【課題】小型の空気供給源からの空気の供給で板状体を適切に非接触状態で支持することができる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】板状体の下面に向けて空気を供給して板状体を非接触状態で支持する送風式支持手段を、搬送方向に沿って備えられて空気供給源から供給された空気を上方に向けて噴出する空気噴出部と、空気噴出部に対して横幅方向の両側に隣接する状態で配置された一対の案内板部とを備えて構成し、一対の案内板部の一方における横幅方向の空気噴出部から離れる側の端部に突条部を備え、突条部を、搬送される板状体の下面より下方に位置する高さに案内板部の上面から上方に突出し且つ搬送方向に沿って形成する。 （もっと読む）

【課題】搬送速度に加えて、被搬送物が何個連なっているのかを把握する。
【解決手段】エア搬送装置により被搬送物（ＰＢ）を搬送し、被搬送物を搬送方向における被搬送物の幅方向最大箇所が通過する平面上に配置された第一投光器（３１ａ）から投光されて、第一受光器（３１ｂ）により受光される光が被搬送物の搬送方向における幅方向最大箇所により遮光された遮光回数及び遮光時間を第一記録部（２１）に記録し、幅方向最大箇所とは異なる幅方向箇所が通過する平面上に配置された第二投光器（３２ａ）から投光されて、第二受光器（３２ｂ）により受光される光が被搬送物の搬送方向における幅方向最大箇所により遮光された遮光回数及び遮光時間を第二記録部（２２）に記録し、第一及び第二記録部により記録された遮光回数及び遮光時間に基づいて、搬送される被搬送物の搬送速度と、に加えて、被搬送物が何個連なっているのかを算出する。 （もっと読む）

【課題】複数の被搬送物が一体的に搬送されている場合であっても、搬送装置を適切に制御する。
【解決手段】エア搬送装置により搬送される被搬送物（ＰＢ）が、その搬送方向における被搬送物の幅において、一部に他よりも小さな幅となる箇所を備え、前記エア搬送装置を制御する搬送装置制御装置（２０）は、エア搬送装置により搬送される被搬送物の搬送速度と、被搬送物が連なっている個数とを算出する算出部（２４）と、算出部により算出された前記被搬送物の個数に応じて定まる前記搬送速度の上限値および下限値に基づいて、前記搬送速度を調節する調節部（２５）とを含む。 （もっと読む）

【課題】搬送路の終端壁又は終端壁に設けられた突起に接触させることでワークの移動を停止させる場合、ワークが破損する恐れがあるので、ワークの移動を停止させる新たな手段を備える浮上搬送装置を提供する。
【解決手段】搬送装置１は、筐体２、エア吸引装置５、圧縮機６を備える。搬送装置１は、筐体２の上面に設けられた搬送路３に沿って、始端３ａから終端３ｂに向けてワークＷを搬送する。エア吸引装置５は、エア吸引によってワークＷを搬送路３に向けて引き付けることで、ワークＷの移動を停止させる。 （もっと読む）

【課題】空気の噴流によりワークを浮上させ搬送する搬送装置において、ワークを浮上させる浮上装置がワークをほぼ均一な圧力にて傾斜させることなく浮上させるとともに、空気消費量が少ない経済的な搬送装置を提供すること。
【解決手段】
空気箱の上面の浮上させるワークを載置した天板上に前記ワークにほぼ一定の圧力で支持するエアクッション室を形成するように、前記天板の周辺部に気体を噴出する対向して空気を噴出するように形成された細長孔の開口部を設けた。 （もっと読む）

【課題】ワークを浮上させた非接触状態で搬送する両面粘着テープ剥離方法および両面粘着テープ剥離装置を提供する。
【解決手段】搬送路２の中央部分で垂直に貫通する孔１２から搬送されるウエハＷの裏面に気体を吹き付けるとともに、搬送路２の幅方向の両側で進行方向斜め中央寄りに形成された孔１３からからウエハ裏面に向けて進行方向斜め中央寄りの気体を吹き付けながらウエハＷを浮上させて搬送する過程で、ウエハＷが進路を外れる場合に外れる側の孔１３から吹き出す気体の流量を調整する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の位置決め時に、搬送ローラーとガラス基板との擦れがない基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理装置内あるいは処理装置間で、受け渡しや受け入れを行う際に用いられる搬送装置であって、前記ガラス基板を載置し搬送するローラーの内周部に、ローラーの回転方向に対して垂直の方向に設けられた可動溝と、ガラス基板をローラー上に載置して位置決めする際に、前記可動溝に沿って先端がリングによって可動する可動部を有する可動部支持体と、前記可動溝に沿って可動部が可動することによってローラーがガラス基板の位置決め方向に傾いた状態を保持しながらローラーを回転させるためのストッパと、を有するローラーが１本のシャフトに１つまたは複数備えられ、更に前記シャフトが複数備えられたことを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】物体を検査する効率的なシステムおよび方法を提供する必要性が増大している。
【解決手段】物体の複数の画像を獲得するシステムであって、システムは、４つの長手方向移送器と、３つの回転モジュールと、撮像装置とを含む。４つの長手方向移送器は、物体が内部を通って４つの撮像領域に伝播する複数のトンネルを備え、４つの長手方向移送器は、トンネルを通して電気回路を搬送するために、ガス圧の差を利用し、少なくとも１つの長手方向移送器は、ある位置に設置されると、少なくとも１つのトンネルの少なくとも実質的部分を露出する可動部分を有する。３つの回転モジュールは、各回転が２つの長手方向移送器の間に位置するよう、物体の長手方向軸を中心に物体を回転させるように構成される。撮像装置は、４つの撮像領域のそれぞれにおいて、物体の画像を取得するように構成される。 （もっと読む）

【課題】板状体に対して適切に推進力を付与し且つ板状体を搬送するときに板状体が破損することを未然に防止することができる板状体搬送装置を提供する。
【解決手段】主搬送補助送風手段１９の空気供給部２１を、中継搬送部Ｂにおける第１隙間ｇ１に配設し、副搬送補助送風手段２０の空気供給部２１を、中継搬送部Ｂにおける第２隙間ｇ２に配設し、中継搬送部Ｂが副搬送状態から主搬送状態に切り換えられる場合は、主搬送補助送風手段１９を供給状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給停止状態に切り換え、かつ、中継搬送部Ｂが主搬送状態から副搬送状態に切り換えられる場合は、主搬送補助送風手段１９を供給停止状態に切り換え且つ副搬送補助送風手段２０を供給状態に切り換える。 （もっと読む）

【課題】柔らかく剛性の低い物体でも大きな変形をさせることなく浮上させることができる物体浮上装置の提供。
【解決手段】基台表面２ａに対して斜めに延びて開口する空気噴射流路４で囲った所定領域Ｘにおいて空気溜まりを形成し、基台表面２ａに対しワークを浮上させる物体浮上装置１であって、所定領域Ｘは、平面視で６角形状を有して、基台表面２ａ上を充填するように複数設けられているという構成を採用する。 （もっと読む）