ガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法
【課題】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重なられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置を提供すること。
【解決手段】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられている。
【解決手段】所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル等の表示パネル用のガラス基板を移載する際に用いられる装置に関し、更に詳しくは所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積層された状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルなどの平面型の表示パネルに用いられる大型のガラス基板をトラック輸送等する際のそのガラス基板の梱包形態として、例えば下記特許文献１に開示された梱包形態のものがある。
【０００３】
図８（ａ）に示されるようにパレット１０２上には複数枚のガラス基板９０が傾斜して積み重ねられており、ガラス基板９０同士の間には緩衝材としての合紙１０１が介在されている。
【０００４】
このようなガラス基板梱包形態１００からガラス基板９０を加工ライン等に搬送するには、合紙１０１を除去しつつ一枚ずつガラス基板９０が取り出されることになる。通常、図８（ａ）に示したガラス基板梱包形態１００では、所定の加工処理が施されることになる処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が積み重ねられている。
【０００５】
したがって、ガラス基板９０の取り出しは、ガラス基板９０の処理面９０ａとは反対側の裏面９０ｂを、図示しない複数の吸着パッドを備えた吸着ハンド等によって吸着し、その吸着状態を維持したままガラス基板９０を持ち上げることによりなされている。
【０００６】
また、トラック輸送等する際のガラス基板の別の梱包形態として、例えば下記特許文献２に開示された基板収納トレイを用いた梱包形態のものがある。図８（ｂ）に示されるガラス基板梱包形態２００では、パレット２０２上で上下方向に積み重ねられた各基板収納トレイ２０１に一枚ずつ処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が収納されている。各ガラス基板収納トレイ２０１には図示しない基板支持ピンが下方から挿入されるピン挿入孔２０１ａが形成されている。
【０００７】
このような基板収納トレイ２０１からのガラス基板９０の取り出しは、一番下に位置する基板収納トレイ２０１を残して、その上側の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１，・・・を持ち上げ、次に、図示しない基板支持ピンを下方からピン挿入孔２０１ａに挿入して一番下に位置する基板収納トレイ２０１上でガラス基板９０を持ち上げる。
【０００８】
そして、図示しない基板搬送アームによってガラス基板９０が取り出されると、持ち上げていた基板収納トレイ２０１，２０１，２０１，・・・を降ろすことで一番下の基板収納トレイ２０１からガラス基板９０が取り出されることになる。このような動作を繰り返すことで、積み重ねられた各基板収納トレイ２０１からガラス基板９０が一枚ずつ取り出されて、所定の加工ライン等に搬送されることになる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−２９８０６２号公報
【特許文献２】特開２００４−１８６２４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
加工ライン等にガラス基板を搬送する既存設備等の関係上、図８（ａ）に示されるガラス基板梱包形態１００から取り出した処理面９０ａが下側のガラス基板９０を、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０を反転させ、図８（ｂ）に示されるガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に移し替えて、この基板収納トレイ２０１からガラス基板９０を一枚ずつ取り出して加工ライン等に搬送したい場合がある。
【００１１】
しかしながら、図８（ａ）のガラス基板梱包形態１００から図８（ｂ）のガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へのガラス基板９０の移し替えを、作業者によって行う場合、大型のガラス基板９０を反転させるのが難しく、また、仮に反転させることができてもその反転の際にガラス基板９０が不意に落下して作業者が怪我をするおそれがなど、安全面において問題があった。
【００１２】
また、これとは逆に図８（ｂ）のガラス基板梱包形態２００から図８（ａ）のガラス基板梱包形態１００へとガラス基板９０の移し替えたい場合も、ガラス基板９０を反転させる作業が伴うため同様の問題があった。
【００１３】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重なられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため本発明は、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、前記ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、前記ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、前記ステージの基板浮上面側に前記基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを反転させるステージ反転手段とが備えられていることを要旨とするものである。
【００１５】
この場合、前記ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面である構成にすると良い。また、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が備えられている構成にすると良い。更に、前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドである構成や、前記ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドである構成にすると良い。
【００１６】
そして、このようなガラス基板反転装置を用いたガラス基板移送方法において、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていると良い。
【００１７】
また、このようなガラス基板反転方法において、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が更に備えられている場合には、前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程を備えていると良い。
【００１８】
更に、このようなガラス基板反転装置を用いたガラス基板移送方法において、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの前記基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていると良い。
【００１９】
この場合、このようなガラス基板反転方法において、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が更に備えられている場合には、反転後に前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程を備えていると良い。
【発明の効果】
【００２０】
上記構成を有するガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられているので、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際のそのガラス基板の反転が装置によって行われることになる。
【００２１】
したがって、処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態から、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態に、ガラス基板を移し替える際には、処理面が下側のままのガラス基板を取り出してガラス基板反転装置のステージに載せ、更にその上に基板収納前の基板収納トレイを載せ、反転後にガラス基板反転装置から基板収納後の基板収納トレイを取り出すだけの作業で済むことになる。
【００２２】
また、これとは逆に処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態から、処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態に、ガラス基板を移し替える際には、ガラス基板が収納された基板収納トレイを取り出してガラス基板反転装置のステージに固定させ、反転後にガラス基板反転装置から基板収納トレイとガラス基板をそれぞれ取り出すだけの作業で済むことになる。尚、これらの作業を別途用意した装置によって行っても良く、更に作業者の負担が軽減されることになる。
【００２３】
このように従来作業者にとって困難であったガラス基板を反転させる作業が、本発明に係るガラス基板反転装置によって行われるので、作業者が反転させる場合のようなガラス基板が不意に落下して怪我するおそれもなく安全性が確保されている。
【００２４】
更に、このようなガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ステージの基板浮上面が上方に面した状態では、処理面が下側のガラス基板が浮上され、ステージの基板浮上面が下方に面した状態では、処理面が上側のガラス基板が基板収納トレイに収納されているという構成なので、ステージによる反転の前後においてガラス基板の処理面が傷ついてしまうことが防止されている。
【００２５】
また、ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面である構成にすれば、ステージ上でのガラス基板の浮上が容易である。尚、このようなステージの基板浮上面でのガラス基板の浮上を、その基板浮上面から突没する基板支持ピン等で行っても良い。
【００２６】
更に、ステージの基板浮上面側で浮上されたガラス基板の外周部を支持する外周部支持手段が備えられている構成にすれば、浮上されたガラス基板が水平方向にずれてしまうことが防止される。
【００２７】
この場合、外周部支持手段は、ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドである構成や、ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドである構成にすれば、簡便な構造でガラス基板の外周部を支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２９】
図１は本発明の第１の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図、図２は図１のガラス基板反転装置のステージに載置される際のガラス基板と基板収納トレイの概略構成を示した図、図３〜図６は図１のガラス基板反転装置によってガラス基板を反転させつつ基板収納トレイに収納させる工程を順に示した図である。
【００３０】
図１に示されるようにガラス基板反転装置１は、ガラス基板９０を浮上させることが可能なステージ１０と、このステージ１０に基板収納トレイ２０１を固定させるトレイ固定手段２０と、ステージ１０を反転させるステージ反転手段３０と、これらの動作を制御する制御部４０が備えられている。
【００３１】
図示されるようにステージ１０の基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂには、複数のエア吹き出し口１０ａが開口形成されており、これらエア吹き出し口１０ａから噴出されるエアによって図２（ａ）に示されるようなガラス基板９０をステージ１０上で浮上させることが可能になっている。
【００３２】
このようなエア吹き出し口１０ａには、図示されるような圧空配管７１が接続されている。圧空配管７１には圧空バルブ７２が接続され、圧空バルブ７２には圧空ポンプ７３が接続されている。制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定されると、圧空ポンプ７３より供給されたエアがエア吹き出し口１０ａから噴出されてガラス基板９０をステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させることができるようになっている。
【００３３】
またステージ１０の外周部には、ガラス基板９０の外周部９０ｃを支持する基板外周部支持手段５０である樹脂パッド５１が設けられており、この樹脂パッド５１の上面がステージ１０のエア噴出面１０ｂ上でエア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃに当接して支持することで、エア浮上されたガラス基板９０が水平方向にずれないように防止されている。
【００３４】
トレイ固定手段２０は、ステージ１０の左右両側面に設けられており、図２（ｂ）に示されるような収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１をステージ１０のエア噴出面１０ｂ上において、その基板収納トレイ２０１が反転の際にステージ１０から外れないように固定するアーム２１を備えている。
【００３５】
このアーム２１の基端はモータ２２の回転軸２２ａに連結固定されており、モータ２２の駆動によって内側に回動されると、アーム２１の先端の係止部２１ａが基板収納トレイ２０１の外周に突出形成されたフランジ部２０１ｃを係止して容易に外れないようにされる。アーム２１の係止部２１ａには、フランジ部２０１ｃの側縁に当接する係止片２１ｂと、この係止片２１ｂを当接方向に付勢するコイルバネ２１ｃが内蔵されており、このコイルバネ２１ｃが係止の際に縮むことで、基板収納トレイ２０１のフランジ部２０１ｃに過大な負荷がかかってしまうことが防止されている。
【００３６】
トレイ固定手段２０が備えるアーム２１を回転動させるモータ２２の駆動は、制御部４０により制御されている。尚、このようなアーム２１は、上述したモータ２２によって回転方向へ動作させる他に、エアシリンダ等によって直線方向へ動作させた構成でも良い。
【００３７】
ステージ反転手段３０は、回転軸３１ａがステージ１０の中央部に連結固定されたモータ３１を備えている。このモータ３１は、台座３２上に立設された支柱３３の上端に固定されており、ステージ１０はモータ３１の駆動によって、台座３２上で回転軸３１ａを中心に回転可能になっている。この場合、モータ３１の駆動は、制御部４０により制御されている。
【００３８】
図２（ａ）に示されるガラス基板９０は、例えば液晶表示パネル用のガラス基板である。この場合、ガラス基板９０の処理面９０ａに薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成されるとＴＦＴアレイ基板として構成され、処理面９０ａにカラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板として構成される。液晶表示パネルは、これらＴＦＴアレイ基板とＣＦ基板を貼り合わせ、内部に液晶を充填した構成となっている。
【００３９】
図示されるようにガラス基板９０は薄膜トランジスタやカラーフィルタの形成のために所定の処理が施される処理面９０ａが下側でその反対側の裏面９０ｂが上側となっている。この図２（ａ）のガラス基板９０は上述したガラス反転装置１が備えるエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０に載置する際の状態を示しており、図８（ａ）に示されるガラス基板梱包形態１００からその処理面９０ａが下側のまま取り出した状態である。
【００４０】
上述したガラス基板反転装置１によって反転される前のガラス基板９０は、図８（ａ）に示されるようなガラス基板梱包形態１００のパレット１０２上で、傾斜状に多数枚積み重ねられている。積み重ねられた各ガラス基板９０との間には緩衝剤としての合紙１０１が挿入されており、ガラス基板９０同士が接触して傷つかないようにされている。
【００４１】
この場合、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０は積み重ねられている。最上層のガラス基板９０が取り出されて、ガラス基板反転装置１のステージ１０に載置される。この最上層のガラス基板９０の取り出しは、ガラス基板９０の裏面９０ｂを図示しない複数の吸着パッドを備えた吸着ハンド等によって吸着し、その吸着状態を維持したままガラス基板９０を持ち上げることによりなされている。
【００４２】
図２（ｂ）に示される基板収納トレイ２０１もガラス基板９０が収納される収納面２０１ｂが下側となっている。図２（ｂ）に示される基板収納トレイ２０１は上述したガラス基板反転装置１が備えるステージ１０に載置する際の状態を示しており、図３に示されるようなガラス基板９０を収納する前の基板収納トレイ２０１を取り出して反転させた状態である。
【００４３】
基板収納トレイ２０１の収容面２０１ｂには、複数のピン挿入孔２０１ａが開口形成されている。このピン挿入孔２０１ａは、収容面２０１ｂに載置されたガラス基板９０を基板収納トレイ２０１から取り出す際に、図示しない基板支持ピンが挿入されるために設けられている。また、基板収納トレイ２０１の外周には外側に突出されたフランジ部２０１ｃが形成されており、上述したガラス基板反転装置１が備えるトレイ固定手段２０のアーム２１によってこのフランジ部２０１ｃが係止されるようになっている。
【００４４】
次に、図３〜図６を用いて上述したガラス基板反転装置１を用いてガラス基板梱包形態１００からガラス基板梱包形態２００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００４５】
先ず、図３に示されるようにエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ上にガラス基板梱包形態１００から取り出された一枚のガラス基板９０を載置する。制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されると、載置されたガラス基板９０がステージ１０上で水平状態に浮上させられる。
【００４６】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア噴出面１０ｂ上でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、ガラス基板９０の外周部９０ｃはステージ１０に設けられた樹脂パッド５１によって下方から支持されており、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止されている。
【００４７】
そして、この状態のステージ１０上に収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１を図４に示されるように載置する。この基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上で積み重ねられたガラス基板９０を収納する前の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１のうちの一番上に位置していたものを取り出したものである。
【００４８】
ステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に載置された基板収納トレイ２０１は、図４に示されるように、トレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に固定される。このとき制御部４０により、トレイ固定手段２０のモータ２２が駆動されると、モータ２２の回転軸２２ａに連結されたアーム２１が内側に回転されて、アーム２１の先端の係止部２１ａに基板収納トレイ２０１のフランジ部２０１ｃが係止されるようになっている。このトレイ固定手段２０により、基板収納トレイ２０１はステージ１０のエア噴出面１０ｂ側で容易に外れないように一体的に固定されたことになる。
【００４９】
次に、図５に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは上方に面した状態から下方に面した状態に変化させられることになる。
【００５０】
そして、図５に示されるようにガラス基板９０は自重による落下によって反転後の基板収納トレイ２０１の収納面２０１ｂに収納されることになる。この場合、ガラス基板９０が落下する距離はガラス基板９０が破損しないように設定されているので、反転によるガラス基板９０の破損が防止されている。
【００５１】
次に、図６に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１は取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、右のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１の上に載せられる。
【００５２】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態１００のガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へ積み替えられることになる。その後、ガラス基板梱包形態２００の状態でガラス基板９０が加工ライン等に搬送されて、所定の処理が施されることになる。
【００５３】
次に、ガラス基板反転装置１を用いて上述した工程とは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００５４】
図６に示されるようなエア噴出面１０ｂが下方に面した状態のステージ１のそのエア噴出面１０ｂ側に、右のガラス基板梱包形態２００から取り出されたガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を固定する。図５に示されるようにトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２１０が固定される。
【００５５】
次に、図４に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは下方に面した状態から上方に面した状態に変化させられることになる。
【００５６】
このような反転の前後においては、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されおり、反転後にガラス基板９０が上方に面したステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させられる。
【００５７】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、ガラス基板９０の外周部９０ｃはステージ１０に設けられた樹脂パッド５１によって下方から支持されており、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止されている。
【００５８】
そして、図３に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１とガラス基板９０がそれぞれ取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１の上に載せられる。また、取り出されたガラス基板９０は、パレット１０１上に積み重ねられた他のガラス基板９０，９０，９０，・・・の上に合紙１０１を介して載せられる。
【００５９】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に収納されたガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態１００へ積み替えられることになる。その後、ガラス基板梱包形態１００の状態でガラス基板９０が加工ライン等に搬送されて、所定の処理が施されることになる。
【００６０】
次に、図７を用いて本発明の第２の実施形態に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法について説明する。尚、上述した第１の実施形態のガラス基板反転装置１と同一の構成については同符号を付して重複した説明は省略し、異なる点を中心に説明する。
【００６１】
図示されるように、ガラス基板反転装置３００が備えるステージ１０の外周部には、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃを支持する基板外周部支持手段５０である吸着パッド５２が設けられており、この吸着パッド５２がステージ１０上でエア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃを吸着して支持することで、エア浮上されたガラス基板９０が水平方向にずれないように防止されている。
【００６２】
吸着パッド５２の上面に開口された吸着口５２ａには、図示されるような真空配管８１が接続されている。真空配管８１には真空バルブ８２が接続され、真空バルブ８２には真空ポンプ８３が接続されている。制御部４０により、真空バルブ８２が開栓状態に設定されると、ガラス基板９０の外周部９０ｃを吸着パッド５２が吸着することができるようになっている。
【００６３】
次に、このようなガラス基板反転装置３００を用いてガラス基板梱包形態１００からガラス基板梱包形態２００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００６４】
先ず、図３に示されるようにエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ上にガラス基板梱包形態１００から取り出された一枚のガラス基板９０を載置する。このとき、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがエア吹き出し口１０ａから噴出されると、載置されたガラス基板９０がステージ１０上で浮上させられる。
【００６５】
また、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃは、ステージ１０に設けられた吸着パッド５２によって吸着支持されて、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止される。このとき、制御部４０により、真空バルブ８２が開栓状態に設定され、真空ポンプ８３からの吸引によりガラス基板９０の外周部９０ｃが吸着パッド５２によって吸着される。
【００６６】
そして、この状態のステージ１０上に収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１を図４に示されるように載置する。載置された基板収納トレイ２０１はトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０に固定される。次に、図５に示されるようにステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。
【００６７】
このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは上方に面した状態から下方に面した状態に変化させられることになる。
【００６８】
そして、図５に示されるように、ガラス基板９０は自重による落下によって反転後の基板収納トレイ２０１の収納面２０１ｂに収納される。
【００６９】
その後、図６に示されるようにトレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１は取り出し可能になる。このとき、制御部４０により、真空バルブ８２が閉栓状態に設定され、吸着パッド５２によるガラス基板９０の外周部９０ｃの吸着が解除されている。
【００７０】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態１００のガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へ積み替えられることになる。
【００７１】
次に、ガラス基板反転装置３００を用いて上述した工程とは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００７２】
図６に示されるようなエア噴出面１０ｂが下方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ側に、右のガラス基板梱包形態２００から取り出されたガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を固定する。図５に示されるようにトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２０１が固定される。
【００７３】
次に、図４に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは下方に面した状態から上方に面した状態に変化させられることになる。
【００７４】
このような反転の前後においては、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されおり、反転後にガラス基板９０が上方に面したステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させられる。
【００７５】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃは、ステージ１０に設けられた吸着パッド５２によって吸着支持されて、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止される。
【００７６】
そして、図３に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１が取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１の上に載せられる。
【００７７】
また、基板収納トレイ２０１の取り出し後に、制御部４０により、真空バルブ８２が閉栓状態に設定され、吸着パッド５２によるガラス基板９０の外周部９０ｃの吸着が解除されると、ガラス基板９０が取り出し可能になる。そして、取り出されたガラス基板９０は、パレット１０１上に積み重ねられた他のガラス基板９０，９０，９０，・・・の上に合紙１０１を介して載せられる。
【００７８】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に収納されたガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態１００へ積み替えられることになる。
【００７９】
以上説明したガラス基板反転装置１，３００およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ガラス基板９０を浮上させる基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂが設けられたステージ１０と、ステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２０１を固定するトレイ固定手段２０と、基板収納トレイ２０１が固定されたステージ１０を反転させるステージ反転手段３０とが備えられているので、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が多数枚積み重ねられたガラス基板梱包形態１００と、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収容されたガラス基板梱包形態２００との間で、ガラス基板９０を移し替える際のそのガラス基板９０の反転がガラス基板反転装置１，３００によって行われることになる。
【００８０】
したがって、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が多数枚積み重ねられたガラス基板梱包形態１００から、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収容されたガラス基板梱包形態２００に、ガラス基板９０を移し替える際には、作業者は図３に示されるようにガラス基板梱包形態１００から処理面９０ａが下側のままのガラス基板９０を取り出してガラス基板反転装置１，３００のステージ１０に載せ、次に図４に示されるようにその上に基板収納前の基板収納トレイ２０１を載せ、反転後に図６に示されるようにガラス基板反転装置１，３００から基板収納後の基板収納トレイ２０１を取り出すだけの作業で済むことになる。
【００８１】
また、これとは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００に、ガラス基板９０を移し替える際には、作業者は図６に示されるようにガラス基板梱包形態２００からガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を取り出してガラス基板反転装置１，２００のステージ１０に固定させ、反転後に図３に示されるようにガラス基板反転装置１，３００から基板収納トレイ２０１とガラス基板９０をそれぞれ取り出すだけの作業で済むことになる。
【００８２】
尚、これらの作業を、ガラス基板梱包形態１００からガラス基板９０を取り出してステージ１０に載せる装置、基板収納トレイ２０１をステージ１０に載せる装置、反転後の基板収納トレイ２０１を取り出す装置、または、ガラス基板梱包形態２００からガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を取り出す装置、反転後の基板収納トレイ２０１と取り出す装置、同じく反転後のガラス基板９０を取り出してガラス基板梱包形態１００の載せる装置等を別途用意して行っても良く、ガラス基板梱包形態１００とガラス基板梱包形態２００との間におけるガラス基板９０の移し替えのすべての工程が装置によってなされることなり、更に作業者の負担を軽減することができる。
【００８３】
上述したように従来作業者にとって困難であったガラス基板９０を反転させる作業が、本発明に係るガラス基板反転装置１，３００によって行われるので、作業者が反転させる場合のようなガラス基板９０が不意に落下して怪我するおそれもなく安全性が確保されている。
【００８４】
また、このようなガラス基板反転装置１，３００およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ステージ１０の基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂが上方に面した状態では、処理面９０ａが下側のガラス基板９０が浮上され、ステージ１０のエア噴出面１０ａが下方に面した状態では、処理面９０ａが上側のガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収納されているという構成なので、ステージ１０による反転の前後においてガラス基板９０の処理面９０ａが傷ついてしまうことが防止されている。
【００８５】
以上、本発明に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法の実施の形態について説明したが、本発明はこうした実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。
【００８６】
例えば、ガラス基板９０を浮上させるステージ１０の基板浮上面として、ガラス基板９０をエア浮上させるエア吹き出し口１０ａを備えたエア噴出面１０ｂについて説明したが、基板浮上面から突没される基板支持ピン等によってガラス基板９０を浮上させる構成でも良く、上述した実施形態には限定されない。尚、ガラス基板９０の処理面９０ａに影響を与えないようにガラス基板９０を浮上させる手段としては、上述したエア浮上が最も好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図である。
【図２】（ａ）は図１のガラス基板反転装置が備えるステージに載置する際のガラス基板の概略構成を示した図、（ｂ）は図１のガラス基板反転装置が備えるステージに載置する際の基板収納トレイの概略構成を示した図である。
【図３】図１のガラス基板反転装置のステージでガラス基板がエア浮上されている状態を示した図である。
【図４】図１のガラス基板反転装置のステージに基板収納トレイが固定された状態を示した図である。
【図５】図１のガラス基板反転装置のステージが基板収納トレイと共に反転された状態を示した図である。
【図６】図１のガラス基板反転装置のステージが反転された後に基板収納トレイが取り出された状態を示した図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図である。
【図８】（ａ）は従来用いられてきたガラス基板梱包形態の概略構成を示した図、（ｂ）は従来用いられてきた基板収納トレイを使用したガラス基板梱包形態の概略構成を示した図である。
【符号の説明】
【００８８】
１，３００ ガラス基板反転装置
１０ ステージ
１０ｂ 基板浮上面（エア噴出面）
２０ トレイ固定手段
２１ アーム
２２ モータ
３０ ステージ反転手段
３１ モータ
５０ 基板外周部支持手段
５１ 樹脂パッド
５２ 吸着パッド
５２ａ 吸着口
９０ ガラス基板
９０ａ 処理面
９０ｃ 外周部
１００ ガラス基板梱包形態
１０１ 合紙
１０２ パレット
２００ ガラス基板梱包形態
２０１ 基板収納トレイ
２０１ｂ 収納面
２０１ｃ フランジ部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示パネル等の表示パネル用のガラス基板を移載する際に用いられる装置に関し、更に詳しくは所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積層された状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、液晶表示パネルなどの平面型の表示パネルに用いられる大型のガラス基板をトラック輸送等する際のそのガラス基板の梱包形態として、例えば下記特許文献１に開示された梱包形態のものがある。
【０００３】
図８（ａ）に示されるようにパレット１０２上には複数枚のガラス基板９０が傾斜して積み重ねられており、ガラス基板９０同士の間には緩衝材としての合紙１０１が介在されている。
【０００４】
このようなガラス基板梱包形態１００からガラス基板９０を加工ライン等に搬送するには、合紙１０１を除去しつつ一枚ずつガラス基板９０が取り出されることになる。通常、図８（ａ）に示したガラス基板梱包形態１００では、所定の加工処理が施されることになる処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が積み重ねられている。
【０００５】
したがって、ガラス基板９０の取り出しは、ガラス基板９０の処理面９０ａとは反対側の裏面９０ｂを、図示しない複数の吸着パッドを備えた吸着ハンド等によって吸着し、その吸着状態を維持したままガラス基板９０を持ち上げることによりなされている。
【０００６】
また、トラック輸送等する際のガラス基板の別の梱包形態として、例えば下記特許文献２に開示された基板収納トレイを用いた梱包形態のものがある。図８（ｂ）に示されるガラス基板梱包形態２００では、パレット２０２上で上下方向に積み重ねられた各基板収納トレイ２０１に一枚ずつ処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が収納されている。各ガラス基板収納トレイ２０１には図示しない基板支持ピンが下方から挿入されるピン挿入孔２０１ａが形成されている。
【０００７】
このような基板収納トレイ２０１からのガラス基板９０の取り出しは、一番下に位置する基板収納トレイ２０１を残して、その上側の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１，・・・を持ち上げ、次に、図示しない基板支持ピンを下方からピン挿入孔２０１ａに挿入して一番下に位置する基板収納トレイ２０１上でガラス基板９０を持ち上げる。
【０００８】
そして、図示しない基板搬送アームによってガラス基板９０が取り出されると、持ち上げていた基板収納トレイ２０１，２０１，２０１，・・・を降ろすことで一番下の基板収納トレイ２０１からガラス基板９０が取り出されることになる。このような動作を繰り返すことで、積み重ねられた各基板収納トレイ２０１からガラス基板９０が一枚ずつ取り出されて、所定の加工ライン等に搬送されることになる。
【０００９】
【特許文献１】特開２００５−２９８０６２号公報
【特許文献２】特開２００４−１８６２４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
加工ライン等にガラス基板を搬送する既存設備等の関係上、図８（ａ）に示されるガラス基板梱包形態１００から取り出した処理面９０ａが下側のガラス基板９０を、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０を反転させ、図８（ｂ）に示されるガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に移し替えて、この基板収納トレイ２０１からガラス基板９０を一枚ずつ取り出して加工ライン等に搬送したい場合がある。
【００１１】
しかしながら、図８（ａ）のガラス基板梱包形態１００から図８（ｂ）のガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へのガラス基板９０の移し替えを、作業者によって行う場合、大型のガラス基板９０を反転させるのが難しく、また、仮に反転させることができてもその反転の際にガラス基板９０が不意に落下して作業者が怪我をするおそれがなど、安全面において問題があった。
【００１２】
また、これとは逆に図８（ｂ）のガラス基板梱包形態２００から図８（ａ）のガラス基板梱包形態１００へとガラス基板９０の移し替えたい場合も、ガラス基板９０を反転させる作業が伴うため同様の問題があった。
【００１３】
そこで、本発明が解決しようとする課題は、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重なられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際にそのガラス基板を反転させるガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題を解決するため本発明は、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、前記ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、前記ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、前記ステージの基板浮上面側に前記基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを反転させるステージ反転手段とが備えられていることを要旨とするものである。
【００１５】
この場合、前記ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面である構成にすると良い。また、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が備えられている構成にすると良い。更に、前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドである構成や、前記ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドである構成にすると良い。
【００１６】
そして、このようなガラス基板反転装置を用いたガラス基板移送方法において、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていると良い。
【００１７】
また、このようなガラス基板反転方法において、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が更に備えられている場合には、前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程を備えていると良い。
【００１８】
更に、このようなガラス基板反転装置を用いたガラス基板移送方法において、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの前記基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていると良い。
【００１９】
この場合、このようなガラス基板反転方法において、前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が更に備えられている場合には、反転後に前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程を備えていると良い。
【発明の効果】
【００２０】
上記構成を有するガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、ステージの基板浮上面側に基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、基板収納トレイが固定されたステージを反転させるステージ反転手段とが備えられているので、所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、ガラス基板を移し替える際のそのガラス基板の反転が装置によって行われることになる。
【００２１】
したがって、処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態から、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態に、ガラス基板を移し替える際には、処理面が下側のままのガラス基板を取り出してガラス基板反転装置のステージに載せ、更にその上に基板収納前の基板収納トレイを載せ、反転後にガラス基板反転装置から基板収納後の基板収納トレイを取り出すだけの作業で済むことになる。
【００２２】
また、これとは逆に処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態から、処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態に、ガラス基板を移し替える際には、ガラス基板が収納された基板収納トレイを取り出してガラス基板反転装置のステージに固定させ、反転後にガラス基板反転装置から基板収納トレイとガラス基板をそれぞれ取り出すだけの作業で済むことになる。尚、これらの作業を別途用意した装置によって行っても良く、更に作業者の負担が軽減されることになる。
【００２３】
このように従来作業者にとって困難であったガラス基板を反転させる作業が、本発明に係るガラス基板反転装置によって行われるので、作業者が反転させる場合のようなガラス基板が不意に落下して怪我するおそれもなく安全性が確保されている。
【００２４】
更に、このようなガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ステージの基板浮上面が上方に面した状態では、処理面が下側のガラス基板が浮上され、ステージの基板浮上面が下方に面した状態では、処理面が上側のガラス基板が基板収納トレイに収納されているという構成なので、ステージによる反転の前後においてガラス基板の処理面が傷ついてしまうことが防止されている。
【００２５】
また、ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面である構成にすれば、ステージ上でのガラス基板の浮上が容易である。尚、このようなステージの基板浮上面でのガラス基板の浮上を、その基板浮上面から突没する基板支持ピン等で行っても良い。
【００２６】
更に、ステージの基板浮上面側で浮上されたガラス基板の外周部を支持する外周部支持手段が備えられている構成にすれば、浮上されたガラス基板が水平方向にずれてしまうことが防止される。
【００２７】
この場合、外周部支持手段は、ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドである構成や、ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドである構成にすれば、簡便な構造でガラス基板の外周部を支持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に、本発明に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２９】
図１は本発明の第１の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図、図２は図１のガラス基板反転装置のステージに載置される際のガラス基板と基板収納トレイの概略構成を示した図、図３〜図６は図１のガラス基板反転装置によってガラス基板を反転させつつ基板収納トレイに収納させる工程を順に示した図である。
【００３０】
図１に示されるようにガラス基板反転装置１は、ガラス基板９０を浮上させることが可能なステージ１０と、このステージ１０に基板収納トレイ２０１を固定させるトレイ固定手段２０と、ステージ１０を反転させるステージ反転手段３０と、これらの動作を制御する制御部４０が備えられている。
【００３１】
図示されるようにステージ１０の基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂには、複数のエア吹き出し口１０ａが開口形成されており、これらエア吹き出し口１０ａから噴出されるエアによって図２（ａ）に示されるようなガラス基板９０をステージ１０上で浮上させることが可能になっている。
【００３２】
このようなエア吹き出し口１０ａには、図示されるような圧空配管７１が接続されている。圧空配管７１には圧空バルブ７２が接続され、圧空バルブ７２には圧空ポンプ７３が接続されている。制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定されると、圧空ポンプ７３より供給されたエアがエア吹き出し口１０ａから噴出されてガラス基板９０をステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させることができるようになっている。
【００３３】
またステージ１０の外周部には、ガラス基板９０の外周部９０ｃを支持する基板外周部支持手段５０である樹脂パッド５１が設けられており、この樹脂パッド５１の上面がステージ１０のエア噴出面１０ｂ上でエア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃに当接して支持することで、エア浮上されたガラス基板９０が水平方向にずれないように防止されている。
【００３４】
トレイ固定手段２０は、ステージ１０の左右両側面に設けられており、図２（ｂ）に示されるような収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１をステージ１０のエア噴出面１０ｂ上において、その基板収納トレイ２０１が反転の際にステージ１０から外れないように固定するアーム２１を備えている。
【００３５】
このアーム２１の基端はモータ２２の回転軸２２ａに連結固定されており、モータ２２の駆動によって内側に回動されると、アーム２１の先端の係止部２１ａが基板収納トレイ２０１の外周に突出形成されたフランジ部２０１ｃを係止して容易に外れないようにされる。アーム２１の係止部２１ａには、フランジ部２０１ｃの側縁に当接する係止片２１ｂと、この係止片２１ｂを当接方向に付勢するコイルバネ２１ｃが内蔵されており、このコイルバネ２１ｃが係止の際に縮むことで、基板収納トレイ２０１のフランジ部２０１ｃに過大な負荷がかかってしまうことが防止されている。
【００３６】
トレイ固定手段２０が備えるアーム２１を回転動させるモータ２２の駆動は、制御部４０により制御されている。尚、このようなアーム２１は、上述したモータ２２によって回転方向へ動作させる他に、エアシリンダ等によって直線方向へ動作させた構成でも良い。
【００３７】
ステージ反転手段３０は、回転軸３１ａがステージ１０の中央部に連結固定されたモータ３１を備えている。このモータ３１は、台座３２上に立設された支柱３３の上端に固定されており、ステージ１０はモータ３１の駆動によって、台座３２上で回転軸３１ａを中心に回転可能になっている。この場合、モータ３１の駆動は、制御部４０により制御されている。
【００３８】
図２（ａ）に示されるガラス基板９０は、例えば液晶表示パネル用のガラス基板である。この場合、ガラス基板９０の処理面９０ａに薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）が形成されるとＴＦＴアレイ基板として構成され、処理面９０ａにカラーフィルタ（ＣＦ）が形成されるＣＦ基板として構成される。液晶表示パネルは、これらＴＦＴアレイ基板とＣＦ基板を貼り合わせ、内部に液晶を充填した構成となっている。
【００３９】
図示されるようにガラス基板９０は薄膜トランジスタやカラーフィルタの形成のために所定の処理が施される処理面９０ａが下側でその反対側の裏面９０ｂが上側となっている。この図２（ａ）のガラス基板９０は上述したガラス反転装置１が備えるエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０に載置する際の状態を示しており、図８（ａ）に示されるガラス基板梱包形態１００からその処理面９０ａが下側のまま取り出した状態である。
【００４０】
上述したガラス基板反転装置１によって反転される前のガラス基板９０は、図８（ａ）に示されるようなガラス基板梱包形態１００のパレット１０２上で、傾斜状に多数枚積み重ねられている。積み重ねられた各ガラス基板９０との間には緩衝剤としての合紙１０１が挿入されており、ガラス基板９０同士が接触して傷つかないようにされている。
【００４１】
この場合、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０は積み重ねられている。最上層のガラス基板９０が取り出されて、ガラス基板反転装置１のステージ１０に載置される。この最上層のガラス基板９０の取り出しは、ガラス基板９０の裏面９０ｂを図示しない複数の吸着パッドを備えた吸着ハンド等によって吸着し、その吸着状態を維持したままガラス基板９０を持ち上げることによりなされている。
【００４２】
図２（ｂ）に示される基板収納トレイ２０１もガラス基板９０が収納される収納面２０１ｂが下側となっている。図２（ｂ）に示される基板収納トレイ２０１は上述したガラス基板反転装置１が備えるステージ１０に載置する際の状態を示しており、図３に示されるようなガラス基板９０を収納する前の基板収納トレイ２０１を取り出して反転させた状態である。
【００４３】
基板収納トレイ２０１の収容面２０１ｂには、複数のピン挿入孔２０１ａが開口形成されている。このピン挿入孔２０１ａは、収容面２０１ｂに載置されたガラス基板９０を基板収納トレイ２０１から取り出す際に、図示しない基板支持ピンが挿入されるために設けられている。また、基板収納トレイ２０１の外周には外側に突出されたフランジ部２０１ｃが形成されており、上述したガラス基板反転装置１が備えるトレイ固定手段２０のアーム２１によってこのフランジ部２０１ｃが係止されるようになっている。
【００４４】
次に、図３〜図６を用いて上述したガラス基板反転装置１を用いてガラス基板梱包形態１００からガラス基板梱包形態２００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００４５】
先ず、図３に示されるようにエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ上にガラス基板梱包形態１００から取り出された一枚のガラス基板９０を載置する。制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されると、載置されたガラス基板９０がステージ１０上で水平状態に浮上させられる。
【００４６】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア噴出面１０ｂ上でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、ガラス基板９０の外周部９０ｃはステージ１０に設けられた樹脂パッド５１によって下方から支持されており、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止されている。
【００４７】
そして、この状態のステージ１０上に収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１を図４に示されるように載置する。この基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上で積み重ねられたガラス基板９０を収納する前の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１のうちの一番上に位置していたものを取り出したものである。
【００４８】
ステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に載置された基板収納トレイ２０１は、図４に示されるように、トレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に固定される。このとき制御部４０により、トレイ固定手段２０のモータ２２が駆動されると、モータ２２の回転軸２２ａに連結されたアーム２１が内側に回転されて、アーム２１の先端の係止部２１ａに基板収納トレイ２０１のフランジ部２０１ｃが係止されるようになっている。このトレイ固定手段２０により、基板収納トレイ２０１はステージ１０のエア噴出面１０ｂ側で容易に外れないように一体的に固定されたことになる。
【００４９】
次に、図５に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは上方に面した状態から下方に面した状態に変化させられることになる。
【００５０】
そして、図５に示されるようにガラス基板９０は自重による落下によって反転後の基板収納トレイ２０１の収納面２０１ｂに収納されることになる。この場合、ガラス基板９０が落下する距離はガラス基板９０が破損しないように設定されているので、反転によるガラス基板９０の破損が防止されている。
【００５１】
次に、図６に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１は取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、右のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１，２０１の上に載せられる。
【００５２】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態１００のガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へ積み替えられることになる。その後、ガラス基板梱包形態２００の状態でガラス基板９０が加工ライン等に搬送されて、所定の処理が施されることになる。
【００５３】
次に、ガラス基板反転装置１を用いて上述した工程とは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００５４】
図６に示されるようなエア噴出面１０ｂが下方に面した状態のステージ１のそのエア噴出面１０ｂ側に、右のガラス基板梱包形態２００から取り出されたガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を固定する。図５に示されるようにトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２１０が固定される。
【００５５】
次に、図４に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは下方に面した状態から上方に面した状態に変化させられることになる。
【００５６】
このような反転の前後においては、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されおり、反転後にガラス基板９０が上方に面したステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させられる。
【００５７】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、ガラス基板９０の外周部９０ｃはステージ１０に設けられた樹脂パッド５１によって下方から支持されており、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止されている。
【００５８】
そして、図３に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１とガラス基板９０がそれぞれ取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１の上に載せられる。また、取り出されたガラス基板９０は、パレット１０１上に積み重ねられた他のガラス基板９０，９０，９０，・・・の上に合紙１０１を介して載せられる。
【００５９】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に収納されたガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態１００へ積み替えられることになる。その後、ガラス基板梱包形態１００の状態でガラス基板９０が加工ライン等に搬送されて、所定の処理が施されることになる。
【００６０】
次に、図７を用いて本発明の第２の実施形態に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法について説明する。尚、上述した第１の実施形態のガラス基板反転装置１と同一の構成については同符号を付して重複した説明は省略し、異なる点を中心に説明する。
【００６１】
図示されるように、ガラス基板反転装置３００が備えるステージ１０の外周部には、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃを支持する基板外周部支持手段５０である吸着パッド５２が設けられており、この吸着パッド５２がステージ１０上でエア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃを吸着して支持することで、エア浮上されたガラス基板９０が水平方向にずれないように防止されている。
【００６２】
吸着パッド５２の上面に開口された吸着口５２ａには、図示されるような真空配管８１が接続されている。真空配管８１には真空バルブ８２が接続され、真空バルブ８２には真空ポンプ８３が接続されている。制御部４０により、真空バルブ８２が開栓状態に設定されると、ガラス基板９０の外周部９０ｃを吸着パッド５２が吸着することができるようになっている。
【００６３】
次に、このようなガラス基板反転装置３００を用いてガラス基板梱包形態１００からガラス基板梱包形態２００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００６４】
先ず、図３に示されるようにエア噴出面１０ｂが上方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ上にガラス基板梱包形態１００から取り出された一枚のガラス基板９０を載置する。このとき、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがエア吹き出し口１０ａから噴出されると、載置されたガラス基板９０がステージ１０上で浮上させられる。
【００６５】
また、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃは、ステージ１０に設けられた吸着パッド５２によって吸着支持されて、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止される。このとき、制御部４０により、真空バルブ８２が開栓状態に設定され、真空ポンプ８３からの吸引によりガラス基板９０の外周部９０ｃが吸着パッド５２によって吸着される。
【００６６】
そして、この状態のステージ１０上に収納面２０１ｂが下側の基板収納トレイ２０１を図４に示されるように載置する。載置された基板収納トレイ２０１はトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０に固定される。次に、図５に示されるようにステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。
【００６７】
このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは上方に面した状態から下方に面した状態に変化させられることになる。
【００６８】
そして、図５に示されるように、ガラス基板９０は自重による落下によって反転後の基板収納トレイ２０１の収納面２０１ｂに収納される。
【００６９】
その後、図６に示されるようにトレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１は取り出し可能になる。このとき、制御部４０により、真空バルブ８２が閉栓状態に設定され、吸着パッド５２によるガラス基板９０の外周部９０ｃの吸着が解除されている。
【００７０】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態１００のガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１へ積み替えられることになる。
【００７１】
次に、ガラス基板反転装置３００を用いて上述した工程とは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００へガラス基板９０を移し替える際にガラス基板９０を反転させる工程について説明する。
【００７２】
図６に示されるようなエア噴出面１０ｂが下方に面した状態のステージ１０のそのエア噴出面１０ｂ側に、右のガラス基板梱包形態２００から取り出されたガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を固定する。図５に示されるようにトレイ固定手段２０のアーム２１によってステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２０１が固定される。
【００７３】
次に、図４に示されるように、ステージ反転手段３０によってステージ１０と共に基板収納トレイ２０１が１８０度回転されて反転される。このとき、制御部４０により、ステージ反転手段３０のモータ３１が駆動されると、モータ３１の回転軸３１ａに転結されたステージ１０がその回転軸３１ａを中心に１８０度回転させられ、ステージ１０のエア噴出面１０ｂは下方に面した状態から上方に面した状態に変化させられることになる。
【００７４】
このような反転の前後においては、制御部４０により、圧空バルブ７２が開栓状態に設定され、圧空ポンプ７３より供給されたエアがステージ１０のエア吹き出し口１０ａから噴出されおり、反転後にガラス基板９０が上方に面したステージ１０のエア噴出面１０ｂ上で水平状態に浮上させられる。
【００７５】
このとき、ガラス基板９０はその処理面９０ａが下側になった状態でエア浮上されており、処理面９０ａへの傷付きが防止されている。更に、エア浮上されたガラス基板９０の外周部９０ｃは、ステージ１０に設けられた吸着パッド５２によって吸着支持されて、ガラス基板９０が水平方向へずれてしまうことが防止される。
【００７６】
そして、図３に示されるように、トレイ固定手段２０による基板収納トレイ２０１のステージ１０への固定が解除されると、基板収納トレイ２０１が取り出し可能になる。取り出された基板収納トレイ２０１は、左のパレット２０２上に積み重ねられた他の基板収納トレイ２０１，２０１の上に載せられる。
【００７７】
また、基板収納トレイ２０１の取り出し後に、制御部４０により、真空バルブ８２が閉栓状態に設定され、吸着パッド５２によるガラス基板９０の外周部９０ｃの吸着が解除されると、ガラス基板９０が取り出し可能になる。そして、取り出されたガラス基板９０は、パレット１０１上に積み重ねられた他のガラス基板９０，９０，９０，・・・の上に合紙１０１を介して載せられる。
【００７８】
これらの工程を繰り返すことで、ガラス基板梱包形態２００の基板収納トレイ２０１に収納されたガラス基板９０が、ガラス基板梱包形態１００へ積み替えられることになる。
【００７９】
以上説明したガラス基板反転装置１，３００およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ガラス基板９０を浮上させる基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂが設けられたステージ１０と、ステージ１０のエア噴出面１０ｂ側に基板収納トレイ２０１を固定するトレイ固定手段２０と、基板収納トレイ２０１が固定されたステージ１０を反転させるステージ反転手段３０とが備えられているので、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が多数枚積み重ねられたガラス基板梱包形態１００と、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収容されたガラス基板梱包形態２００との間で、ガラス基板９０を移し替える際のそのガラス基板９０の反転がガラス基板反転装置１，３００によって行われることになる。
【００８０】
したがって、処理面９０ａが下側になるようにガラス基板９０が多数枚積み重ねられたガラス基板梱包形態１００から、処理面９０ａが上側になるようにガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収容されたガラス基板梱包形態２００に、ガラス基板９０を移し替える際には、作業者は図３に示されるようにガラス基板梱包形態１００から処理面９０ａが下側のままのガラス基板９０を取り出してガラス基板反転装置１，３００のステージ１０に載せ、次に図４に示されるようにその上に基板収納前の基板収納トレイ２０１を載せ、反転後に図６に示されるようにガラス基板反転装置１，３００から基板収納後の基板収納トレイ２０１を取り出すだけの作業で済むことになる。
【００８１】
また、これとは逆にガラス基板梱包形態２００からガラス基板梱包形態１００に、ガラス基板９０を移し替える際には、作業者は図６に示されるようにガラス基板梱包形態２００からガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を取り出してガラス基板反転装置１，２００のステージ１０に固定させ、反転後に図３に示されるようにガラス基板反転装置１，３００から基板収納トレイ２０１とガラス基板９０をそれぞれ取り出すだけの作業で済むことになる。
【００８２】
尚、これらの作業を、ガラス基板梱包形態１００からガラス基板９０を取り出してステージ１０に載せる装置、基板収納トレイ２０１をステージ１０に載せる装置、反転後の基板収納トレイ２０１を取り出す装置、または、ガラス基板梱包形態２００からガラス基板９０が収納された基板収納トレイ２０１を取り出す装置、反転後の基板収納トレイ２０１と取り出す装置、同じく反転後のガラス基板９０を取り出してガラス基板梱包形態１００の載せる装置等を別途用意して行っても良く、ガラス基板梱包形態１００とガラス基板梱包形態２００との間におけるガラス基板９０の移し替えのすべての工程が装置によってなされることなり、更に作業者の負担を軽減することができる。
【００８３】
上述したように従来作業者にとって困難であったガラス基板９０を反転させる作業が、本発明に係るガラス基板反転装置１，３００によって行われるので、作業者が反転させる場合のようなガラス基板９０が不意に落下して怪我するおそれもなく安全性が確保されている。
【００８４】
また、このようなガラス基板反転装置１，３００およびこれを用いたガラス基板反転方法によれば、ステージ１０の基板浮上面としてのエア噴出面１０ｂが上方に面した状態では、処理面９０ａが下側のガラス基板９０が浮上され、ステージ１０のエア噴出面１０ａが下方に面した状態では、処理面９０ａが上側のガラス基板９０が基板収納トレイ２０１に収納されているという構成なので、ステージ１０による反転の前後においてガラス基板９０の処理面９０ａが傷ついてしまうことが防止されている。
【００８５】
以上、本発明に係るガラス基板反転装置およびこれを用いたガラス基板反転方法の実施の形態について説明したが、本発明はこうした実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。
【００８６】
例えば、ガラス基板９０を浮上させるステージ１０の基板浮上面として、ガラス基板９０をエア浮上させるエア吹き出し口１０ａを備えたエア噴出面１０ｂについて説明したが、基板浮上面から突没される基板支持ピン等によってガラス基板９０を浮上させる構成でも良く、上述した実施形態には限定されない。尚、ガラス基板９０の処理面９０ａに影響を与えないようにガラス基板９０を浮上させる手段としては、上述したエア浮上が最も好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００８７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図である。
【図２】（ａ）は図１のガラス基板反転装置が備えるステージに載置する際のガラス基板の概略構成を示した図、（ｂ）は図１のガラス基板反転装置が備えるステージに載置する際の基板収納トレイの概略構成を示した図である。
【図３】図１のガラス基板反転装置のステージでガラス基板がエア浮上されている状態を示した図である。
【図４】図１のガラス基板反転装置のステージに基板収納トレイが固定された状態を示した図である。
【図５】図１のガラス基板反転装置のステージが基板収納トレイと共に反転された状態を示した図である。
【図６】図１のガラス基板反転装置のステージが反転された後に基板収納トレイが取り出された状態を示した図である。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るガラス基板反転装置の概略構成を示した図である。
【図８】（ａ）は従来用いられてきたガラス基板梱包形態の概略構成を示した図、（ｂ）は従来用いられてきた基板収納トレイを使用したガラス基板梱包形態の概略構成を示した図である。
【符号の説明】
【００８８】
１，３００ ガラス基板反転装置
１０ ステージ
１０ｂ 基板浮上面（エア噴出面）
２０ トレイ固定手段
２１ アーム
２２ モータ
３０ ステージ反転手段
３１ モータ
５０ 基板外周部支持手段
５１ 樹脂パッド
５２ 吸着パッド
５２ａ 吸着口
９０ ガラス基板
９０ａ 処理面
９０ｃ 外周部
１００ ガラス基板梱包形態
１０１ 合紙
１０２ パレット
２００ ガラス基板梱包形態
２０１ 基板収納トレイ
２０１ｂ 収納面
２０１ｃ フランジ部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、前記ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、前記ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、前記ステージの基板浮上面側に前記基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを反転させるステージ反転手段とが備えられていることを特徴とするガラス基板反転装置。
【請求項２】
前記ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面であることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板反転装置。
【請求項３】
前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板反転装置。
【請求項４】
前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドであること特徴とする請求項３に記載のガラス基板反転装置。
【請求項５】
前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドであることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板反転装置。
【請求項６】
請求項１または２に記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項７】
請求項３から５のいずれかに記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項８】
請求項１または２に記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの前記基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項９】
請求項３から５のいずれかに記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項１】
所定の加工処理が施される処理面が下側になるようにガラス基板が多数枚積み重ねられた状態と、処理面が上側になるようにガラス基板が基板収納トレイに収容された状態との間で、前記ガラス基板を移し替える際に該ガラス基板を反転させるガラス基板反転装置であって、前記ガラス基板を浮上させる基板浮上面が設けられたステージと、前記ステージの基板浮上面側に前記基板収納トレイを固定するトレイ固定手段と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを反転させるステージ反転手段とが備えられていることを特徴とするガラス基板反転装置。
【請求項２】
前記ステージの基板浮上面は、エアを噴出して前記ガラス基板をエア浮上させるエア噴出面であることを特徴とする請求項１に記載のガラス基板反転装置。
【請求項３】
前記ステージの基板浮上面側で前記ガラス基板の外周部を支持する基板外周部支持手段が備えられていることを特徴とする請求項１または２に記載のガラス基板反転装置。
【請求項４】
前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部に当接する樹脂パッドであること特徴とする請求項３に記載のガラス基板反転装置。
【請求項５】
前記基板外周部支持手段は、前記ガラス基板の外周部を吸着する吸着パッドであることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板反転装置。
【請求項６】
請求項１または２に記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項７】
請求項３から５のいずれかに記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が上方に面した前記ステージの該基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程と、前記ステージの基板浮上面側に基板収納前の前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの前記基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイを取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項８】
請求項１または２に記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの前記基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【請求項９】
請求項３から５のいずれかに記載のガラス基板反転装置を用いたガラス基板反転方法であって、前記基板浮上面が下方に面した前記ステージの該基板浮上面側で前記ガラス基板が収納された前記基板収納トレイを前記トレイ固定手段により固定する工程と、前記基板収納トレイが固定された前記ステージを前記ステージ反転手段により反転させる工程と、反転後に前記ステージの基板浮上面側で処理面が下側の前記ガラス基板を浮上させる工程と、反転後に前記ステージの基板浮上面側で浮上された前記ガラス基板の外周部を前記基板外周部支持手段により支持する工程と、反転後に前記トレイ固定手段による前記ステージへの基板収納トレイの固定を解除して該基板収納トレイと前記ガラス基板をそれぞれ取り出し可能にする工程とを備えていることを特徴とするガラス基板反転方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２０１０−１０４９（Ｐ２０１０−１０４９Ａ）
【公開日】平成２２年１月７日（２０１０．１．７）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−１６１１０６（Ｐ２００８−１６１１０６）
【出願日】平成２０年６月２０日（２００８．６．２０）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１月７日（２０１０．１．７）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年６月２０日（２００８．６．２０）
【出願人】（０００００５０４９）シャープ株式会社 (33,933)
【Ｆターム（参考）】
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