本発明における四ハロゲン化ケイ素および冶金グレードのケイ素からトリハロシランへの水素化のための反応器は、冶金用ケイ素粒子の床と、１つまたは複数の気体流入ポートと、１つまたは複数の固体流入ポートと、１つまたは複数の固体排出管と、トリハロシランを反応器から取り出すための１つまたは複数のポートとを含む。
反応器に流入する四ハロゲン化ケイ素／水素供給流中に供給ケイ素粒子を同伴させ、その流れをケイ素粒子の床に衝突させることの結果としての内部研磨および摩耗によって、床粒子の上に新しい表面が創出される。
本発明は、トリハロシランの収率が高く、ＭＧＳの燃焼速度が速く、反応器から流出するトリハロシラン流出物中の微細な粉塵キャリーオーバーとしての使用済みＭＧＳの除去、および床を除去するためのシャットダウンの間の時間が長い、という利点を有する。
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【課題】転換反応によって生成したガスを冷却する工程において、トリクロロシランの分解とポリマーの生成を効果的に抑制し、ポリマー除去作業の負担が少なく、しかもトリクロロシランの回収率が高いトリクロロシランの製造方法を提供する。
【解決手段】原料のテトラクロロシランと水素とを１０００〜１９００℃の温度で転換反応させてトリクロロシラン、ジクロロシリレン、塩化水素、および高次シラン化合物を含む反応ガスを生成させ、この反応ガスを冷却してトリクロロシランを回収する方法において、(イ)転換炉から抜き出した反応ガスを０.０１秒以内に６００℃未満に冷却する第１冷却工程と、(ロ)第１冷却工程後の反応ガスを５００℃以上〜９５０℃以下の温度範囲に０.０１秒以上〜５秒以下の時間保持する中間反応工程と、(ハ)中間反応工程後の反応ガスを５００℃未満に冷却する第２冷却工程を有することを特徴とするトリクロロシランの製造方法。 （もっと読む）

【課題】カーボン部品を高純度に効率よく精製する。
【解決手段】多結晶シリコンの製造に用いられるカーボン部品を処理炉内に収容して、処理炉内を不活性ガス等で置換後、処理炉内を乾燥温度まで昇温し不活性ガス等を流通させてカーボン部品を乾燥する乾燥処理と、乾燥処理後に処理炉内を乾燥温度よりも高い純化温度に消音するとともに、処理炉内に塩素ガスを流通させる塩素流通処理（ステップ２）と、塩素流通処理の後に処理炉内部を減圧する減圧処理（ステップ３）と、減圧処理により生じた減圧状態に処理炉内を保持する減圧保持処理（ステップ４）と、減圧保持処理後の処理炉に塩素ガスを導入して処理炉内を加圧状態とする塩素加圧処理（ステップ５）とを複数回繰り返した後、処理炉内を冷却する。 （もっと読む）

本発明の主題は、ヘキサクロロジシランを、構造単位≡Ｃ−Ｓ−又は≡Ｃ−Ｏ−を有する有機化合物（Ｖ）で処理する、ヘキサクロロジシランからチタン化合物を除去する方法である。 （もっと読む）

本発明は、クロロシランを主にエネルギー自立型に連続的に製造するための、特に高純度シリコンの獲得のための中間生成物としてのトリクロロシランを製造するための装置、その使用及び方法に関する。
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【課題】多結晶シリコン製造プロセスやトリクロロシラン製造プロセス、又は転換プロセスから分離されたポリマーを分解してトリクロロシランに転換する。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段１１と、分解炉２の内部に形成される反応室４と、反応室４内に分解炉２の上方から上下方向に沿って挿入され下端開口部３ａが分解炉２の内底面８ｂに対向する中心管体３と、中心管体３の外側に筒状に形成される反応室４の上部にポリマーと塩化水素とを供給する原料供給管５，６と、中心管体３の上端部から反応ガスを導出させるガス導出管７とが設けられ、中心管体３の外周面又は分解炉２の内周面の少なくともいずれかに、ポリマーと塩化水素とを反応室４内で混合しながら中心管体３の下端開口部３ａまで案内するフィン１４が一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】多結晶シリコン製造プロセスやトリクロロシラン製造プロセス、又は転換プロセスから分離されたポリマーを分解してトリクロロシランに転換する。
【解決手段】分解炉２に、分解炉２の内部を加熱する加熱手段８と、ポリマーと塩化水素とを分解炉２の上下方向に沿って内底部まで案内し下端開口部３ａから分解炉２内に供給する原料供給管３と、原料供給管３の外周面と分解炉２の内周面との間に形成される反応室１３の上部から反応ガスを導出させるガス導出管４とが設けられ、原料供給管３の外周面又は分解炉２の内周面の少なくともいずれかに、原料供給管３の下端開口部３ａから供給されるポリマーと塩化水素との混合流体を反応室１３内で攪拌しながら上昇させるように案内するフィン１４が一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ＢＦ３、ＳｉＦ４、ＧｅＦ４、ＰＦ５又はＡｓＦ５等のフッ化物ガスを、簡便かつ製造コストを低減して製造することが可能なフッ化物ガスの製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のフッ化物ガスの製造方法は、フッ素原子との多原子イオンの形成が可能な原子を含む化合物を、フッ化水素溶液に添加することにより、当該多原子イオンをフッ化水素溶液中に生成させて、前記フッ素原子と、当該フッ素原子との多原子イオンの形成が可能な前記原子とで構成されるフッ化物ガスを発生させることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】亜鉛還元法で副生する塩化亜鉛を電気分解して亜鉛を得るに際して効率良く高純度な亜鉛を製造し、この亜鉛により珪素を製造する。
【解決手段】粗塩化亜鉛を蒸留して精製塩化亜鉛を得る蒸留工程と、精製塩化亜鉛を電気分解して亜鉛を回収する電気分解工程からなり、蒸留工程に先立って粗塩化亜鉛に金属亜鉛を添加して２質量％以上とする亜鉛の製造方法。また、粗珪素または珪素化合物を塩素化して塩化珪素を得る塩化工程、塩化珪素と亜鉛を反応させて珪素および粗塩化亜鉛を得る珪素製造工程、粗塩化亜鉛を蒸留精製し、精製塩化亜鉛を得る蒸留工程、精製塩化亜鉛を電気分解して亜鉛および塩素を得る電気分解工程からなる珪素の製造方法であって、電気分解工程において得られた亜鉛および塩素を、珪素製造工程および塩化工程にそれぞれ再利用し、蒸留工程に先立って粗塩化亜鉛に金属亜鉛を添加して２質量％以上とする珪素の製造方法。 （もっと読む）

【課題】半導体用途で用いるポリクロロポリシラン中のアルミニウムやチタンに代表される金属不純分を除去する方法を提供する。
【解決手段】金属不純分を含むクロロポリシランを固体微粒子と接触させることによって、工業的に安全簡便に高純度なクロロポリシランを製造することができることを見出し、さらに固体微粒子はフィルターによってろ別することができ、使用後のフィルターをアルカリ性液体で処理することにより安全に再生処理することができる。 （もっと読む）