【課題】搬送幅方向に隣接関係にある浮上ユニットの間隙を大きくしても、基板と浮上ユニット等との干渉を回避して、基板の割れ等の損傷を十分に防止すること。
【解決手段】基板Ｗを搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、搬送幅中心線ＴＣＬよりも搬送幅方向の一方側に位置する各搬送ローラ２３は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向に対して搬送幅方向の一方側に傾斜するように構成され、搬送幅中心線ＴＣＬよりも搬送幅方向の他方側に位置する各搬送ローラ２３は、ローラ中心線が搬送方向に平行な方向対して搬送幅方向の他方側に傾斜するように構成されていること。 （もっと読む）

【課題】エア吐出の強さが大きくなって板ガラスの浮上力が向上されるエア供給装置を提供する。
【解決手段】上方に開放された中空のハウジング１０と、ハウジング１０の内部の底面に設置されたエア発生器２０と、ハウジング１０の上方に配置されたフィルター３０と、フィルター３０の上面に密着してハウジング１０の上方を覆う、表面にエア吐出孔が形成されたカバー６０とで構成されるエア供給装置において、エア発生器２０が、エアを上方及び側方に同時に吐出する上方吐出部及び側方吐出部で構成される。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗの往復搬送中において、基板Ｗの端部と浮上ユニット１５との干渉を回避して、基板Ｗの傷又は割れ等の損傷を極力少なくすること。
【解決手段】搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に、浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成された浮上ガス溜まり層Ｓを支点として基板Ｗの端部側に上向きの力を発生させるように、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器３７が設けられ、空気吸引器３７は、往動搬送時に吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていること。 （もっと読む）

【課題】搬送用ローラの周辺域の負圧度を高く設定しても、基板の端面と各搬送用ローラ等との衝突を回避すること。
【解決手段】複数の反射型光電センサ３３が搬送方向に間隔を置いて設けられ、各反射型光電センサ３３は、基板Ｗが各第１搬送用ローラ２３を乗り越えたことを検出するものであって、コントローラは、各反射型光電センサ３３から検出信号が出力されると、各第１搬送用送風ファンの作動を停止して各第１搬送用吸引ファンの作動を開始するように制御するものである。 （もっと読む）

【課題】ローラ駆動ユニット２１の配設作業が簡単にして、ローラ駆動ユニット２１の配設作業に要する時間と手間を極力低減すること。
【解決手段】チャンバー１１の垂直側面ＭＳに取付ベース２３が着脱可能に設けられ、取付ベース２３はチャンバー１１の垂直側面ＭＳに当接可能な垂直基準面ＲＳを有し、取付ベース２３に支持プレート３７が設けられ、支持プレート３７の上部に搬送ローラ４１が設けられ、搬送ローラ４１は取付ベース２３の垂直基準面ＲＳに直交する方向に平行な軸心周りに回転可能であって、支持プレート３７の下部に搬送ローラ４１を回転させる搬送モータ４５が設けられていること。 （もっと読む）

【課題】 機構の簡素化を実現すると共に、小さな動力で基板を搬送方向に移動させることのできる新規な構成の浮上搬送装置を提供すること。
【解決手段】 基板Ｗの浮上搬送時に基板Ｗに推力を与える搬送ユニット５７を備えた浮上搬送装置であって、搬送ユニット５７が、駆動モータ８２、揺動フレーム８４内に収容された駆動プーリ８６と無端ベルト８８と可動プーリ８７、可動プーリ８７と共に上下位置を変更可能な搬送ローラ６３ａ、及び、駆動モータ８２の駆動出力軸８２ａと揺動フレーム８４とを連結する連結軸受８３を備えている。駆動プーリ８６は駆動出力軸８２ａに固定されている。連結軸受８３の入力部は駆動出力軸８２ａに固定されており、出力部は揺動フレーム８４に固定されている。連結軸受８３は、搬送ローラ６３ａが基板Ｗと接触するまでは揺動フレーム８４を揺動させ、接触後は入力部と出力部とが滑って接触状態を維持するよう構成されている。 （もっと読む）

【課題】浮上ユニット１５等が搬送ローラ３７の交換の妨げにならなくなって、搬送ローラ３７の交換の作業能率を向上させること。
【解決手段】下部ケース２１の上側に上部ケース２５が着脱可能に設けられ、上部ケース２５内に搬送ローラ３１がローラ軸３３を介して搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、搬送モータ３７の出力軸４１が上部ケース２５の着脱によって搬送ローラ３７に対して接続遮断可能になっていること。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面と搬送ローラとの間の滑りを抑えて、浮上搬送装置の搬送効率を高めつつ、吸引ファンの消費電力の増大を抑えること。
【解決手段】ローラ駆動ユニット１９は、装置本体に設けられかつ上側に開口部２３を有しユニットケース２１と、ユニットケース２１内に上下方向へ移動可能に設けられた可動支持部材２７と、可動支持部材２７を上下方向へ位置調節する調節ねじ部材４１と、可動支持部材２７に搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられた搬送ローラ４３と、搬送ローラ４３を搬送幅方向に平行な軸心周りに回転させる搬送モータ４５と、ユニットケース２１内の空気を吸引する吸引ファン５５と、を備えたこと。 （もっと読む）

【課題】 チップ部品（ワーク）をダメージやストレスを生じさせず、ワーク同士の重なりをなくし、大量供給して高速に搬送して、検査し易いように所定間隔に揃えることが可能なチップ部品の整列供給装置を提供する。
【解決手段】 第１の搬送路４によって搬送されたワークをＸ方向に移動させて第２の搬送路５の入口に移載する移載手段３と、移載されたワークをＹ方向に搬送する第２の搬送路５とを備え、前記移載手段３がワークをエア吸着してＸ方向に移動させた後エア脱着して第２の搬送路５の入口に移載し、第２の搬送路５の搬送面に形成された微細孔からＹ方向に向けて斜め上方にエアを噴出させてワークを浮上させながら搬送し、次工程に供給する。 （もっと読む）

【課題】基板Ｗに反り等の変形がある場合であっても、基板Ｗの幅方向の端面と浮上ユニット３３等との干渉を回避することができ、基板Ｗの損傷を十分に防止すること。
【解決手段】複数の浮上ユニット３３によって区画される搬送領域ＴＡの上方位置に、複数の吹付ノズル４５が搬送方向に間隔を置いて配設され、複数の吹付ノズル４５は、いずれかの浮上ユニット３３と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓを支点として基板Ｗの幅方向の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の幅方向の中央部に向かって上方向からエアを吹付けるようになっていること。 （もっと読む）