット４３）が混在するようになっている。換言すれば、複数の浮上ユニット４３は、複数の専用浮上ユニット４３Ａと複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂとに分けられるようになっている。
【００２９】
ここで、各専用浮上ユニット４３Ａは、樹脂の射出成形により製作されたものである。また、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂは、樹脂の射出成形又は樹脂ブロックの機械加工により製作されたものであって、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂの肉厚は、専用浮上ユニット４３Ａの肉厚よりも厚くなっている。更に、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂにおける浮上ユニットヘッド４９とチャンバー３７の上面の間には、足場兼用浮上ユニット４３Ｂを補強する複数本の補強ピン５９が設けられている。なお、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂを樹脂により構成される代わりに、ステンレス等の金属により構成されるようにしても構わない。
【００３０】
複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターン（配設状態）は、図１に示すように、搬送方向に間隔を置いて複数列（本発明の実施形態にあっては、５以上の列）になる横列パターンに設定してある。また、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを横列パターンに設定する代わりに、図６（ａ）に示すように、搬送幅方向に間隔を置いて複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になる縦列パターンに設定したり、図６（ｂ）に示すように、搬送方向に沿って千鳥状になる千鳥パターンに設定したり、その他適宜の配設パターンを設定したりしても構わない。
【００３１】
ここで、横列パターンは、一般に、搬送領域Ｔを搬送方向に複数のブロックに区分けして、複数人で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業（浮上ユニット４３等の調整、浮上ユニット等のメンテナンス、破損した基板Ｗの回収等）を行う場合に適している。また、縦列パターンは、一般に、搬送領域Ｔの搬送幅方向の両側から、複数人で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に適している。更に、千鳥パターンは、一般に、少数（１人又は２人）の作業者が搬送領域Ｔの中で搬送方向へ進行しながら、基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に適している。
【００３２】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３３】
各供給ファン３９の作動によって各チャンバー３７の内部に圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット４３の内部に圧縮空気を供給して、各浮上ユニット４３のノズル５７から圧縮空気を噴出させる。また、各第１搬送モータ１７の駆動によって複数の第１搬送ローラ１３を軸心周りに回転させると共に、各第２搬送モータ２９の駆動によって複数の第２搬送ローラ２５を軸心周りに回転させる。これにより、複数の浮上ユニット４３と基板Ｗの間に圧縮空気溜まり層（浮上ガス溜まり層の一例）Ｓを生成しつつ（図２及び図３参照）、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる（一般的な作用）。
【００３４】
前述の一般的な作用の他に、複数の浮上ユニット４３は、樹脂の射出成形により製作された複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂが混在するようになっているため、基板Ｗの大型化に伴い、搬送領域Ｔが搬送幅方向に拡大しても、作業者は複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂを足場として利用したり、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂに体を乗り上げたりすることによって、搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側（中央部）に容易にアクセスすることができる（特有の作用（１）））。
【００３５】
また、各浮上ユニット４３が複数の取付ボルト４５によってチャンバー３７（換言すれば、支持台５）に対して着脱可能になっているため、前述のように、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを種々の配設パターンの中から、現場の作業環境（作業者の人数、作業スペースの大きさ等を含む）に応じてユーザにとって最適な配設パターンを選択して設定することができる（特有の作用（２））。
【００３６】
従って、本発明の実施形態によれば、基板Ｗの大型化に伴い、搬送領域Ｔが搬送幅方向に拡大しても、作業者は搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側に容易にアクセスできるため、搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮することができる。
【００３７】
また、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを種々の配設パターンの中から、現場の作業環境に応じてユーザによって最適な配設パターンを選択して設定できるため、基板Ｗの浮上搬送に付随する作業の効率をより高めることができる。
【００３８】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００３９】
Ｗ 基板
１ 浮上搬送装置
３ 装置本体
５ 支持台
１１ 搬送機構
１３ 第１搬送ローラ
１７ 第１搬送モータ
２５ 第２搬送ローラ
２９ 第２搬送モータ
３７ チャンバー
３９ 供給ファン
４３ 浮上ユニット
４３Ａ 専用浮上ユニット
４３Ｂ 足場兼用浮上ユニット
４５ 取付ボルト
４７ 浮上ユニット脚
４９ 浮上ユニットヘッド
５１ 外郭部材
５３ 支持ピン
５５ 島部材
５７ ノズル
５９ 補強ピン
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術として特許文献１に示すもの（本願の出願人が既に出願したもの）がある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
即ち、先行技術に係る浮上搬送装置は、装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体には、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構が設けられている。また、装置本体には、圧縮空気（浮上ガスの一例）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向及びこの搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設されている。そして、各浮上ユニットの内部は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されている。ここで、通常、軽量化及び低コスト化（低価格化）の要請により、各浮上ユニットは、樹脂の射出成形により製作されてあって、各浮上ユニットの肉厚は、非常に薄くなっている。なお、複数の浮上ユニットによって、搬送領域（基板を搬送するための領域）が区画形成（形成）されるようになっている。
【０００４】
従って、圧縮空気供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に圧縮空気をッ供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、搬送機構を適宜に動作させる。これにより、複数の浮上ユニットと基板の間に圧縮空気溜まり層（浮上ガス溜まり層の一例）を生成しつつ、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる。
【０００５】
なお、本発明に関する先行技術として特許文献１の他に、特許文献２に示すものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【特許文献２】特許４３３３９２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、前述のように、各浮上ユニットは樹脂の射出成形により製作され、各浮上ユニットの肉厚は薄くなっているため、各浮上ユニットの剛性は低く、基板の浮上搬送に付随する作業（例えば、浮上ユニット等の調整、浮上ユニット等のメンテナンス、破損した基板の回収等）を行う際には、作業者は浮上ユニットに体重をかけないように注意を払う必要がある。一方、近年、基板の大型化に伴い、搬送領域も搬送幅方向に拡大しており、作業者が浮上ユニットに体重をかけないで搬送領域の搬送幅方向の中央側（中央部）にアクセスすることは容易ではない。そのため、搬送領域の搬送幅方向の中央側で基板の浮上搬送に付随する作業を行う場合には、その作業が厄介かつ複雑であり、作業時間が長くなるというという問題がある。
【０００８】
なお、前述の問題は、各浮上ユニットが例えばアルミの板金加工によって製作されて、各浮上ユニットの剛性が低くなっている場合にも、同様に生じるものである。
【０００９】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、装置本体に設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、前記装置本体に前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、前記複数の浮上ユニットは、複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように前記専用浮上ユニットよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっている（換言すれば、前記複数の浮上ユニットは、前記複数の専用浮上ユニットと前記複数の足場兼用浮上ユニットに分けられるようになっている）ことを要旨とする。なお、前記複数の浮上ユニットによって、搬送領域（基板を搬送するための領域）が区画形成されるようになっている。
【００１１】
ここで、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたこと、及び一体形成されたことを含む意であって、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等を含む意である。
【００１２】
本発明の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板を搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる（一般的な作用）。
【００１３】
前述の一般的な作用の他に、前記複数の浮上ユニットは、前記複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように高剛性に構成された前記複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっているため、基板の大型化に伴い、前記搬送領域が前記搬送幅方向に拡大しても、作業者は前記複数の足場兼用浮上ユニットを足場として利用したり、前記複数の足場兼用浮上ユニットに体を乗り上げたりすることによって、前記搬送領域の前記搬送幅方向の中央側（中央部）に容易にアクセスすることができる（特有の作用）。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、基板の大型化に伴い、前記搬送領域が前記搬送幅方向に拡大しても、作業者は前記搬送領域の前記搬送幅方向の中央側に容易にアクセスできるため、前記搬送領域の搬送幅方向の中央側で基板の浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の部分平面図である。
【図２】図３における矢視部IIの拡大断面図である。
【図３】図１におけるIII-III線に沿った拡大断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る浮上搬送装置の正面図である。
【図５】図１におけるV-V線に沿った図である。
【図６】複数の足場兼用浮上ユニットの配設パターンを変更した状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
本発明の実施形態について図１から図６を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１７】
図１、図４、及び図５に示すように、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上搬送する装置であって、搬送方向へ延びた装置本体（装置フレーム）３を具備している。また、装置本体３は、搬送方向へ延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数本の支柱７と、複数本の支柱７間に連結するように設けられた複数の連結部材９とを備えている。
【００１８】
支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ搬送する搬送機構１１が設けられている。そして、この搬送機構１１の具体的な構成は、次のようになる。
【００１９】
支持台５の左端部付近には、基板Ｗの裏面を支持する複数の第１搬送ローラ１３がブラケット１５を介して搬送方向に間隔を置いて設けられており、各第１搬送ローラ１３は、搬送方向に直交する搬送幅方向（左右方向）に平行な軸心周りに回転可能である。そして、支持台５の左端部付近の適宜位置には、対応関係にある複数の第１搬送ローラ１３を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる複数（１つのみ図示）の第１搬送モータ１７が搬送方向に沿って設けられている。更に、各第１搬送モータ１７の出力軸には、搬送方向へ延びた第１駆動軸１９がカップリング等を介して一体的に設けられており、各第１駆動軸１９は、支持台５にベアリング等を介して軸心（第１駆動軸１９の軸心）周りに回転可能に支持されてあって、対応関係にある複数の第１搬送ローラ１３のローラ軸にウォーム２１とウォームホイール２３を介して連動連結してある。
【００２０】
同様に、支持台５の右端部付近には、基板Ｗの裏面を支持する複数の第２搬送ローラ２５がブラケット２７を介して搬送方向に間隔を置いて設けられており、各第２搬送ローラ２５は、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能である。そして、支持台５の左端部付近の適宜位置には、対応関係にある複数の第２搬送ローラ２５を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる複数（１つのみ図示）の第２搬送モータ２９が搬送方向に沿って設けられている。更に、各第２搬送モータ２９の出力軸には、搬送方向へ延びた第２駆動軸３１がカップリング等を介して一体的に設けられており、各第２駆動軸３１は、支持台５にベアリング等を介して軸心（第２駆動軸３１の軸心）周りに回転可能に支持されてあって、対応関係にある複数の第２搬送ローラ２５のローラ軸にウォーム３３とウォームホイール３５を介して連動連結してある。
【００２１】
なお、基板Ｗの裏面を支持する複数の第１搬送ローラ１３及び複数の第２搬送ローラ２５等を備えた搬送機構１１の代えて、基板Ｗの端部を把持しかつ前後方向へ移動可能なクランパを備えた別の搬送機構等を用いても構わない。
【００２２】
図１、図３、及び図５に示すように、支持台５には、圧縮空気（浮上ガスの一例）を収容する複数のチャンバー３７が搬送方向へ間隔を置いて配設されており、各チャンバー３７は、搬送幅方向へ延びている。また、各チャンバー３７の下面には、圧縮空気をチャンバー３７の内部へ供給する圧縮空気供給源（浮上ガス供給源の一例）としての供給ファン（本発明の実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）３９がブラケット４１を介して設けられている。
【００２３】
各チャンバー３７の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の複数の浮上ユニット４３が搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設されており、換言すれば、支持台５には、複数の浮上ユニット４３が複数のチャンバー３７を介して搬送方向及び搬送幅方向に沿って配設されている。また、複数の浮上ユニット４３の配設状態は、搬送幅方向及び搬送方向に複数列（本発明の実施形態にあっては、搬送幅方向に６列、搬送方向に２０以上の列）になっており、複数の浮上ユニット４３によって、搬送領域（基板Ｗを搬送するための領域）Ｔが区画形成（形成）されるようになっている。更に、各浮上ユニット４３は、複数の取付ボルト４５によってチャンバー３７に対して着脱可能であって、換言すれば、チャンバー３７を介して支持台５に対して着脱可能である。そして、各浮上ユニット４３の具体的な構成は、次のようになる。
【００２４】
チャンバー３７の上面には、中空状の浮上ユニット脚４７が設けられており、この浮上ユニット脚４７の内部は、チャンバー３７の内部に連通してあって、換言すれば、各浮上ユニット４３の内部は、チャンバー３７を介して供給ファン３９に接続されている。また、浮上ユニット脚４７の上部には、中空矩形状の浮上ユニットヘッド４９が設けられており、この浮上ユニットヘッド４９の内部は、浮上ユニット脚４７の内部に連通してある。
【００２５】
浮上ユニットヘッド４９は、浮上ユニット脚４７の上部に設けられかつ上側が開口された矩形状の外郭部材５１と、この外郭部材５１の内側に複数本の支持ピン５３を介して設けられた島部材５５とからなっている。そして、外郭部材５１の内縁と島部材５５の外縁の間には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル５７が区画形成されており、換言すれば、各浮上ユニット４３の上面には、矩形枠状のノズル５７が形成されている。ここで、各浮上ユニット４３のノズル５７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、鉛直方向（浮上ユニット４３の上面に垂直は方向）に対して浮上ユニット４３の中心側へ傾斜するように構成されている。
【００２６】
なお、浮上ユニット４３の上面に矩形枠状のノズル５７が形成される代わりに、スリット状又は丸穴状の複数のノズルが形成されるようにしても構わない。
【００２７】
本発明の実施形態の要部について説明する。
【００２８】
図１及び図２に示すように、複数の浮上ユニット４３は、複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように専用浮上ユニット４３Ａよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂ（図中においてグレー着色を施している浮上ユニット４３）が混在するようになっている。換言すれば、複数の浮上ユニット４３は、複数の専用浮上ユニット４３Ａと複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂとに分けられるようになっている。
【００２９】
ここで、各専用浮上ユニット４３Ａは、樹脂の射出成形により製作されたものである。また、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂは、樹脂の射出成形又は樹脂ブロックの機械加工により製作されたものであって、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂの肉厚は、専用浮上ユニット４３Ａの肉厚よりも厚くなっている。更に、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂにおける浮上ユニットヘッド４９とチャンバー３７の上面の間には、足場兼用浮上ユニット４３Ｂを補強する複数本の補強ピン５９が設けられている。なお、各足場兼用浮上ユニット４３Ｂを樹脂により構成される代わりに、ステンレス等の金属により構成されるようにしても構わない。
【００３０】
複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターン（配設状態）は、図１に示すように、搬送方向に間隔を置いて複数列（本発明の実施形態にあっては、５以上の列）になる横列パターンに設定してある。また、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを横列パターンに設定する代わりに、図６（ａ）に示すように、搬送幅方向に間隔を置いて複数列（本発明の実施形態にあっては、２列）になる縦列パターンに設定したり、図６（ｂ）に示すように、搬送方向に沿って千鳥状になる千鳥パターンに設定したり、その他適宜の配設パターンを設定したりしても構わない。
【００３１】
ここで、横列パターンは、一般に、搬送領域Ｔを搬送方向に複数のブロックに区分けして、複数人で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業（浮上ユニット４３等の調整、浮上ユニット等のメンテナンス、破損した基板Ｗの回収等）を行う場合に適している。また、縦列パターンは、一般に、搬送領域Ｔの搬送幅方向の両側から、複数人で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に適している。更に、千鳥パターンは、一般に、少数（１人又は２人）の作業者が搬送領域Ｔの中で搬送方向へ進行しながら、基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に適している。
【００３２】
続いて、本発明の実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３３】
各供給ファン３９の作動によって各チャンバー３７の内部に圧縮空気を供給することにより、各浮上ユニット４３の内部に圧縮空気を供給して、各浮上ユニット４３のノズル５７から圧縮空気を噴出させる。また、各第１搬送モータ１７の駆動によって複数の第１搬送ローラ１３を軸心周りに回転させると共に、各第２搬送モータ２９の駆動によって複数の第２搬送ローラ２５を軸心周りに回転させる。これにより、複数の浮上ユニット４３と基板Ｗの間に圧縮空気溜まり層（浮上ガス溜まり層の一例）Ｓを生成しつつ（図２及び図３参照）、基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送（浮上させた状態で搬送）することができる（一般的な作用）。
【００３４】
前述の一般的な作用の他に、複数の浮上ユニット４３は、樹脂の射出成形により製作された複数の専用浮上ユニット４３Ａと、足場を兼用できるように高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂが混在するようになっているため、基板Ｗの大型化に伴い、搬送領域Ｔが搬送幅方向に拡大しても、作業者は複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂを足場として利用したり、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂに体を乗り上げたりすることによって、搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側（中央部）に容易にアクセスすることができる（特有の作用（１）））。
【００３５】
また、各浮上ユニット４３が複数の取付ボルト４５によってチャンバー３７（換言すれば、支持台５）に対して着脱可能になっているため、前述のように、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを種々の配設パターンの中から、現場の作業環境（作業者の人数、作業スペースの大きさ等を含む）に応じてユーザにとって最適な配設パターンを選択して設定することができる（特有の作用（２））。
【００３６】
従って、本発明の実施形態によれば、基板Ｗの大型化に伴い、搬送領域Ｔが搬送幅方向に拡大しても、作業者は搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側に容易にアクセスできるため、搬送領域Ｔの搬送幅方向の中央側で基板Ｗの浮上搬送に付随する作業を行う場合に、その作業を簡略化して、作業時間を大幅に短縮することができる。
【００３７】
また、複数の足場兼用浮上ユニット４３Ｂの配設パターンを種々の配設パターンの中から、現場の作業環境に応じてユーザによって最適な配設パターンを選択して設定できるため、基板Ｗの浮上搬送に付随する作業の効率をより高めることができる。
【００３８】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限られるものではなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００３９】
Ｗ 基板
１ 浮上搬送装置
３ 装置本体
５ 支持台
１１ 搬送機構
１３ 第１搬送ローラ
１７ 第１搬送モータ
２５ 第２搬送ローラ
２９ 第２搬送モータ
３７ チャンバー
３９ 供給ファン
４３ 浮上ユニット
４３Ａ 専用浮上ユニット
４３Ｂ 足場兼用浮上ユニット
４５ 取付ボルト
４７ 浮上ユニット脚
４９ 浮上ユニットヘッド
５１ 外郭部材
５３ 支持ピン
５５ 島部材
５７ ノズル
５９ 補強ピン
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体に設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置本体に前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記複数の浮上ユニットは、複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように前記専用浮上ユニットよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
各専用浮上ユニットは、樹脂の射出成形により製作されたものであることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
各浮上ユニットは、前記装置本体に対して着脱可能になっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
各足場兼用浮上ユニットの肉厚は、前記専用浮上ユニットの肉厚よりも厚くなっていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
各足場兼用浮上ユニットは、金属により構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置本体に設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置本体に前記搬送方向及び前記搬送方向に直交する搬送幅方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記複数の浮上ユニットは、複数の専用浮上ユニットと、足場を兼用できるように前記専用浮上ユニットよりも高剛性に構成された複数の足場兼用浮上ユニットが混在するようになっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
各専用浮上ユニットは、樹脂の射出成形により製作されたものであることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
各浮上ユニットは、前記装置本体に対して着脱可能になっていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
各足場兼用浮上ユニットの肉厚は、前記専用浮上ユニットの肉厚よりも厚くなっていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
各足場兼用浮上ユニットは、金属により構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２０１１−２３０９０５（Ｐ２０１１−２３０９０５Ａ）
【公開日】平成２３年１１月１７日（２０１１．１１．１７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１０４１２７（Ｐ２０１０−１０４１２７）
【出願日】平成２２年４月２８日（２０１０．４．２８）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１１月１７日（２０１１．１１．１７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年４月２８日（２０１０．４．２８）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
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