【課題】作業効率の高い姿勢変換（方向変換）を行うことができる姿勢変換装置、および姿勢変換装置を適用した梱包方法を提供する。
【解決手段】姿勢変換装置１は、太陽電池モジュール３０を水平方向に載置させる載置台１０と、載置台１０の裏面に配置され載置台１０を支持する支持台１５と、載置台１０と支持台１５とを連結し、支持台１５に対して載置台１０を水平方向から垂直方向へ回転させる回転機構部１６とを備える。回転機構部１６は、水平方向に回転中心を有する回転軸１７と、支持台１５に形成されて回転軸１７を支持する第１軸受け１８と、載置台１０の裏面（載置面１１の反対側の面）に形成されて回転軸１７を支持する第２軸受け１９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器等の内容品の輸送に適し、梱包体のサイズの大型化を招くことがなく、しかも周囲の汚染のおそれ、保管スペースの拡大、リユースやリサイクルに支障を来たすおそれを抑制できる梱包体を提供する。
【解決手段】 梱包体１は、包装箱２と、基板収納容器１０を挟むように包装箱２に配置される上下一対の緩衝体３０、３１と、基板収納容器１０と各緩衝体３０、３１との間に介在される弾性体５０、５２とを備え、弾性体５０、５２を、間隔を開けて複数個所に設ける。 （もっと読む）

【課題】ウェハ搬送容器を外気に晒すことなく運搬可能で、ウェハ搬送容器の収容・取り出しが容易なウェハ搬送容器保護ケースを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ウェハ搬送容器としてのＦＯＵＰ４００を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースとしてのＦＯＵＰ保護ケース１００である。ＦＯＵＰ保護ケース１００は、積載型搬送装置へ積載される底板１と、底板１上に設置される防振部材２と、天面が開放された箱状であり、防振部材２を介して底板１に支持され、ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケース４と、取っ手５１を有し、下ケース４に上方から装着されて下ケース４を密閉する上ケース５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハの運搬時、容器中でウエハとウエハ保護シートとが接触によるウエハ保護シートの有機物のウエハへの転写を防止したウエハ保護シートを提供する。
【解決手段】ウエハ保護シート１は、厚さ８０〜１３０μｍの合成樹脂製シートの表裏面にそれぞれ、凸部および凹部が数多く賦形されたシートであり、前記多数の凸部と前記多数の凹部はそれぞれ、その各部が格子縞の交点に位置するようにかつ各々交互に配置され、また表面の凸部には裏面の凹部が、表面の凹部には裏面の凸部がそれぞれ対応するような波状断面を有し、そしてシートの剛軟度が６０〜１２０ｍｍであるウエハ保護シートにおいて、前記合成樹脂製シートが直鎖状低密度ポリエチレン樹脂を含んでなる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ収納および取り出し性能を損なうことなく、輸送中のウェハ把持能力を上げることで、輸送中の振動から発生する異物によるウェハの汚染を抑制をできるウェハボックスを提供する。
【解決手段】複数の半導体ウェハ１２を間隔を隔てて保持するスリット溝１７が両側面に複数形成されたウェハカセット１３と、半導体ウェハ１２を保持したウェハカセット１３を収納するケース１４とからなるウェハボックス１１において、両側面の間隔を半導体ウェハ１２の外径より狭く形成して、スリット溝１７から半導体ウェハ１２の径方向両端１８を突出させて保持するウェハカセット１３と、両側面とケース１４との間に挿入されると共に、エアＧが注入されて膨張し半導体ウェハ１２の径方向両端１８をウェハカセット１３と共に把持する一対のエアバッグ１９とからなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板包装用ボックスを発泡性材質で構成することによる利点が得られると共に、有機物とその他異物の転写による基板の汚れ及び微細なスクラッチを防止でき、ボックスの再使用のための洗浄を簡便、かつ、完壁に行うことができる。
【解決手段】表示装置ガラス基板包装用ボックスは、ボックス本体１０とスロットプレート２０とを含んでいる。スロットプレート２０は、ボックス本体１０と分離構成された板状部材からなる。前記板状部材の両側高さ方向の隅部は、スロットプレート挿入溝１２ａ〜１２ｄに乗って上昇、下降し、ボックス本体１０に着脱式で結合される。ボックス本体１０は、発泡性樹脂材質で発泡形成され、スロットプレート２０は、ＰＥＴ、非晶質ＰＥＴ（Ａ−ＰＥＴ）又はＰＥＴ−Ｇ樹脂で形成されている。 （もっと読む）

【課題】微小な光学素子を簡便に収納することが可能な光学素子の梱包方法を提供することを目的とする。
【解決手段】向きを揃えて複数の棒状の基材を加工台２０に配列させる。基材の長手方向に交差する切断面に沿って複数の箇所で複数の基材を切断することで、加工台２０に配列させた状態で複数の光学素子１Ａを得る。複数の光学素子１Ａを加工台２０に配列させた状態で、加工台２０ごと複数の光学素子１Ａを梱包箱４０に収納する。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電気的特性がウェハ（半導体基板）間でばらつくことを抑制し得る半導体装置の製造方法及び基板収容構造を提供する。
【解決手段】この製造方法は、トレー１０の上に２次電子吸収材を含む保護シート２２Ａ，２２Ｂを配置し、半導体基板２１Ａ，２１Ｂを保護シート２２Ａ，２２Ｂ上に配置してトレー１０に収容する工程と、半導体基板２１Ａ，２１Ｂにトレー１０側とは反対側から荷電粒子線を照射して半導体基板２１Ａ，２１Ｂ内に格子欠陥を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板移載装置による基板の移載を適確に行うことができる基板搬送設備の提供。
【解決手段】基板を出し入れする出し入れ口及び基板を上下方向に間隔を隔てる状態で複数枚収納可能な基板収納空間を備えた容器本体３と、その容器本体３を載置支持可能で且つ容器本体３を載置支持した状態で基板収納空間に清浄空気を送風するファンフィルタユニットを備えた載置支持部材４とを備えた基板用収納容器２、容器本体３を載置支持した載置支持部材４を支持台８に対して上方から載置支持させる形態で基板用収納容器２を支持台８に搬送する容器搬送装置、及び、基板用収納容器２を支持台８に載置支持させた状態で容器本体３に直接に当接することにより、容器本体３の水平方向での位置を基板移載装置が出し入れ口を通して基板を移載するための基板移載用位置に調整する位置調整手段５１を設ける。 （もっと読む）

【課題】継続的な応力の作用に伴い、ポリアミド系樹脂製の保持フレームに残留歪みが生じて変形するのを抑制し、保持フレームをリユース等することのできる基板用保持フレームの製造方法を提供する。
【解決手段】中空の保持フレーム１内に半導体ウェーハを収容する基板用保持フレームの製法であり、保持フレーム１を、少なくともポリアミド系樹脂を含む成形材料により成形し、その後、樹脂製の保持フレーム１に電子線を照射するとともに、この電子線の照射量を、保持フレーム１に対する電子線の照射深さ１０ｍｍ当たり１０〜５０ｋＧｙとする。保持フレーム１に電子線を照射してポリアミド系樹脂の架橋密度を調整し、ポリアミド系樹脂の特性を改善して形状回復能力を向上させるので、保持フレーム１に残留歪みが生じて永久変形するのを抑制できる。 （もっと読む）

【課題】板ガラスや液晶表示装置等に用いるカラーフィルタ基板を傷、破損から守り、保管、輸送に有効な基板収納容器を提供する。
【解決手段】複数基板を積み重ねて構成した積重体を収納するための収納容器であって、前記積重体を、基板を水平とした状態で載置可能な支持面を備えた支持台と、前記支持台に載置された積重体の上面全域に均一な押圧力を作用させ、前記積重体を前記支持台に押し付け固定する押圧手段と、前記支持台上に、前記支持台に載置された前記積重体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第１の蓋体と、前記第１の蓋体を包囲するように脱着可能に取り付けられた第２の蓋体とを有することを特徴とする基板収納容器。 （もっと読む）

【課題】電子部品の搬送効率を高く保ちながら、電子部品が破損することがない電子部品用搬送装置を提供する。
【解決手段】電子部品を有する第１の受け渡し部と、電子部品を移載させる第２の受け渡し部と、電子部品吸着用の吸着コレット１１と、吸引装置と、吸着コレット１１を水平移動させる移動装置（ターンテーブル３、駆動装置１３）とを備える。吸着コレット１１は上下方向に移動できないように移動装置に保持される。吸引装置は、吸着コレット１１が第１の受け渡し部の上方にあるときに吸引を開始し、吸着コレット１１が第２の受け渡し部の上方にあるときに吸引を停止する。第１の受け渡し部と第２の受け渡し部との間には、電子部品と吸着コレット１１とが水平移動可能な移動空間Ｓ１〜Ｓ５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハ全面を均等に押さえることができ、複数の厚みの半導体ウエハや、反った半導体ウエハにも、同一仕様の収納方法により対応ができ、半導体ウエハの割れを防止することができる半導体ウエハの収納容器および収納方法を提供する。
【解決手段】積層可能な複数のトレイ２と、積層された複数のトレイを密封して覆うラミネート袋１０とを備え、ラミネート袋が真空脱気されて用いられる。トレイは、上下が開口した筒状の本体部と、本体部の内腔を上下の空間に区画する隔壁１４と、隔壁より上部の本体部を貫通した通気孔５とを有し、隔壁によりウエハ載置部が形成され、隔壁の下部の空間により気体室７が形成され、気体室の開口部は、気体室を不通気に密閉する伸縮可能な密閉膜８により封口されている。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板収納容器を梱包して輸送するときに、外気温が変化しても基板収納容器に収納した基板が結露したり、汚染されてしまうことを防止できる基板収納容器及びその梱包体を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、開口を閉鎖する蓋体とを有する基板収納容器１であって、この基板収納容器１を、梱包袋１１と、緩衝材１３と、梱包箱１４とからなる梱包資材を使用して梱包するときに、基板収納容器１または梱包資材の少なくとも１つに保温層１２を設けて、基板収納容器１を取り囲むことを特徴とする。前記保温層１２は、空気層を有しているようにすること、また、調湿剤を有しているようにすること、また、前記基板収納容器１が、外周部に保護部材８を備えてるようにし、これを梱包する基板収納容器１の梱包体とすること、が好ましい。 （もっと読む）

【課題】 誤って落下させてしまう等、外部から衝撃を受けても、ガラス基板にその衝撃が加わるのを好適に防止することができると共に、収容部内で位置ずれを起こすことなくガラス基板を確実に固定させておくことができるガラス基板用容器を提供する。
【解決手段】 底部３及び該底部３を取り囲む側壁部４によって発泡樹脂成形品からなる容器本体１が構成され、該容器本体１内にガラス基板Ｘを水平にして収容するための収容部２が形成されるガラス基板用容器において、ガラス基板Ｘの角部に対応して設けられる収容部２の角部２ａに、ガラス基板Ｘの一方向及び該一方向と直交する他方向の少なくとも何れかに対して緩衝作用を有する補強部材６，７が配置されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】例えば半導体装置製造用の各種基板を収容するＦＯＵＰ等の荷を搬送する運搬装置において、荷を小型化しつつ、比較的容易にして該荷を経路上から取り外して運搬する。
【解決手段】運搬装置（１０）は、内部空間を規定すると共に内部空間が外部空間に開いている開口を規定し、開口を介して外部空間から内部空間に、荷を収容可能な本体部と、本体部における内部空間に面する又は接する位置に配置されており、収容された荷を内部空間内にて保持可能な保持手段（２０）と、本体部における外部空間に面する又は接する位置に配置されており、外部空間側から把持可能な一又は複数の取っ手（１１）とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板とその保護シートの高速搬送を実現し、併せて、高精度で高品質の積載梱包を達成する。
【解決手段】ガラス基板梱包装置は、保護シート３上にガラス基板４が載置される載置ステーションと、保護シート３とガラス基板４とを交互に積載する積載ステーションと、保護シート３上に載置されたガラス基板４を保護シート３と共に保持し、積載ステーションに積載する積載手段としてのガラス基板積載装置とを備える。ここで、ガラス基板積載装置を構成するロボットアームは保護シート３およびガラス基板４を保持する保持部４３を有し、この保持部４３は、ガラス基板４を吸着する複数の吸着パッド４５と、載置された状態のガラス基板４からはみ出た保護シート３の辺縁部分のうち互いに対向する２つの辺縁部３ａ，３ｂを挟持する挟持部４６とを有する。 （もっと読む）

【課題】ガラス板表面を直接吸着パッドで吸着することなく、ガラス集合体からガラス板を取り出すことができるガラス板保護用合紙等を提供する。
【解決手段】通気性を有し、ガラス板１４上縁部がガラス板裏面側に傾くように、ガラス板移動装置１０に近接して配置される場合に、ガラス板１４表面を覆った状態でガラス板１４と交互に積層され、表面側からガラス板１４とともに吸着された状態で、ガラス板移動装置１０上に移動され、ガラス板１４から分離されるガラス板保護用合紙１５であって、一縁部側は、ガラス板１４がガラス板移動装置１０に近接して配置される場合にガラス板下縁部となるガラス板１４一縁部側の表面に対向して配置され、他縁部側は、ガラス板１４がガラス板移動装置１０に近接して配置される場合にガラス板１４上縁部となるガラス板１４他縁部側の表面側からガラス板１４裏面側に折り込まれ、ガラス板１４の一縁部を挟み込んだ構成とした。 （もっと読む）

【課題】導光板の保管・輸送時における導光板の端面の傷付きを防止し、導光板の変形を防止することができる導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の導光板２６を輸送、保管する導光板保管用架台１０であって、底部材２０と、底部材２０にほぼ垂直に立設固定された背面部材２２と、背面部材２２に相対向して設けられ、底部材２０に着脱可能な正面部材２４と、正面部材２４と背面部材２２とに取り付け可能な囲い部材２８とを有し、底部材２０と導光板２６との間にクッション材３０が敷かれており、底部材２０が水平方向に対して２０°以下の角度で、傾きを有することを特徴とする導光板保管用架台およびそれを用いた保管方法である。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェーハのバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合に、裏面の回路の汚染や損傷を抑制し、リングスペーサを省略して薄い半導体ウェーハの破損を防止できる半導体ウェーハ用治具を提供する。
【解決手段】バックグラインドされた薄い半導体ウェーハＷを搭載する積層可能な治具であって、中空に形成され、半導体ウェーハＷよりも拡径の治具本体１と、治具本体１に形成されて半導体ウェーハＷを支持する複数の弾性支持片１０とを備える。そして、各弾性支持片１０を、治具本体１の内周縁部から上方内側に傾斜しながら伸長する傾斜起立部１１と、傾斜起立部１１の上部に屈曲形成されて半導体ウェーハＷの周縁部を水平に支持する保持部１３とから形成する。半導体ウェーハＷの表裏面に何も接触させないので、例えバックグラインドされた裏面に回路が形成される場合でも、汚染を嫌う裏面に合紙等が接触することがない。 （もっと読む）