浮上搬送装置
【課題】基板Ｗの往復搬送中において、基板Ｗの端部と浮上ユニット１５との干渉を回避して、基板Ｗの傷又は割れ等の損傷を極力少なくすること。
【解決手段】搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に、浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成された浮上ガス溜まり層Ｓを支点として基板Ｗの端部側に上向きの力を発生させるように、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器３７が設けられ、空気吸引器３７は、往動搬送時に吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていること。
【解決手段】搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に、浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成された浮上ガス溜まり層Ｓを支点として基板Ｗの端部側に上向きの力を発生させるように、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器３７が設けられ、空気吸引器３７は、往動搬送時に吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていること。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術としては特許文献１に示すもの（本願の出願人が既に出願したもの）がある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
先行技術に係る浮上搬送装置は、装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体は、搬送方向へ沿って延びている。また、装置本体には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設されている。そして、各浮上ユニットの内部は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給源に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されてあって、各浮上ユニットは、基板との間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）を生成可能である。更に、装置本体には、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構が設けられおり、この搬送機構は、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能な複数の搬送ローラを備えている。なお、特許文献１には明示されていないが、複数の搬送ローラの回転方向を切り替えることにより、搬送機構によって基板を往復搬送（往動搬送及び復動搬送）することが可能である。
【０００４】
従って、圧縮空気供給源によって各浮上ユニットの内部に圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、複数の搬送ローラを搬送幅方向へ平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板と複数の浮上ユニットとの間にエア溜まり層を生成しつつ、基板を搬送方向へ浮上させた状態で搬送することができる。
【０００５】
なお、特許文献１には開示されていないが、通常、搬送方向に隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間であって搬送方向に間隔を置いた複数箇所には、複数の浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップがそれぞれ区画形成（形成）されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年、ガラス基板等の基板の大型薄型化傾向に伴い、基板の剛性は低くなってきており、基板の搬送中において、基板の端部が先行の浮上ユニット側から挿入ギャップを越えて後続の浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向へ大きく撓むことがある。そのため、このような場合には、基板の端部が浮上ユニットに干渉（衝突）して、基板に傷又は割れ等の損傷を招くという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴は、基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する浮上搬送装置において、装置本体と、前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、基板との間に浮上ガス溜まり層を生成可能であって、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、基板を前記搬送方向へ往復搬送する搬送機構と、を具備し、前記搬送方向に隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間であってかつ前記搬送方向に間隔を置いた複数箇所に、前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップ（乗り継ぎ溝）がそれぞれ区画形成され、各挿入ギャップは、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びてあって、前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器が設けられ、前記空気吸引器は、往動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていることを要旨とする。
【００１０】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。更に、「上流」とは、基板の進行方向から見て上流のことをいい、復動搬送時における上流側は、往動搬送時における上流側と方向が逆になる。
【００１１】
本発明の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に浮上ガス溜まり層を生成しつつ、基板を前記搬送方向の一方側へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００１２】
ここで、基板の往動搬送中に、基板の端部が先行の前記浮上ユニットから前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニットに乗り継ぐ前に、予め前記第１吸引位置に位置した前記空気吸引器の作動によって基板の裏側の空気を下方向へ吸引することにより、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させる。これにより、基板の往動搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００１３】
同様に、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送機構を適宜に動作させて基板の進行方向を反転させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に浮上ガス溜まり層を生成しつつ、基板を前記搬送方向の他方側へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００１４】
ここで、基板の復動搬送中に、基板の端部が先行の前記浮上ユニットから前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニットに乗り継ぐ前に、前記吸引器を前記第１吸引位置から前記第２吸引位置まで移動させておく。そして、前記空気吸引器の作動によって基板の裏側の空気を下方向へ吸引することにより、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させる。これにより、基板の復動搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００１５】
なお、本願の明細書において、「先行」とは、基板の進行方向から見て先行することをいい、「後続」とは、基板の進行方向から見て後続することをいう。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、基板の往復搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できるため、基板の端部と前記浮上ユニットとの干渉（衝突）を回避して、基板の傷又は割れ等の損傷を極力少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図３におけるI-I線に沿った拡大断面図であって、基板の往動搬送中の状態を示している。
【図２】図３におけるII-II線に沿った拡大断面図であって、基板の復動搬送中の状態を示している。
【図３】第１実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な平面図である。
【図４】図３におけるIV-IV線に沿った拡大図である。
【図５】図７におけるV-V線に沿った拡大断面図であって、基板の往動搬送中の状態を示している。
【図６】図７におけるVI-VI線に沿った拡大断面図であって、基板の復動搬送中の状態を示している。
【図７】第２実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な平面図である。
【図８】図７におけるVIII-VIII線に沿った拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施形態）
第１実施形態について図１から図４を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１９】
図３、及び図４に示すように、第１実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上させた状態で往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する装置であって、搬送方向に沿って並んだ複数の装置本体（装置フレーム）３を具備している。また、各装置本体３は、搬送方向に直交する搬送幅方向（左右方向）に延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。なお、浮上搬送装置１が搬送方向に沿って並んだ複数の装置本体３を具備する代わりに、搬送方向へ延びた装置本体（図示省略）を具備しても構わない。
【００２０】
各支持台５には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数（第１実施形態にあっては、３つ）のチャンバー１１が設けられており、各チャンバー１１の下面には、チャンバー１１内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給源としての１つ又は複数の供給ファン（第１実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）１３が設けられている。
【００２１】
各チャンバー１１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の浮上ユニット１５が配設されており、換言すれば、複数の装置本体３には、複数の浮上ユニット１５が複数のチャンバー１１等を介して搬送方向及び搬送幅方向に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット１５の配設状態は、搬送幅方向に複数列（第１実施形態にあっては、５列）になっている。また、各浮上ユニット１５の正面視形状（図４参照）及び側面視形状（図１参照）は、それぞれＴ字形状を呈してあって、各浮上ユニット１５の内部は、チャンバー１１を介して供給ファン１３に接続されている。更に、各浮上ユニット１５の上面には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル１７が浮上ユニット１５の外縁（平面視形状）に沿って形成されており、各浮上ユニット１５は、基板Ｗとの間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）Ｓ（図１参照）を生成可能である。ここで、各ノズル１７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１５の上面に垂直な方向）に対して浮上ユニット１５の中心側へ傾斜するようになっている。なお、各浮上ユニット１５の上面に矩形枠状のノズル１７が浮上ユニット１５の外縁に沿って設けられるの代わりに、スリット状又は小孔状の複数のノズル（図示省略）が浮上ユニット１５の外縁に沿って形成されるようにしても構わない。
【００２２】
装置本体３には、基板Ｗを搬送方向へ往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する搬送機構１９が設けられている。そして、搬送機構１９の具体的な構成は、次のようになる。
【００２３】
各支持台５の左端部付近には、複数の支持ブラケット２１が設けられており、各支持ブラケット２１には、基板Ｗの一端面（左端面）を支持する第１搬送ローラ２３が鉛直（垂直）な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、各第１搬送ローラ２３は、鉛直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。
【００２４】
各支持台５の右端部付近には、移動エアシリンダ２５が設けられており、各移動エアシリンダ２５は、支持台５に固定されたシリンダ本体２７、及びシリンダ本体２７に左右方向（搬送幅方向）へ移動可能に設けられたピストンロッド２９を有している。また、各移動エアシリンダ２５におけるシリンダ本体２７には、スライダ３１が左右方向へ移動可能に設けられており、各移動エアシリンダ２５におけるピストンロッド２９の先端部は、スライダ３１の適宜位置に連結してある。更に、各スライダ３１の左端部には、基板Ｗの他端面（右端面）を支持する第２搬送ローラ３３が鉛直な軸心周りに回転可能に設けられている。そして、各スライダ３１の右端部には、第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに正方向及び逆方向へ回転させる搬送モータ３５が設けられてあって、各搬送モータ３５の出力軸（図示省略）は、第２搬送ローラ３３の回転軸に連動連結してある。
【００２５】
なお、第１搬送ローラ２３をフリーローラとし、第２搬送ローラ３３を搬送モータ３５等のモータの駆動によって回転する駆動ローラとする代わりに、第１搬送ローラ２３を駆動ローラとし、第２搬送ローラ３３をフリーローラとしたり、第１搬送ローラ２３及び第２搬送ローラ３３を駆動ローラとしたりするようにしても構わない。
【００２６】
図１から図３に示すように、搬送方向に隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間であってかつ搬送方向に間隔を置いた複数箇所（第１実施形態にあっては、説明の便宜上、２箇所）には、複数の浮上ユニット１５に対して基板Ｗの受渡し又は受取りを行う基板受け部材Ｐを挿入するための複数の挿入ギャップ（乗り継ぎ溝）Ｇ１，Ｇ２がそれぞれ区画形成（形成）されており、各挿入ギャップＧ１，Ｇ２は、搬送幅方向へ延びている。ここで、基板受け部材Ｐの例としては、特開平７−３１１３７５号公報等に示すような基板受けフォーク、特開２００５−１５９１４１号公報等に示すような基板カセットにおける基板支持部材（基板カセットの一部分）等が挙げられる。
【００２７】
支持台５における搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の空気吸引器３７が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各空気吸引器３７の具体的な構成は、次のようになる。
【００２８】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された吸引ケース３９が設けられている。また、吸引ケース３９内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）４１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ４１は、吸引ケース３９に対して上方向へ突出してある。なお、空気吸引器３７の構成要素から支持ローラ４１を省略しても構わない。
【００２９】
吸引ケース３９の下面には、基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引する吸引ファン４３が設けられている。そして、図１及び図２に示すように、空気吸引器３７は、吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１（Ｇ２）の直上流側（往動搬送時における直上流側及び復動搬送における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ１（Ｇ２）に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて吸引ファン４３の作動を開始するようにしても構わない。
【００３０】
各空気吸引器３７は、往動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置（図１に示す位置）と、復動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置（図２に示す位置）との間で支持台５に対して前後方向（搬送方向）へ移動可能になっている。また、チャンバー１１の側面には、各空気吸引器３７を前後方向へ移動させるロッドレスシリンダ４５（移動アクチュエータの一例）が設けられており、各ロッドレスシリンダ４５は、前後方向へ移動可能な可動子４７を有してあって、各ロッドレスシリンダ４５の可動子４７は、各吸引ケース３９の適宜位置に連結してある。
【００３１】
支持台５における挿入ギャップ（往動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ２の後側（往動搬送時における上流側）の近接した位置には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の第１サブ空気吸引器４９が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各第１サブ空気吸引器４９の具体的な構成は、次のようになる。
【００３２】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された第１サブ吸引ケース５１が設けられている。また、第１サブ吸引ケース５１内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）５３が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ５３は、第１サブ吸引ケース５１に対して上方向へ突出してある。なお、第１サブ空気吸引器４９の構成要素から支持ローラ５３を省略しても構わない。
【００３３】
第１サブ吸引ケース５１の下面には、基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引する第１サブ吸引ファン５５が設けられている。そして、図１に示すように、第１サブ空気吸引器４９は、第１サブ吸引ファン５５の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ２に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて第１サブ吸引ファン５５の作動を開始するようにしても構わない。
【００３４】
支持台５における挿入ギャップ（復動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ１の前側（復動搬送時における上流側）の近接した位置には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の第２サブ空気吸引器５７が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各第２サブ空気吸引器５７の具体的な構成は、次のようになる。
【００３５】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された第２サブ吸引ケース５９が設けられている。また、第２サブ吸引ケース５９内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）６１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ６１は、第２サブ吸引ケース５９に対して上方向へ突出してある。なお、第２サブ空気吸引器５７の構成要素から支持ローラ６１を省略しても構わない。
【００３６】
第２サブ吸引ケース５９の下面には、基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引する第２サブ吸引ファン６３が設けられている。そして、図２に示すように、第２サブ空気吸引器５７は、第２サブ吸引ファン６３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ１に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて第２サブ吸引ファン６３の作動を開始するようにしても構わない。
【００３７】
次に、第１実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３８】
各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各移動エアシリンダ２５の作動によって各第２搬送ローラ３３を左方向へ移動させると共に、各搬送モータ３５の駆動よって各第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに正方向へ回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１５との間にエア溜まり層Ｓを生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２３及び複数の第２搬送ローラ３３の協働により基板Ｗを両側から支持しつつ、搬送方向の一方向（前方向）へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００３９】
ここで、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各第１サブ空気吸引器４９における第１サブ吸引ファン５５の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引することにより、図１に示すように、挿入ギャップＧ２の直後側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４０】
続いて、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、予め第１吸引位置に位置した各空気吸引器３７における吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、図１に示すように、挿入ギャップＧ１の直上流側（直後側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４１】
同様に、各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各移動エアシリンダ２５の作動によって各第２搬送ローラ３３を左方向へ移動させると共に、各搬送モータ３５の駆動よって各第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに逆方向へ回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１５との間にエア溜まり層Ｓを生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２３及び複数の第２搬送ローラ３３の協働により基板Ｗを両側から支持しつつ、搬送方向の他方向（後方向）へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００４２】
ここで、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各第２サブ空気吸引器５７における第２サブ吸引ファン６３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引することにより、図２に示すように、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４３】
続いて、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ロッドレスシリンダ４５の作動によって各空気吸引器３７を第１吸引位置から第２吸引位置まで移動させておく。そして、各空気吸引器３７における吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、図２に示すように、挿入ギャップＧ２の直前側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４４】
従って、第１実施形態によれば、基板Ｗの往復搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１，Ｇ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できるため、基板Ｗの端部と浮上ユニット１５との干渉（衝突）を回避して、基板Ｗの傷又は割れ等の損傷を極力少なくすることができる。
【００４５】
（第２実施形態）
第２実施形態について図５から図８を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００４６】
図７及び図８に示すように、第２実施形態に係る浮上搬送装置６５は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上させた状態でで往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する装置であって、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１と同様の構成要素を有している。以下、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置６５の構成のうち、第１実施形態に係る浮上搬送装置１の構成と異なる部分について説明する。なお、第２実施形態に係る浮上搬送装置６５における複数の構成要素のうち、第１実施形態に係る浮上搬送装置１における構成要素と対応するものについては、図面中に同一番号を付する。
【００４７】
図５、図７、及び図８に示すように、支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する搬送機構として複数のローラ駆動ユニット６７が搬送方向に沿って配設されており、複数のローラ駆動ユニット６７の配設状態は、搬送幅方向（左右方向）に複数列（第２実施形態にあっては、２列）になっている。そして、各ローラ駆動ユニット６７の具体的な構成は、次のようになる。
【００４８】
支持台５には、上側が開口されたユニットケース６９が設けられており、ユニットケース６９内には、基板Ｗの裏面を支持する搬送ローラ７１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられてあって、搬送ローラ７１は、ユニットケース６９に対して上方向へ突出してある。そして、ユニットケース６９内には、搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向及び逆方向回転させる搬送モータ７３が設けられており、搬送モータ７３の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構７５によって搬送ローラ７１に連動連結してある。更に、ユニットケース６９の下面には、基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引する吸引ファン７７が設けられている。
【００４９】
搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に介在する一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ａ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器を兼用している。そして、図５及び図６に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ａは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１（Ｇ２）の直上流側（往動搬送時における直上流側及び復動搬送における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５０】
各ローラ駆動ユニット６７Ａは、往動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置（図５に示す位置）と、復動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置（図６に示す位置）との間で支持台５に対して前後方向（搬送方向）へ移動可能になっている。また、各チャンバー１１の側面には、各ローラ駆動ユニット６７Ａを前後方向へ移動させるロッドレスシリンダ７９（移動アクチュエータの一例）が設けられており、各ロッドレスシリンダ７９は、前後方向へ移動可能な可動子８１を有してあって、各ロッドレスシリンダ７９の可動子８１は、各ローラ駆動ユニット６７におけるユニットケース６９の適宜位置に連結してある。
【００５１】
挿入ギャップ（往動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ２の後側（往動動搬送時における上流側）に近接した一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ｂ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１サブ空気吸引器を兼用している。そして、図５に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ｂは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５２】
挿入ギャップ（復動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ１の前側（復動搬送時における上流側）に近接した一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ｃ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２サブ空気吸引器を兼用している。そして、図６に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ｃは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５３】
次に、第２実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５４】
各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気を各ユニットケース６９の開口側から吸引して、各搬送ローラ７１の周辺域を負圧状態にすると共に、各搬送モータ７３の駆動によって各搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向へ回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ７１との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを搬送方向の一方側（前方向）へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００５５】
ここで、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ローラ駆動ユニット６７Ｂにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図５に示すように、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５６】
続いて、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、予め第１吸引位置に位置した各ローラ駆動ユニット６７Ａにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図５に示すように、挿入ギャップＧ１の直後側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５７】
同様に、各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気を各ユニットケース６９の開口側から吸引して、各搬送ローラ７１の周辺域を負圧状態にすると共に、各搬送モータ７３の駆動によって各搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに逆方向へ回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ７１との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを搬送方向の他方側（後方向）へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００５８】
ここで、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ローラ駆動ユニット６７Ｃにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図６に示すように、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５９】
続いて、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ロッドレスシリンダ７９の作動によって各ローラ駆動ユニット６７Ａを第１吸引位置から第２吸引位置まで移動させておく。そして、各ローラ駆動ユニット６７Ａにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図６に示すように、挿入ギャップＧ２の直前側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００６０】
従って、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏するものである。
【００６１】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００６２】
Ｗ 基板
Ｇ１ 挿入ギャップ
Ｇ２ 挿入ギャップ
Ｐ 基板受け部材
Ｓ エア溜まり層
１ 浮上搬送装置
３ 装置本体
５ 支持台
１１ チャンバー
１３ 供給ファン
１５ 浮上ユニット
１７ ノズル
１９ 搬送機構
２３ 第１搬送ローラ
２５ 移動エアシリンダ
３１ スライダ
３３ 第２搬送ローラ
３５ 搬送モータ
３７ 空気吸引器
３９ 吸引ケース
４１ 支持ローラ
４３ 吸引ファン
４５ ロッドレスシリンダ
４９ 第１サブ空気吸引器
５１ 第１サブ吸引ケース
５３ 支持ローラ
５５ 第１サブ吸引ファン
５７ 第２サブ空気吸引器
５９ 第２サブ吸引ケース
６１ 支持ローラ
６３ 第２サブ吸引ファン
６５ 浮上搬送装置
６７ ローラ駆動ユニット
６７Ａ 吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６７Ｂ 第１サブ吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６７Ｃ 第２サブ吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６９ ユニットケース
７１ 搬送ローラ
７３ 搬送モータ
７７ 吸引ファン
７９ ロッドレスシリンダ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板等の基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送する浮上搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーン搬送の分野では浮上搬送装置について種々の開発がなされており、浮上搬送装置の先行技術としては特許文献１に示すもの（本願の出願人が既に出願したもの）がある。そして、先行技術に係る浮上搬送装置の構成等は、次のようになる。
【０００３】
先行技術に係る浮上搬送装置は、装置本体（装置フレーム）を具備しており、この装置本体は、搬送方向へ沿って延びている。また、装置本体には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）の圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットが搬送方向及び搬送方向に直交する搬送幅方向に間隔を置いて配設されている。そして、各浮上ユニットの内部は、圧縮空気を供給する圧縮空気供給源に接続されており、各浮上ユニットの上面には、圧縮空気を噴出するノズルが形成されてあって、各浮上ユニットは、基板との間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）を生成可能である。更に、装置本体には、基板を搬送方向へ搬送する搬送機構が設けられおり、この搬送機構は、搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能な複数の搬送ローラを備えている。なお、特許文献１には明示されていないが、複数の搬送ローラの回転方向を切り替えることにより、搬送機構によって基板を往復搬送（往動搬送及び復動搬送）することが可能である。
【０００４】
従って、圧縮空気供給源によって各浮上ユニットの内部に圧縮空気を供給して、各浮上ユニットのノズルから圧縮空気を噴出させると共に、複数の搬送ローラを搬送幅方向へ平行な軸心周りに回転させる。これにより、基板と複数の浮上ユニットとの間にエア溜まり層を生成しつつ、基板を搬送方向へ浮上させた状態で搬送することができる。
【０００５】
なお、特許文献１には開示されていないが、通常、搬送方向に隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間であって搬送方向に間隔を置いた複数箇所には、複数の浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップがそれぞれ区画形成（形成）されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
【特許文献１】特開２００６−１８２５６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、近年、ガラス基板等の基板の大型薄型化傾向に伴い、基板の剛性は低くなってきており、基板の搬送中において、基板の端部が先行の浮上ユニット側から挿入ギャップを越えて後続の浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向へ大きく撓むことがある。そのため、このような場合には、基板の端部が浮上ユニットに干渉（衝突）して、基板に傷又は割れ等の損傷を招くという問題がある。
【０００８】
そこで、本発明は、前述の問題を解決することができる、新規な構成の浮上搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の特徴は、基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する浮上搬送装置において、装置本体と、前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、基板との間に浮上ガス溜まり層を生成可能であって、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、基板を前記搬送方向へ往復搬送する搬送機構と、を具備し、前記搬送方向に隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間であってかつ前記搬送方向に間隔を置いた複数箇所に、前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップ（乗り継ぎ溝）がそれぞれ区画形成され、各挿入ギャップは、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びてあって、前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器が設けられ、前記空気吸引器は、往動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていることを要旨とする。
【００１０】
なお、本願の特許請求の範囲及び明細書において、「配設され」とは、直接的に配設されたことの他に、別部材を介して間接的に配設されたことを含む意であって、「設けられ」とは、直接的に設けられたことの他に、別部材を介して間接的に設けられたことを含む意である。また、「浮上ガス」とは、圧縮空気（エア）、アルゴンガス、窒素ガス等の含む意である。更に、「上流」とは、基板の進行方向から見て上流のことをいい、復動搬送時における上流側は、往動搬送時における上流側と方向が逆になる。
【００１１】
本発明の特徴によると、前記浮上ガス供給源の作動によって各浮上ユニットの内部に浮上ガスを供給して、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させると共に、前記搬送機構を適宜に動作させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に浮上ガス溜まり層を生成しつつ、基板を前記搬送方向の一方側へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００１２】
ここで、基板の往動搬送中に、基板の端部が先行の前記浮上ユニットから前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニットに乗り継ぐ前に、予め前記第１吸引位置に位置した前記空気吸引器の作動によって基板の裏側の空気を下方向へ吸引することにより、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させる。これにより、基板の往動搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００１３】
同様に、各浮上ユニットの前記ノズルから浮上ガスを噴出させつつ、前記搬送機構を適宜に動作させて基板の進行方向を反転させる。これにより、基板と複数の前記浮上ユニットとの間に浮上ガス溜まり層を生成しつつ、基板を前記搬送方向の他方側へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００１４】
ここで、基板の復動搬送中に、基板の端部が先行の前記浮上ユニットから前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニットに乗り継ぐ前に、前記吸引器を前記第１吸引位置から前記第２吸引位置まで移動させておく。そして、前記空気吸引器の作動によって基板の裏側の空気を下方向へ吸引することにより、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させる。これにより、基板の復動搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００１５】
なお、本願の明細書において、「先行」とは、基板の進行方向から見て先行することをいい、「後続」とは、基板の進行方向から見て後続することをいう。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、基板の往復搬送中において、基板の端部が先行の前記浮上ユニット側から前記挿入ギャップを越えて後続の前記浮上ユニット側へ乗り継ぐ際に、基板の端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できるため、基板の端部と前記浮上ユニットとの干渉（衝突）を回避して、基板の傷又は割れ等の損傷を極力少なくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】図３におけるI-I線に沿った拡大断面図であって、基板の往動搬送中の状態を示している。
【図２】図３におけるII-II線に沿った拡大断面図であって、基板の復動搬送中の状態を示している。
【図３】第１実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な平面図である。
【図４】図３におけるIV-IV線に沿った拡大図である。
【図５】図７におけるV-V線に沿った拡大断面図であって、基板の往動搬送中の状態を示している。
【図６】図７におけるVI-VI線に沿った拡大断面図であって、基板の復動搬送中の状態を示している。
【図７】第２実施形態に係る浮上搬送装置の概略的な平面図である。
【図８】図７におけるVIII-VIII線に沿った拡大図である。
【発明を実施するための形態】
【００１８】
（第１実施形態）
第１実施形態について図１から図４を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００１９】
図３、及び図４に示すように、第１実施形態に係る浮上搬送装置１は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上させた状態で往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する装置であって、搬送方向に沿って並んだ複数の装置本体（装置フレーム）３を具備している。また、各装置本体３は、搬送方向に直交する搬送幅方向（左右方向）に延びた支持台５と、この支持台５の下側に一体的に設けられた複数の支柱７と、複数の支柱７に連結するように設けられた複数の補強部材９とを備えている。なお、浮上搬送装置１が搬送方向に沿って並んだ複数の装置本体３を具備する代わりに、搬送方向へ延びた装置本体（図示省略）を具備しても構わない。
【００２０】
各支持台５には、浮上ガスとしての圧縮空気（エア）を収容する複数（第１実施形態にあっては、３つ）のチャンバー１１が設けられており、各チャンバー１１の下面には、チャンバー１１内に圧縮空気を供給する圧縮空気供給源としての１つ又は複数の供給ファン（第１実施形態にあっては、ファンフィルタユニット）１３が設けられている。
【００２１】
各チャンバー１１の上面には、圧縮空気の圧力を利用して基板Ｗを浮上させる中空状の浮上ユニット１５が配設されており、換言すれば、複数の装置本体３には、複数の浮上ユニット１５が複数のチャンバー１１等を介して搬送方向及び搬送幅方向に間隔を置いて配設されており、複数の浮上ユニット１５の配設状態は、搬送幅方向に複数列（第１実施形態にあっては、５列）になっている。また、各浮上ユニット１５の正面視形状（図４参照）及び側面視形状（図１参照）は、それぞれＴ字形状を呈してあって、各浮上ユニット１５の内部は、チャンバー１１を介して供給ファン１３に接続されている。更に、各浮上ユニット１５の上面には、圧縮空気を噴出する矩形枠状のノズル１７が浮上ユニット１５の外縁（平面視形状）に沿って形成されており、各浮上ユニット１５は、基板Ｗとの間に浮上ガス溜まり層としてのエア溜まり層（圧力溜まり層）Ｓ（図１参照）を生成可能である。ここで、各ノズル１７は、特開２００６−１８２５６３号公報に示すように、垂直方向（浮上ユニット１５の上面に垂直な方向）に対して浮上ユニット１５の中心側へ傾斜するようになっている。なお、各浮上ユニット１５の上面に矩形枠状のノズル１７が浮上ユニット１５の外縁に沿って設けられるの代わりに、スリット状又は小孔状の複数のノズル（図示省略）が浮上ユニット１５の外縁に沿って形成されるようにしても構わない。
【００２２】
装置本体３には、基板Ｗを搬送方向へ往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する搬送機構１９が設けられている。そして、搬送機構１９の具体的な構成は、次のようになる。
【００２３】
各支持台５の左端部付近には、複数の支持ブラケット２１が設けられており、各支持ブラケット２１には、基板Ｗの一端面（左端面）を支持する第１搬送ローラ２３が鉛直（垂直）な軸心周りに回転可能に設けられている。ここで、各第１搬送ローラ２３は、鉛直な軸心周りに回転自在なフリーローラになっている。
【００２４】
各支持台５の右端部付近には、移動エアシリンダ２５が設けられており、各移動エアシリンダ２５は、支持台５に固定されたシリンダ本体２７、及びシリンダ本体２７に左右方向（搬送幅方向）へ移動可能に設けられたピストンロッド２９を有している。また、各移動エアシリンダ２５におけるシリンダ本体２７には、スライダ３１が左右方向へ移動可能に設けられており、各移動エアシリンダ２５におけるピストンロッド２９の先端部は、スライダ３１の適宜位置に連結してある。更に、各スライダ３１の左端部には、基板Ｗの他端面（右端面）を支持する第２搬送ローラ３３が鉛直な軸心周りに回転可能に設けられている。そして、各スライダ３１の右端部には、第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに正方向及び逆方向へ回転させる搬送モータ３５が設けられてあって、各搬送モータ３５の出力軸（図示省略）は、第２搬送ローラ３３の回転軸に連動連結してある。
【００２５】
なお、第１搬送ローラ２３をフリーローラとし、第２搬送ローラ３３を搬送モータ３５等のモータの駆動によって回転する駆動ローラとする代わりに、第１搬送ローラ２３を駆動ローラとし、第２搬送ローラ３３をフリーローラとしたり、第１搬送ローラ２３及び第２搬送ローラ３３を駆動ローラとしたりするようにしても構わない。
【００２６】
図１から図３に示すように、搬送方向に隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット間であってかつ搬送方向に間隔を置いた複数箇所（第１実施形態にあっては、説明の便宜上、２箇所）には、複数の浮上ユニット１５に対して基板Ｗの受渡し又は受取りを行う基板受け部材Ｐを挿入するための複数の挿入ギャップ（乗り継ぎ溝）Ｇ１，Ｇ２がそれぞれ区画形成（形成）されており、各挿入ギャップＧ１，Ｇ２は、搬送幅方向へ延びている。ここで、基板受け部材Ｐの例としては、特開平７−３１１３７５号公報等に示すような基板受けフォーク、特開２００５−１５９１４１号公報等に示すような基板カセットにおける基板支持部材（基板カセットの一部分）等が挙げられる。
【００２７】
支持台５における搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の空気吸引器３７が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各空気吸引器３７の具体的な構成は、次のようになる。
【００２８】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された吸引ケース３９が設けられている。また、吸引ケース３９内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）４１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ４１は、吸引ケース３９に対して上方向へ突出してある。なお、空気吸引器３７の構成要素から支持ローラ４１を省略しても構わない。
【００２９】
吸引ケース３９の下面には、基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引する吸引ファン４３が設けられている。そして、図１及び図２に示すように、空気吸引器３７は、吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１（Ｇ２）の直上流側（往動搬送時における直上流側及び復動搬送における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ１（Ｇ２）に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて吸引ファン４３の作動を開始するようにしても構わない。
【００３０】
各空気吸引器３７は、往動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置（図１に示す位置）と、復動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置（図２に示す位置）との間で支持台５に対して前後方向（搬送方向）へ移動可能になっている。また、チャンバー１１の側面には、各空気吸引器３７を前後方向へ移動させるロッドレスシリンダ４５（移動アクチュエータの一例）が設けられており、各ロッドレスシリンダ４５は、前後方向へ移動可能な可動子４７を有してあって、各ロッドレスシリンダ４５の可動子４７は、各吸引ケース３９の適宜位置に連結してある。
【００３１】
支持台５における挿入ギャップ（往動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ２の後側（往動搬送時における上流側）の近接した位置には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の第１サブ空気吸引器４９が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各第１サブ空気吸引器４９の具体的な構成は、次のようになる。
【００３２】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された第１サブ吸引ケース５１が設けられている。また、第１サブ吸引ケース５１内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）５３が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ５３は、第１サブ吸引ケース５１に対して上方向へ突出してある。なお、第１サブ空気吸引器４９の構成要素から支持ローラ５３を省略しても構わない。
【００３３】
第１サブ吸引ケース５１の下面には、基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引する第１サブ吸引ファン５５が設けられている。そして、図１に示すように、第１サブ空気吸引器４９は、第１サブ吸引ファン５５の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ２に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて第１サブ吸引ファン５５の作動を開始するようにしても構わない。
【００３４】
支持台５における挿入ギャップ（復動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ１の前側（復動搬送時における上流側）の近接した位置には、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する一対の第２サブ空気吸引器５７が搬送幅方向に離隔して設けられている。そして、各第２サブ空気吸引器５７の具体的な構成は、次のようになる。
【００３５】
支持台５における搬送幅方向に隣接関係にあるチャンバー１１間には、上側が開口された第２サブ吸引ケース５９が設けられている。また、第２サブ吸引ケース５９内には、基板Ｗの裏面を支持する支持ローラ（フリーローラ）６１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転自在に設けられており、支持ローラ６１は、第２サブ吸引ケース５９に対して上方向へ突出してある。なお、第２サブ空気吸引器５７の構成要素から支持ローラ６１を省略しても構わない。
【００３６】
第２サブ吸引ケース５９の下面には、基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引する第２サブ吸引ファン６３が設けられている。そして、図２に示すように、第２サブ空気吸引器５７は、第２サブ吸引ファン６３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。なお、基板Ｗからの反射光を監視しつつ基板Ｗの端部が挿入ギャップＧ１に近接したことを検出する反射型光電センサ（図示省略）を用い、この反射型光電センサの検出信号に基づいて第２サブ吸引ファン６３の作動を開始するようにしても構わない。
【００３７】
次に、第１実施形態の作用及び効果について説明する。
【００３８】
各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各移動エアシリンダ２５の作動によって各第２搬送ローラ３３を左方向へ移動させると共に、各搬送モータ３５の駆動よって各第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに正方向へ回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１５との間にエア溜まり層Ｓを生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２３及び複数の第２搬送ローラ３３の協働により基板Ｗを両側から支持しつつ、搬送方向の一方向（前方向）へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００３９】
ここで、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各第１サブ空気吸引器４９における第１サブ吸引ファン５５の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第１サブ吸引ケース５１の開口側から下方向へ吸引することにより、図１に示すように、挿入ギャップＧ２の直後側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４０】
続いて、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、予め第１吸引位置に位置した各空気吸引器３７における吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、図１に示すように、挿入ギャップＧ１の直上流側（直後側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４１】
同様に、各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各移動エアシリンダ２５の作動によって各第２搬送ローラ３３を左方向へ移動させると共に、各搬送モータ３５の駆動よって各第２搬送ローラ３３を鉛直な軸心周りに逆方向へ回転させる。これにより、基板Ｗと複数の浮上ユニット１５との間にエア溜まり層Ｓを生成しつつ、複数の第１搬送ローラ２３及び複数の第２搬送ローラ３３の協働により基板Ｗを両側から支持しつつ、搬送方向の他方向（後方向）へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００４２】
ここで、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各第２サブ空気吸引器５７における第２サブ吸引ファン６３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を第２サブ吸引ケース５９の開口側から下方向へ吸引することにより、図２に示すように、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４３】
続いて、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ロッドレスシリンダ４５の作動によって各空気吸引器３７を第１吸引位置から第２吸引位置まで移動させておく。そして、各空気吸引器３７における吸引ファン４３の作動によって基板Ｗの裏側の空気を吸引ケース３９の開口側から下方向へ吸引することにより、図２に示すように、挿入ギャップＧ２の直前側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００４４】
従って、第１実施形態によれば、基板Ｗの往復搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１，Ｇ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できるため、基板Ｗの端部と浮上ユニット１５との干渉（衝突）を回避して、基板Ｗの傷又は割れ等の損傷を極力少なくすることができる。
【００４５】
（第２実施形態）
第２実施形態について図５から図８を参照して説明する。なお、図面中、「ＦＦ」は、前方向を、「ＦＲ」は、後方向を、「Ｌ」は、左方向を、「Ｒ」は、右方向をそれぞれ指してある。
【００４６】
図７及び図８に示すように、第２実施形態に係る浮上搬送装置６５は、例えばガラス基板等の基板Ｗを搬送方向（前後方向）へ浮上させた状態でで往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する装置であって、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置１と同様の構成要素を有している。以下、本発明の実施形態に係る浮上搬送装置６５の構成のうち、第１実施形態に係る浮上搬送装置１の構成と異なる部分について説明する。なお、第２実施形態に係る浮上搬送装置６５における複数の構成要素のうち、第１実施形態に係る浮上搬送装置１における構成要素と対応するものについては、図面中に同一番号を付する。
【００４７】
図５、図７、及び図８に示すように、支持台５には、基板Ｗを搬送方向へ往復搬送（往動搬送及び復動搬送）する搬送機構として複数のローラ駆動ユニット６７が搬送方向に沿って配設されており、複数のローラ駆動ユニット６７の配設状態は、搬送幅方向（左右方向）に複数列（第２実施形態にあっては、２列）になっている。そして、各ローラ駆動ユニット６７の具体的な構成は、次のようになる。
【００４８】
支持台５には、上側が開口されたユニットケース６９が設けられており、ユニットケース６９内には、基板Ｗの裏面を支持する搬送ローラ７１が搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられてあって、搬送ローラ７１は、ユニットケース６９に対して上方向へ突出してある。そして、ユニットケース６９内には、搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向及び逆方向回転させる搬送モータ７３が設けられており、搬送モータ７３の出力軸は、一対のプーリとベルトからなる連結機構７５によって搬送ローラ７１に連動連結してある。更に、ユニットケース６９の下面には、基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引する吸引ファン７７が設けられている。
【００４９】
搬送方向に隣接関係にある挿入ギャップＧ１，Ｇ２間に介在する一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ａ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器を兼用している。そして、図５及び図６に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ａは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１（Ｇ２）の直上流側（往動搬送時における直上流側及び復動搬送における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５０】
各ローラ駆動ユニット６７Ａは、往動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置（図５に示す位置）と、復動搬送時に基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置（図６に示す位置）との間で支持台５に対して前後方向（搬送方向）へ移動可能になっている。また、各チャンバー１１の側面には、各ローラ駆動ユニット６７Ａを前後方向へ移動させるロッドレスシリンダ７９（移動アクチュエータの一例）が設けられており、各ロッドレスシリンダ７９は、前後方向へ移動可能な可動子８１を有してあって、各ロッドレスシリンダ７９の可動子８１は、各ローラ駆動ユニット６７におけるユニットケース６９の適宜位置に連結してある。
【００５１】
挿入ギャップ（往動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ２の後側（往動動搬送時における上流側）に近接した一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ｂ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第１サブ空気吸引器を兼用している。そして、図５に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ｂは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５２】
挿入ギャップ（復動搬送時における最上流側の挿入ギャップ）Ｇ１の前側（復動搬送時における上流側）に近接した一対のローラ駆動ユニット６７（６７Ｃ）は、基板Ｗの裏側の空気を下方向へ吸引する第２サブ空気吸引器を兼用している。そして、図６に示すように、ローラ駆動ユニット６７Ｃは、吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させるようになっている。
【００５３】
次に、第２実施形態の作用及び効果について説明する。
【００５４】
各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気を各ユニットケース６９の開口側から吸引して、各搬送ローラ７１の周辺域を負圧状態にすると共に、各搬送モータ７３の駆動によって各搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向へ回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ７１との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを搬送方向の一方側（前方向）へ浮上させた状態で往動搬送することができる。
【００５５】
ここで、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ローラ駆動ユニット６７Ｂにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図５に示すように、挿入ギャップＧ２の直後側（往動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５６】
続いて、基板Ｗの往動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、予め第１吸引位置に位置した各ローラ駆動ユニット６７Ａにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図５に示すように、挿入ギャップＧ１の直後側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５７】
同様に、各供給ファン１３の作動によって各チャンバー１１の内部へ圧縮空気を供給して、各浮上ユニット１５のノズル１７から圧縮空気を噴出させる。また、各吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気を各ユニットケース６９の開口側から吸引して、各搬送ローラ７１の周辺域を負圧状態にすると共に、各搬送モータ７３の駆動によって各搬送ローラ７１を搬送幅方向に平行な軸心周りに逆方向へ回転させる。これにより、基板Ｗの裏面と複数の搬送ローラ７１との接触圧を確保しつつ、基板Ｗを搬送方向の他方側（後方向）へ浮上させた状態で復動搬送することができる。
【００５８】
ここで、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ローラ駆動ユニット６７Ｃにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図６に示すように、挿入ギャップＧ１の直前側（復動搬送時における直上流側）の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの往動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ１を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００５９】
続いて、基板Ｗの復動搬送中に、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５に乗り継ぐ前に、各ロッドレスシリンダ７９の作動によって各ローラ駆動ユニット６７Ａを第１吸引位置から第２吸引位置まで移動させておく。そして、各ローラ駆動ユニット６７Ａにおける吸引ファン７７の作動によって基板Ｗの裏側の空気をユニットケース６９の開口側から下方向へ吸引することにより、図６に示すように、挿入ギャップＧ２の直前側の浮上ユニット１５と基板Ｗとの間に生成されたエア溜まり層Ｓの中央部を支点として、基板Ｗの端部側に上向きの力Ｆを発生させる。これにより、基板Ｗの復動搬送中において、基板Ｗの端部が先行の浮上ユニット１５側から挿入ギャップＧ２を越えて後続の浮上ユニット１５側へ乗り継ぐ際に、基板Ｗの端部側が下方向に撓むことを十分に抑制できる。
【００６０】
従って、第２実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏するものである。
【００６１】
なお、本発明は、前述の実施形態の説明に限るものでなく、種々の態様で実施可能である。また、本発明に包含される権利範囲は、これらの実施形態に限定されないものである。
【符号の説明】
【００６２】
Ｗ 基板
Ｇ１ 挿入ギャップ
Ｇ２ 挿入ギャップ
Ｐ 基板受け部材
Ｓ エア溜まり層
１ 浮上搬送装置
３ 装置本体
５ 支持台
１１ チャンバー
１３ 供給ファン
１５ 浮上ユニット
１７ ノズル
１９ 搬送機構
２３ 第１搬送ローラ
２５ 移動エアシリンダ
３１ スライダ
３３ 第２搬送ローラ
３５ 搬送モータ
３７ 空気吸引器
３９ 吸引ケース
４１ 支持ローラ
４３ 吸引ファン
４５ ロッドレスシリンダ
４９ 第１サブ空気吸引器
５１ 第１サブ吸引ケース
５３ 支持ローラ
５５ 第１サブ吸引ファン
５７ 第２サブ空気吸引器
５９ 第２サブ吸引ケース
６１ 支持ローラ
６３ 第２サブ吸引ファン
６５ 浮上搬送装置
６７ ローラ駆動ユニット
６７Ａ 吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６７Ｂ 第１サブ吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６７Ｃ 第２サブ吸引器を兼用したローラ駆動ユニット
６９ ユニットケース
７１ 搬送ローラ
７３ 搬送モータ
７７ 吸引ファン
７９ ロッドレスシリンダ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送する浮上搬送装置において、
装置本体と、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、基板との間に浮上ガス溜まり層を生成可能であって、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
基板を前記搬送方向へ往復搬送する搬送機構と、を具備し、
前記搬送方向に隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間であってかつ前記搬送方向に間隔を置いた複数箇所に、前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップがそれぞれ区画形成され、各挿入ギャップは、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びてあって、
前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器が設けられ、前記空気吸引器は、往動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
最上流端側の前記挿入ギャップの上流側の近接した位置に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引するサブ空気吸引器が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記空気吸引器は、
前記装置本体に設けられ、上側が開口された吸引ケースと、
基板の裏側の空気を前記吸引ケースの開口側から下方向へ吸引する吸引ファンと、を備え、
前記サブ空気吸引器は、
前記装置本体に設けられ、上側が開口されたサブ吸引ケースと、
基板の裏側の空気を前記サブ吸引ケースの開口側から下方向へ吸引するサブ吸引ファンと、備えたことを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記搬送機構は、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設されかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっている複数のローラ駆動ユニットであって
各ローラ駆動ユニットは、
前記装置本体に設けられ、上側が開口されたユニットケースと、
前記ユニットケース内に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記ユニットケースに対して上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する搬送ローラと、
前記ユニットケース内に設けられ、前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向及び逆方向へ回転させる搬送モータと、
基板の裏側の空気を前記ユニットケースの開口側から下方向へ吸引する吸引ファンと、を備え、
前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に介在する前記ローラ駆動ユニットは、前記空気吸引器を兼用し、前記第１吸引位置と前記第２吸引位置との間で前記搬送方向へ移動可能になってあって、
最上流側の前記挿入ギャップの上流側に近接した前記ローラ駆動ユニットは、前記サブ空気吸引器を兼用していることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
各ノズルが前記浮上ユニットの外縁に沿って形成され、各ノズルが鉛直方向に対して各浮上ユニットの中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【請求項１】
基板を搬送方向へ浮上させた状態で往復搬送する浮上搬送装置において、
装置本体と、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設され、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、基板との間に浮上ガス溜まり層を生成可能であって、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、
基板を前記搬送方向へ往復搬送する搬送機構と、を具備し、
前記搬送方向に隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間であってかつ前記搬送方向に間隔を置いた複数箇所に、前記浮上ユニットに対して基板の受渡し又は受取りを行う基板受け部材を挿入するための挿入ギャップがそれぞれ区画形成され、各挿入ギャップは、前記搬送方向に直交する搬送幅方向へ延びてあって、
前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引する空気吸引器が設けられ、前記空気吸引器は、往動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第１吸引位置と、復動搬送時に基板の裏側の空気を下方向へ吸引する第２吸引位置との間で移動可能になっていることを特徴とする浮上搬送装置。
【請求項２】
最上流端側の前記挿入ギャップの上流側の近接した位置に、前記浮上ユニットと基板との間に生成された浮上ガス溜まり層を支点として基板の端部側に上向きの力を発生させるように、基板の裏側の空気を下方向へ吸引するサブ空気吸引器が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の浮上搬送装置。
【請求項３】
前記空気吸引器は、
前記装置本体に設けられ、上側が開口された吸引ケースと、
基板の裏側の空気を前記吸引ケースの開口側から下方向へ吸引する吸引ファンと、を備え、
前記サブ空気吸引器は、
前記装置本体に設けられ、上側が開口されたサブ吸引ケースと、
基板の裏側の空気を前記サブ吸引ケースの開口側から下方向へ吸引するサブ吸引ファンと、備えたことを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項４】
前記搬送機構は、
前記装置本体に前記搬送方向に沿って配設されかつ配設状態が前記搬送幅方向に複数列になっている複数のローラ駆動ユニットであって
各ローラ駆動ユニットは、
前記装置本体に設けられ、上側が開口されたユニットケースと、
前記ユニットケース内に前記搬送幅方向に平行な軸心周りに回転可能に設けられ、前記ユニットケースに対して上方向へ突出してあって、基板の裏面を支持する搬送ローラと、
前記ユニットケース内に設けられ、前記搬送ローラを前記搬送幅方向に平行な軸心周りに正方向及び逆方向へ回転させる搬送モータと、
基板の裏側の空気を前記ユニットケースの開口側から下方向へ吸引する吸引ファンと、を備え、
前記搬送方向に隣接関係にある前記挿入ギャップ間に介在する前記ローラ駆動ユニットは、前記空気吸引器を兼用し、前記第１吸引位置と前記第２吸引位置との間で前記搬送方向へ移動可能になってあって、
最上流側の前記挿入ギャップの上流側に近接した前記ローラ駆動ユニットは、前記サブ空気吸引器を兼用していることを特徴とする請求項２に記載の浮上搬送装置。
【請求項５】
各ノズルが前記浮上ユニットの外縁に沿って形成され、各ノズルが鉛直方向に対して各浮上ユニットの中心側へ傾斜するように構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４のうちのいずれかの請求項に記載の浮上搬送装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１１−２０７５５２（Ｐ２０１１−２０７５５２Ａ）
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−７５２２０（Ｐ２０１０−７５２２０）
【出願日】平成２２年３月２９日（２０１０．３．２９）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１０月２０日（２０１１．１０．２０）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年３月２９日（２０１０．３．２９）
【出願人】（０００００００９９）株式会社ＩＨＩ (5,014)
【Ｆターム（参考）】
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