【課題】機構の簡素化を実現すると共に、小さな動力で基板を搬送方向に移動させることのできる新規な構成の浮上搬送装置を提供すること。
【解決手段】基板Ｗの浮上搬送時に基板Ｗに推力を与える搬送ユニット５７を備えた浮上搬送装置であって、搬送ユニット５７が、ユニットケース８１と、駆動アクチュエータ８２ａと、駆動プーリ８６と、揺動フレーム８４と、揺動アクチュエータ８３と、揺動フレーム８４の揺動に伴って上下位置を変更可能な可動プーリ８７と、無端ベルト８８と、可動プーリ８７と共に上下位置を変更可能な搬送ローラ６３ａと、ファンユニット９０とを有しており、搬送ローラ６３ａ上昇時には、搬送ローラ６３ａが基板Ｗと接触して基板Ｗに推力を与え、下降時には、搬送ローラ６３ａが基板Ｗから離脱して基板Ｗに推力を与えないように構成されている。 （もっと読む）

【課題】基板を浮上搬送する際における座屈発生の評価を、設計変更を要する要素がある場合にその要素を特定できる内容で、確実に実行すること。
【解決手段】基板Ｗの搬送加速度（誤差因子７）以外の誤差因子５，６を変化させつつ浮上搬送中の基板Ｗの座屈発生の評価を行い、その後、搬送加速度（誤差因子７）を変えつつ座屈発生の評価を行う。誤差因子５，６は、基準ローラ群３１Ｇを構成する各基準ローラ３１の周面位置の設計値に対する誤差、各浮上ユニット２５の各ノズル２７から噴出される圧縮空気の空気圧の設計値に対する誤差、基板Ｗの形状の初期不整（基板Ｗの形状の設計値に対する誤差）等から選択する。これにより、他の誤差因子のパラメータ値の変動による影響を受けやすい搬送加速度（誤差因子７）以外の誤差因子５，６を、搬送加速度（誤差因子７）よりも優先して、浮上搬送中の基板Ｗの座屈評価を誤差因子毎に個別に行う。 （もっと読む）

【課題】先行の浮上ユニット３７側から挿入間隙ＩＧを越えて後続の浮上ユニット３７側へ乗り継ぐ際における基板Ｗの損傷を確実に阻止すること。
【解決手段】挿入間隙ＩＧの上流側の近接した位置には、下方向からエアを吸引するエア吸引器４３が設けられ、エア吸引器４３は、挿入間隙ＩＧの直上流側の浮上ユニット３７と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として基板Ｗの先端部側に上向きの力を発生させるように、吸引ファン５３の吸引力によって基板Ｗに対して局所的に下向き力を付与するようになっていること。 （もっと読む）

トレー（１，１′）から静電荷を除去する方法は、加圧イオン化空気を、まず最初に、既にひっくり返されたトレー（１，１′）の底部（１２，１２′）に沿って、次に、トレー（１，１′）をアンロードする際にその側壁（１５，１５′）又はコンパートメントの内壁（１４）に沿って供給するステップを有する。誘電体で作られていて静電界の負の作用から保護されるトレー（１，１′）は、導体で作られたインサート（２２，２２′）内に設けられ、インサート（２２，２２′）は、種々の形状を有するのが良い。誘電体で作られたコンパートメント型トレーをアンロードする装置は、トレーの供給ゾーン内で直線搬送装置（５）に沿って水平に配置されたイオン化装置（１０）を備え、そのノズル（１１）は、底部（１２）の内側の方向に向けられている。さらに、この装置は、コンパートメント（１３）の幅に一致した相互離隔距離の範囲内でロッド形状要素を取り出す不動喉部（９）の上方に垂直に設けられた２つのイオン化装置（１０）を有し、イオン化装置（１０）のノズル（１１）は、対応の内壁（１４）又は側壁（１５）の幅方向に向けられ、全てのイオン化装置（１０）は、トレー（１）から僅かな距離の範囲内で一垂直面内に配置されている。イオン化装置（１０）は、圧縮空気を列状に配置されたノズル（１１）に供給する中央に配置されているダクト（１８）を備えた長手方向ビームの形状をしており、ノズル（１１）の両側には、電圧源に接続されたイオン化ブラシ（１９）が配置されている。 （もっと読む）

【課題】ワークを短時間で搬送可能なワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】第１ステージと、前記第１ステージに近接して配置された第２ステージと、を有し、各前記第１及び第２ステージには、ワークが載置される載置面と、前記載置面に設けられた通気孔と、前記通気孔にエアーを供給するエアー供給部と、が設けられ、前記ワークを保持するととともに、前記第１及び第２ステージ間において保持した前記ワークを搬送させるワーク搬送部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】小片部材を浮上させて安定保持し運搬すること出来る運搬装置およびその運搬方法を提供する。
【解決手段】気体の噴出により小片部材を浮上させて所定の位置へ運搬する小片部材の運搬装置であって、小片部材に設ける貫通孔に挿抜自在に配置されるとともに先端付近の側面に設ける気体噴出孔を有する気体噴出体と、貫通孔に気体噴出体を挿入した状態において気体噴出孔から小片部材の下面側に気体を噴出して小片部材を浮上させる小片部材浮上手段と、気体噴出体により小片部材を浮上支持した状態で気体噴出体を所定の位置に移動させることにより小片部材を所定の位置に運搬する運搬手段と、所定の位置で噴出する気体を停止して小片部材を落下させる小片部材落下手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】塗布膜に形成されるムラの発生を抑えるとともに、乾燥工程に要するタクトタイムを短縮できる予備乾燥装置、予備乾燥方法を提供する。
【解決手段】基板上に塗布された塗布膜を乾燥させる本乾燥装置により塗布膜を乾燥させる前に、前記塗布膜を予備的に乾燥させる予備乾燥装置であって、予備乾燥装置は、浮上搬送方式により基板を搬送しつつ、当該基板を加熱した浮上用気体で高温雰囲気に曝して基板上の塗布膜を予備的に乾燥させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板を高速で搬送しても、吸着パッドの首部を破損させたり、吸着保持するガラス基板に変形を生じさせたりすることのないガラス基板吸着保持装置およびそれを用いたガラス基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板吸着保持装置は、吸着パッド１０の縁面３の周囲のベースの表面１ａを弾性シート５で覆い、ベースの表面１ａから測ったときの、弾性シート表面５ａの高さを、縁面３より低く、かつ、基部内面２ａより高くする。 （もっと読む）

【課題】フレックスベルトを用いたフレックスベルトコンベアにおいて、ベルト支持ローラの交換を不要とし、フレックスベルトがベルト支持ローラに乗り上げることで発生する騒音と振動を回避する。
【解決手段】フレックスベルト３は、積載物が載せられる積載面１７を有する底部３ａと、フレックスベルト３の幅方向の両側において積載面１７から上方側に突出した側壁部３ｂとを有する。フレックスベルト３の下方に配置されフレックスベルト３の長手方向に延び、空圧でフレックスベルト３を支持するベルト支持体５を設ける。ベルト支持体５には、フレックスベルト３を浮上させるためにフレックスベルト３の下面へ空気を噴出する噴出孔５ａが設けられる。 （もっと読む）

【課題】
大型の基板Ｗに反り等の変形がある場合であっても、基板Ｗの搬送幅方向の端面とサイド浮上ユニット３９Ｂ等との干渉を回避して、基板Ｗの損傷を十分に防止すること。
【解決手段】
浮上ユニット本体４１の上面に枠状のノズル５１が形成され、浮上ユニット本体４１の下側に中空パイプ状の浮上ユニット脚５３が設けられ、浮上ユニット脚５３の内部はチャンバー２９の内部に連通し、浮上ユニット本体４１の設置穴５９に浮上ユニット脚５３の一対の開口部５７の開口面積を調節する円形の調節部材６１が鉛直軸心周りに回転可能に嵌装されたこと。 （もっと読む）