【課題】基板面積、或いは基板の厚さ寸法に拘わらず、基板面の平坦性を維持しながら搬送する。
【解決手段】基板保持手段７は、基板Ｇの幅方向両端において、該基板の下面を吸着保持する吸着部材７ａと、前記吸着部材を前記基板の幅方向外側に引張る引張り手段７ｅ、７ｆ、７ｇとを備え、浮上ステージ２上に浮上する前記基板は、その幅方向両端の下面が前記吸着部材により吸着保持され、且つ、前記引張り手段により幅方向両端が幅方向外側に引張られた状態で、基板搬送手段６により搬送される。 （もっと読む）

【課題】浮上ステージにおける基板の浮上高や姿勢を最適化しつつ、浮上用高圧気体の消費効率を改善すること。
【解決手段】このレジスト塗布装置における浮上ステージ１０は、搬送方向において塗布領域Ｍ_CTの前後に延びる搬入領域Ｍ_INおよび搬出領域Ｍ_OUTの浮上面をそれぞれ多数の浮上エリアに区画している。これらの浮上面には多数の噴出口１２配置されている。各々の浮上エリアにおける高圧気体の噴出圧力は噴出圧力制御部により独立に可変ないしオン・オフ制御されるようになっている。 （もっと読む）

【課題】一の搬送方向と該一の搬送方向と直交する搬送方向とのコーナー部においても、円滑に９０度方向転換させることが可能な非接触搬送装置を提供する。
【解決手段】一の搬送方向（Ｘ方向）に沿って配された非接触搬送装置３と、一の搬送方向に対して直交する搬送方向（Ｙ方向）に配された非接触搬送装置４とのコーナー部に配される非接触搬送装置２であって、平面視直角三角形を呈すると共に、平面視直角三角形の斜辺２ｂを相対向させた一対の搬送用基板２ａ、２ａ’が直角三角形の一方の辺２ｃを一の搬送方向に向けると共に、他方の辺２ｄを搬送方向に直交する搬送方向に向けて配され、搬送用基板には、平面視直角三角形の搬送面に複数個の上昇流形成体８と複数個の吸引孔５ｎが設けられている非接触搬送装置１。 （もっと読む）

【課題】エアコンベヤ２によって搬送されている樹脂製容器６が、衝突等によって変形することを防止する。
【解決手段】エアコンベヤ２によって搬送されている樹脂製容器６に、搬送方向と逆側から胴部６ｃに向けてエアを噴射するエアノズル２２を設けるとともに、その上流側に、連続して搬送されている樹脂製容器６の容器群の本数を検出するセンサ３８、４０が設けられている。このセンサ３８、４０からの信号により制御装置４２がエアノズル２２から噴射するエア圧力を制御する。容器群の本数が１０本未満の時は、逆方向のエアの噴射は行わず、１０本〜１９本の時は、弱いエア噴射圧力で逆方向のエアを噴射し、２０本に以上の時は、強いエア噴射圧力で逆方向のエアを噴射する。 （もっと読む）

【課題】二つの部材間の離間距離調整作業の作業性向上を図る。
【解決手段】レベリング装置３は、ユニット化されたアジャスター３３、スペーサ３４を有する。アジャスター３３において、スリーブ３３１は、レール２の貫通穴２３に挿入される六角穴付ボルト３２用のネジ穴部３３１Ａが形成された雄ネジ部３３１Ｄ、ベース１のＴ字状溝１１に挿入されるＴボルト３１用のネジ穴部３３１Ｂ、バネ３３２を受けるフランジ３３１Ｃを有し、六角穴付止めネジ３３４はスリーブ３３１に対して回転不能にネジ穴部３３１Ａ内に固定され、ナット３３３は雄ネジ部３３１Ｄに締結されてバネ３３２に接触し、フランジ３３１Ｃとの間でバネ３３２をプリロードする。スペーサ３４は、ナット座面−雄ネジ先端の間隔より深く、雄ネジ部３３１Ｄに被せられてバネ３３２に支持された状態でレール２を支持し、かつネジ穴部３３１Ａをレール２の貫通穴２３に露出する開口３４１を有する。 （もっと読む）

【課題】二つの部材間の離間距離調整作業の作業性向上を図る。
【解決手段】レベリング装置３は、ベースフレーム１上でエアレール２を支持し、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さを調整する。レベリング装置３は、ベースフレーム１に対するエアレール２の高さ方向に伸縮する皿バネ群３１と、一方の端面３２１から他方の端面３２３に向けてボルト４を挿入するための第一の貫通孔３２４が形成され、外側に向けて第一の縁部３２２が一方の端面３２１側に形成された円柱状の圧子３２と、一方の端面３３１から他方の端面３３３に向けてボルト４を挿入するための第二の貫通孔３３４が形成され、外側に向けてフランジ部３３２が一方の端面３３１側に形成され円柱状のスプリングガイド３３と、内側に向けて第二の縁部３４２が一方の開口部３４１に形成された筒状のハウジング３４と、を有する。 （もっと読む）

【課題】エネルギー効率が良く駆動力が大きく実用性に優れ、リニア同期モータにより駆動されるエア浮上搬送方式を提供する。
【解決手段】中央に案内溝２を有し且つ上面及び当該案内溝２の側面に加圧空気による静圧スラスト軸受け機能を備えた走路１と、当該走路１の上面で浮上して物品を搬送する搬送台３と、前記案内溝２に嵌合し当該案内溝２の側面の静圧スラスト軸受け機能により非接触的に前記搬送台の進行方向を案内する案内子４と、前記搬送台３を駆動するために前記案内溝２の内側に配置された位相が９０度異なるＡ、Ｂ２相のコイルセット５及び前記搬送台３の裏面に適切な継鉄７を介してＮＳ交互に配置したマグネットセット６を夫々固定子と可動子とするリニア同期モータを主要な構成要素として、エア浮上搬送装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】正確且つ安定的な板ガラスの搬送が可能なエア供給装置を提供する。
【解決手段】エア供給装置は、内部が空き、上方が開放されたハウジング１０と前記ハウジング１０の内部底面に設けられるエアファン２０と前記エアファン２０の上方のハウジング１０の上方に配置されるフィルター３０と前記フィルター３０の上面に密着されてハウジングの上方を覆い、表面にエア吐出孔４１が形成されたカバー４０とを含んで成る。エア区画部５０と、エア吐出調節部及びエア発生調節部を設けて、各区画空間ごとにエアが発生し、発生したエアは各区画空間別にならして上向吐出し、または、特定の区画空間からのエア吐出を遮断する代わりに隣接する他の区画空間にエア量を増加させて吐出する。 （もっと読む）

【課題】ファンを用いて物品を搬送する物品搬送装置において、物品に関わる検出器を可及的に減らせるようにする。
【解決手段】移載装置１、非接触でガラス基板を搬送する装置である。移載装置は、ケース２２と、ファン２４と、吹き出し口２８と、電流値測定部と、ファン制御部３０と、を備えている。ケース２２は、ガラス基板に対向する物品対向部４２を有している。ファン２４は、ファンケース５４の内部に設けられている。吹き出し部は、物品対向部４２に設けられ、ファン２４との間で空気を流す。電流値測定部は、ファン２４の負荷を検出する。ファン制御部３０は、電流値測定部の検出結果によりファン２４を制御する。 （もっと読む）

【課題】加圧空気を噴出して容器を搬送する際の容器の姿勢を正立状態に保つ。
【解決手段】首部に鍔部Ｐｈを有する容器Ｐの鍔部下面に当接する一対のネックレール５と、この一対のネックレール５で支持されている容器Ｐに加圧空気を噴出する加圧空気噴出手段とを備えている。加圧空気噴出手段は、容器搬送方向Yへの力Ｆ２を与える加圧空気を鍔部Ｐｈの下側に噴出する噴出口Ｎ２と、容器搬送方向Yとは逆向きの力を与える加圧空気を鍔部Ｐｈの上側の容器口部Ｐｃに噴出する噴出口Ｎ１と、を有する。 （もっと読む）